本发明专利技术公开了一种晶圆覆膜装置及方法，包括承载座，所述承载座的顶面焊接有承载架，且承载架的顶面固定安装有第一驱动组件，并且第一驱动组件上安装有切膜组件，所述承载架的内部两侧设置有第二驱动组件，且第二驱动组件上安装有按压组件和弹性组件，所述承载架的内壁固定安装有晶圆膜放料组件，所述承载座的顶面固定安装有置料组件，且置料组件的下方设置有下料组件。有益效果：本发明专利技术通过弹性组件，使按压辊轮能够对不同厚度的晶圆进行压合，使得贴附在晶圆表面的覆膜贴合的效果更加的理想，且适用范围更加的广泛。本发明专利技术通过下料组件，能够在覆膜完成后将晶圆从置料盘内顶出，有利于进行下料，便于进行下料操作。便于进行下料操作。便于进行下料操作。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆覆膜装置及方法
[0001]本专利技术涉及晶圆领域，具体来说，涉及一种晶圆覆膜装置及方法。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆切割保护膜主要用做高温环境I作表面处理遮蔽保护，电镀，电泳、超高温烤漆、粉末喷涂及晶片元件端电极使用等，晶圆切割保护膜具有优异的耐高温性，高粘着力、再撕离不残胶性和耐溶剂性等特性，硅晶圆的直径从25.4毫米(1英寸)到300毫米(11.8英寸)不等，硅晶圆厚度也能够根据不同的作用需求进行选择，现有的晶圆在加工过程中，通常会在晶圆的背面贴附一层薄膜。
[0003]经检索，中国专利公开号：CN115662917A公开了一种晶圆用覆膜装置及其方法，通过对晶圆上侧设置切膜组件，在切膜刀做圆周运动切割晶圆膜前，对晶圆边缘处采用滚珠进行再次压合，使晶圆膜压紧更方便切割，晶圆膜在切割后立马通过锯齿轮拉扯晶圆膜，使晶圆膜自动快速拉扯到收集盒内进行集中收集，提高取膜的效率和安全性；通过采用橡胶的按压辊轮，按压辊轮压合晶圆膜后，再通过按压轮对晶圆边缘处进行再次压合，使晶圆和晶圆膜贴合效果更好，减少气泡进入。
[0004]然而上述专利在对晶圆进行实际覆膜使用过程中还存在需要改进的问题，较为明显的是按压辊轮不具备调节的能力，导致不便于对不同规格的晶圆和覆膜进行压合，影响适用范围，且覆膜结束后不便于将晶圆从放置槽内取出，并且不便于对晶圆膜进行更换的问题。
[0005]针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
[0006](一)解决的技术问题
[0007]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种晶圆覆膜装置及方法，具备适用范围广泛、易于下料、便于更换晶圆膜的优点，进而解决上述
技术介绍
中的问题。
[0008](二)技术方案
[0009]为实现上述适用范围广泛、易于下料、便于更换晶圆膜的优点，本专利技术采用的具体技术方案如下：
[0010]一种晶圆覆膜装置及方法，包括承载座，所述承载座的顶面焊接有承载架，且承载架的顶面固定安装有第一驱动组件，并且第一驱动组件上安装有切膜组件，所述承载架的内部两侧设置有第二驱动组件，且第二驱动组件上安装有按压组件和弹性组件，所述承载架的内壁固定安装有晶圆膜放料组件，所述承载座的顶面固定安装有置料组件，且置料组件的下方设置有下料组件。
[0011]进一步的，所述第一驱动组件由第一驱动电机、第一丝杠、第一移动块、滑槽、第一
滑块和第一电推杆组成，所述第一驱动电机安装在承载架的顶面一侧，且第一驱动电机的输出端安装有第一丝杠，并且第一丝杠上配合有第一移动块，所述承载架的顶面开设有滑槽，且滑槽内滑动连接有第一滑块，并且第一滑块的底面通过安装架安装有第一电推杆。
[0012]进一步的，所述切膜组件由第二驱动电机和裁膜刀组成，所述第二驱动电机通过安装架安装在第一电推杆的活塞杆上，所述第二驱动电机的输出端安装有裁膜刀。
[0013]进一步的，所述置料组件由第三驱动电机、第一锥齿轮、转动柱、第二锥齿轮和置料盘组成，所述置料盘通过转动柱与承载座的顶面转动连接，所述转动柱的外壁焊接有第二锥齿轮，所述承载座的顶面固定安装有第三驱动电机，且第三驱动电机的输出端安装有第一锥齿轮，并且第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合。
[0014]进一步的，所述晶圆膜放料组件由支架、凹槽和晶圆膜组成，所述晶圆膜的两端放置在支架表面开设的凹槽内。
[0015]进一步的，所述第二驱动组件由第四驱动电机、滑杆、第二滑块、第二丝杠和第二移动块组成，所述第四驱动电机安装在承载架的一侧表面，所述第四驱动电机的输出端安装有第二丝杠，且第二丝杠上配合有第二移动块，所述承载架的内壁固定安装有滑杆，且滑杆上滑动连接有第二滑块，并且第二滑块与第二移动块焊接。
[0016]进一步的，所述按压组件由第五驱动电机、支撑杆和按压轮组成，所述第五驱动电机安装在第二滑块的表面，所述第五驱动电机的输出端安装有支撑杆，且支撑杆的另一端安装有按压轮。
[0017]进一步的，所述弹性组件由支撑板、导杆、安装座、弹簧和限位板组成，所述支撑板安装在第二移动块的表面，所述支撑板的表面贯穿设置有导杆，且导杆的一端螺纹连接有限位板，所述导杆的另一端安装有安装座，且安装座上安装有按压辊轮，所述安装座与支撑板之间位于导杆的外侧套设有弹簧。
[0018]进一步的，所述下料组件由第二电推杆、推板、防护垫和通孔组成，所述承载座的顶面位于转动柱的一侧设置有第二电推杆，且第二电推杆的伸缩端安装有推板，并且推板的表面粘接有防护垫，所述置料盘的表面开设有通孔，且通孔的直径大于推板的直径。
[0019]进一步的，所述承载架的一侧表面固定安装有在控制面板，且控制面板通过导线与第一驱动电机、第二驱动电机、第三驱动电机、第四驱动电机、第五驱动电机、第一电推杆和第二电推杆电性连接。
[0020]根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置及方法，其特征在于：还包括一种操作方法，具体操作步骤为：
[0021]S1、把晶圆放入置料盘表面的放置槽内，拉扯晶圆膜，使晶圆膜覆盖在晶圆的上侧；
[0022]S2、第四驱动电机带动第二丝杠转动，第二丝杠转动带动按压辊轮向右移动，对晶圆膜和晶圆进行来回反复压合；
[0023]S3、第五驱动电机驱动支撑杆和按压轮旋转一定角度，使按压轮匹配压在置料盘的上端边缘处，压轮对置料盘上端边缘处进行再次压合，然后移走按压轮和按压辊轮；
[0024]S4、第一驱动电机带动第一丝杠转动，第一丝杠转动带动第一电推杆和第二驱动电机向右移动，使第二驱动电机移动到支撑盘的正上方，第一电推杆向下推动第二驱动电机，第二驱动电机驱动裁膜刀在置料盘上端边缘处旋转，完成对晶圆膜边压边切割；
[0025]S5、重复上述S1
‑
S4的步骤，直至完成对所有晶圆的覆膜。
[0026](三)有益效果
[0027]与现有技术相比，本专利技术提供了一种晶圆覆膜装置及方法，具备以下有益效果：
[0028](1)、本专利技术通过弹性组件，使按压辊轮能够对不同厚度的晶圆进行压合，使得贴附在晶圆表面的覆膜贴合的效果更加的理想，且适用范围更加的广泛。
[0029](2)、本专利技术通过下料组件，能够在覆膜完成后将晶圆从置料盘内顶出，有利于进行下料，便于进行下料操作。
[0030](3)、本专利技术通过晶圆膜放料组件，便于对晶圆膜进行拆装，且更换晶圆膜时便捷省力。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0032]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆覆膜装置，其特征在于，包括承载座(1)，所述承载座(1)的顶面焊接有承载架(2)，且承载架(2)的顶面固定安装有第一驱动组件(3)，并且第一驱动组件(3)上安装有切膜组件(4)，所述承载架(2)的内部两侧设置有第二驱动组件(7)，且第二驱动组件(7)上安装有按压组件(9)和弹性组件(10)，所述承载架(2)的内壁固定安装有晶圆膜放料组件(6)，所述承载座(1)的顶面固定安装有置料组件(5)，且置料组件(5)的下方设置有下料组件(11)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于，所述第一驱动组件(3)由第一驱动电机(31)、第一丝杠(32)、第一移动块(33)、滑槽(34)、第一滑块(35)和第一电推杆(36)组成，所述第一驱动电机(31)安装在承载架(2)的顶面一侧，且第一驱动电机(31)的输出端安装有第一丝杠(32)，并且第一丝杠(32)上配合有第一移动块(33)，所述承载架(2)的顶面开设有滑槽(34)，且滑槽(34)内滑动连接有第一滑块(35)，并且第一滑块(35)的底面通过安装架安装有第一电推杆(36)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于，所述切膜组件(4)由第二驱动电机(41)和裁膜刀(42)组成，所述第二驱动电机(41)通过安装架安装在第一电推杆(36)的活塞杆上，所述第二驱动电机(41)的输出端安装有裁膜刀(42)。4.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于，所述置料组件(5)由第三驱动电机(51)、第一锥齿轮(52)、转动柱(53)、第二锥齿轮(54)和置料盘(55)组成，所述置料盘(55)通过转动柱(53)与承载座(1)的顶面转动连接，所述转动柱(53)的外壁焊接有第二锥齿轮(54)，所述承载座(1)的顶面固定安装有第三驱动电机(51)，且第三驱动电机(51)的输出端安装有第一锥齿轮(52)，并且第一锥齿轮(52)与第二锥齿轮(54)啮合。5.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于，所述晶圆膜放料组件(6)由支架(61)、凹槽(62)和晶圆膜(63)组成，所述晶圆膜(63)的两端放置在支架(61)表面开设的凹槽(62)内。6.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于，所述第二驱动组件(7)由第四驱动电机(71)、滑杆(72)、第二滑块(73)、第二丝杠(74)和第二移动块(75)组成，所述第四驱动电机(71)安装在承载架(2)的一侧表面，所述第四驱动电机(71)的输出端安装有第二丝杠(74)，且第二丝杠(74)上配合有第二移动块(75)，所述承载架(2)的内壁固定安装有滑杆(72)，且滑杆(72)上滑动连接有第二滑块(73)，并且第二滑块(73)与第二移动块(75)焊接。7.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于，所述按压组件(9)由第五驱动电机...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏伟雄，黄晓波，刘春燕，
申请(专利权)人：江西龙芯微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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