【技术实现步骤摘要】
一种氮化铝基板表面研磨装置
[0001]本技术涉及氮化铝基板加工
,尤其涉及一种氮化铝基板表面研磨装置。
技术介绍
[0002]氮化铝陶瓷基板是一种具有高导热性和导电性的绝缘陶瓷基板,它具有低膨胀系数和高抗氧化性,因此是多种半导体的合适选择。氮化铝陶瓷的高耐热性和耐化学性使其成为多种用途的首选材料,还有许多其他应用,它是一种出色的导热和导电体。
[0003]目前,中国专利申请号:CN202221067651.9 公开了一种用于氮化铝陶瓷基板的打磨机,包括固定箱,所述固定箱的上表面设有夹持机构,所述固定箱的上表面固定有连接箱,所述固定箱的上表面固定有背板,所述背板内腔的顶壁固定有电动推杆,所述电动推杆的输出端固定有打磨装置本体,所述固定箱的下表面设有除尘机构;所述夹持机构包括与固定箱右端固定的电机,所述电机的输出端固定有转轴,所述转轴的外表面固定有两个第一齿轮,所述第一齿轮的上表面啮合有第二齿轮,所述第二齿轮的上表面固定有转杆。该用于氮化铝陶瓷基板的打磨机通过设置夹持机构,使不同大小的陶瓷基板都可以被夹持稳固,进 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氮化铝基板表面研磨装置,其特征在于,包括支撑架(1),所述支撑架(1)的左右两侧均开设有开口且两个开口内壁的上表面均固定安装有若干个气缸(4),同侧的若干个所述气缸(4)活塞杆的端部固定安装有同一个安装板(5),所述支撑架(1)内设置有两个转轴二(29),两个所述转轴二(29)的外表面均设置有研磨辊(3),两个所述转轴二(29)的外表面均固定安装有若干个限位板(28),所述研磨辊(3)上开设有与配合限位板(28)使用的限位槽,所述研磨辊(3)的两侧均设置有两个传送辊(2),上方所述转轴二(29)与上方的两个传送辊(2)均转动安装在安装板(5)上,下方所述转轴二(29)与下方的两个传送辊(2)均转动安装在支撑架(1)上,所述支撑架(1)的侧面固定安装有电机一(8),下方其中一个所述传送辊(2)的端部与电机一(8)的输出轴固定连接,所述安装板(5)的侧面固定安装有电机二(9),上方其中一个所述传送辊(2)的端部与电机二(9)的输出轴固定连接,同一水平面位置处的所述传送辊(2)与转轴二(29)之间通过传动机构一传动连接,所述支撑架(1)内设置有移动架(6),下方所述研磨辊(3)转动安装在移动架(6)的外表面,上方所述研磨辊(3)的外表面固定安装有两个工字型的滑块(7),所述滑块(7)滑动安装在移动架(6)上开设的滑槽内,所述支撑架(1)上设置有用于驱使移动架(6)左右运动的左右运动机构,且所述左右运动机构与下方转轴二(29)之间通过转动机构二传动连接,所述支撑架(1)内设置有若干个导向辊(27),若干个所述导向辊(27)的底端均转动安装有滑杆(26),所述滑杆(26)滑...
【专利技术属性】
技术研发人员:熊大康,杨大胜,施纯锡,冯家伟,
申请(专利权)人:福建华清电子材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。