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本实用新型涉及氮化铝基板加工技术领域，尤其涉及一种氮化铝基板表面研磨装置，包括支撑架，所述支撑架的左右两侧均开设有开口且两个开口内壁的上表面均固定安装有若干个气缸，同侧的若干个气缸活塞杆的端部固定安装有同一个安装板，支撑架内设置有两个转轴二...
该专利属于福建华清电子材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建华清电子材料科技有限公司授权不得商用。

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