衬底邻近处理结构以及使用和制造方法技术

一种用于生成处理衬底的液体弯液面的装置和方法。该装置包括：具有多个导管的歧管表面的歧管头，当该歧管头定位在衬底附近时，配置多个导管以在衬底表面上产生液体弯液面，具有多个通道的歧管头能够与多个导管传递液体；以及连接到歧管头的一部分的界面膜，配置该界面膜以阻塞多个导管的一部分。该的方法，包括：通过从第一入口将第一液体施加到衬底和从第二入口将第二液体施加到衬底和经出口从衬底除去第一液体和第二液体来提供能够产生液体弯液面的邻近头；阻塞第一入口、第一入口的第一液体通道、第二入口、第二入口的第二液体通道、出口、和从出口的第三液体通道的至少一个的至少一部分；其中通过改变上述的至少一个的阻塞部分来调整液体弯液面的形状和尺寸的至少其中一个。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于生成处理衬底的液体弯液面的装置，包括：　具有多个导管的歧管表面的歧管头，当该歧管头定位在衬底附近时，配置多个导管以在衬底表面上产生液体弯液面，具有多个通道的歧管头能够与多个导管传递液体；以及　连接到歧管头的一部分的界面膜 ，配置该界面膜以阻塞多个导管的一部分。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：C伍德斯，MGR史密斯，J帕克斯，
申请(专利权)人：兰姆研究有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]