下载衬底邻近处理结构以及使用和制造方法的技术资料

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一种用于生成处理衬底的液体弯液面的装置和方法。该装置包括:具有多个导管的歧管表面的歧管头,当该歧管头定位在衬底附近时,配置多个导管以在衬底表面上产生液体弯液面,具有多个通道的歧管头能够与多个导管传递液体;以及连接到歧管头的一部分的界面膜,配...
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