保持具接头、保持具单元、划线头及划线装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种保持具接头、保持具单元、划线头及划线装置，将具备划线轮的保持具正确定位于保持具接头，并使保持具的拆卸容易。由保持具接头的开口的侧方设贯通孔，在贯通孔将销保持为在特定角度范围可旋动。销具有平行于轴的第一平面部及与其相异角度的第二平面部。将保持具插入开口，使其倾斜部接触销的平面部以构成保持具单元。由此可将保持具正确定位，可实现自由装卸的保持具单元及划线头。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于对脆性材料基板形成划线的划线装置与其划线头、保持具 单元、保持具接头。
技术介绍
以往，在液晶显示面板或液晶投影机基板等平面显示器等，是母玻璃基4反 在制造过程被贴合后被分断为特定大小的单个面板。于此母玻璃基板等的脆'性 材料基板的分断有划线步骤与折断步骤，在划线步骤是使用划线装置。图1为显示公开于专利文献1的划线装置的立体图。此划线装置100是移 动台101沿一对的导引轨道102a、 102b在y轴方向被保持为可移动。滚珠螺、 杆103是与移动台101螺合。滚珠螺杆103是由马达104的驱动而i克转，橫j多 动台101沿导引轨道102a、 102b在y轴方向移动。在移动台101的上面i殳有 马达105。马达105是使平台106在xy平面旋转以定位于既定角度。脆性材剩-基板107是载置于此平台106上，受未图示的真空吸引手段等保持。在划线装 置1的上部设有拍摄脆性材料基板107的对准标记的2台的CCD摄影机108。在划线装置100沿x轴方向以支柱111a、lllb架^殳有桥110跨越移动台 101与其上部的平台106。划线头112可沿设于桥110的导引部113于X轴方 向移动。马达114是使划线头112沿X轴方向移动。在划线装置的划线头112通过保持具接头12 0安装有晶片保持具(以下^又 称为「保持具J) 10。图2A-2C为显示根据专利文献1的保持具的图，图3为 其立体图。如此多个图所示，保持具10是大致圆筒形的构件，其一端大致正 方形状的平坦部lla、 lib皆被设为平行于中心轴。保持具10于此平坦部之间 具有沿中心轴的缺口 12,在平坦部lla、 lib的下端具有垂直于其面的方向的 销槽13。划线轮(亦称r刀轮」)14具有例如轮径2. 5 mm、厚度0. 5 mm程度 的圆板状的形状，圆周部分的剖面形成为圆锥形，在中心具有贯通孔的圓盘^1夫 或环状。划线轮14是通过使被插入销槽13的销15贯通中心的贯通孔保持为可旋转。在将销15插入销槽13保持划线轮14后，即使需要划线轮的交换时 亦不取下划线轮而与保持具一起交换。另外，保持具10的另一端设有定位用 的安装部16。安装部16是切除保持具10而形成，具有倾斜部16a及平坦部 16b。平坦部16b是与保持具的轴平行，且与下方的平坦部lla、 lib为垂直。 保持具1G是其上部的安装部16为以磁性体金属构成。划线头112是在其内部设有使保持具10的升降动作为可能的升降部，例 如使用空气压控制的气压缸或利用线性马达的电动升降部等。划线装置是由升 降部将划线轮14以适当的荷重压接于脆性材料基板的表面上转动，形成划线。图4A-4C为显示以往的保持具接头120的图，图5为显示将保持具10插 入此保持具接头120的状态的立体图。如此多个图所示，保持具接头120在上 部具有轴承121a、 121b,下方为保持保持具10的保持部122。在保持具接头 120的j呆持部122，如图示形成有圆形的开口 123，其内侧埋i殳有》兹石124。又， 在此开口 123的内部于从中心轴离开的位置设置与中心轴垂直的平行销125。 平行销125是圆柱的构件，接触保持具10的倾斜部16a以定位保持具10。将 此保持具IO安装于保持具接头120时，是如图5所示将保持具IO从其安装部 16插入保持具接头120的开口 123。如此保持具10的前端部受》兹石124吸引， 且倾斜部16a接触平行销125而被定位固定。图6为显示于保持具接头120安装有保持具10的状态的局部剖面图，图7 为显示安装有保持具接头120的于划线头112的一部的图。由于保持具10仅 受磁石124吸引，故安装极容易，被固定于特定的位置。更换时是拉保持具IO 以卸下。专利文献1国际7^开WO 2007/063979以往的保持具10是安装于保持具接头120构成保持具单元130。在将保持 具单元130安装于划线头112划线时，是将划线轮按压于脆性材料基板并使其 移动。此时若划线弯曲，则在保持保持具的保持具接头120亦有扭力作用。因 此 一 旦形成弯曲的划线后，会有即使直线划线的状况划线的位置精度亦会低落 的缺点。又，由于保持具是压入保持具接头120的开口 123,故难以卸下。特 别是在使用机械手臂等自动工具交换器交换保持具时，有保持具的卸下变困难 的缺点。
技术实现思路
本专利技术主要目的是为了解决上述现有技术问题，以提供可将保持具确实保 持于保持具接头并使划线的位置精度提升且容易装卸的保持具接头、包含此与 保持具的保持具单元或划线头。为解决此课题，本专利技术的保持具接头是包括设于一端的开口、埋设于前 述开口的内侧的磁石、由侧方贯通前述开口的贯通孔、具有平行于轴的第一平 面部且被插入前述贯通孔且被保持为至少在一定角度范围自由旋动的销。在此本专利技术的保持具接头，可更包括连结于前述贯通孔的侧方而设的洼 部、被插入前述洼部内且将前述销的旋动角度限制于特定范围的限制手段。在此前述限制手段可是被保持为在一定范围自由移动的钢球等球体。在此前述销可是具有至少一端被切除而具有与前述第一平面部相异的角 度的第二平面部的圆柱状构件，以前述第二平面部与前述洼部保持前述球体。在此前述销可是剖面为多角形状的柱体。为解决此课题，本专利技术的保持具单元是包括保持具接头、具备安装于前 述保持具接头的划线型成用的划线轮的保持具的保持具单元，前述保持具接头 具有设于一端的开口、埋设于前述开口的内侧的/f兹石、由侧方贯通前述开口 的贯通孔、具有平行于轴的第一平面部及至少一端被切除而具有与前述第一平 面部相异的角度的第二平面部且被插入前述贯通孔且被保持为至少在一定角 度范围自由旋动的销，前述保持具具有以磁性体金属构成且具有接触前述保 持具接头的前述销的第一平面部的倾斜面的安装部、自由旋动地设于下端的划 线轮，前述保持具是通过前述销的第一平面部与前述保持具的安装部的倾斜面 的面接触被定位而被安装于前述保持具接头。在此前述保持具接头可更具备连结于前述贯通孔的侧方而设的洼部、被 插入前述洼部内且将前述销的旋动角度限制于特定范围的限制手段。在此前述保持具可为圆柱状构件，前述保持具接头的开口包含比前述保 持具的圆筒的外径大的圆周部分、比圆周的外径小的圆周部分。为解决此课题，本专利技术的划线头是用于划线装置的划线头，具有将前述的 保持具单元保持为自由上下动的升降部。为解决此课题，本专利技术的划线装置是用于脆性材料基板的划线的划线装 置，包括前述划线头、在脆性材料基板与脆性材料基板的平面方向相对移动 前述划线头的相对移动部。利用具有此种特征的本专利技术，保持具接头在第一平面部安定保持保持具， 故可使形成划线时的精度提升。又，可容易从保持具接头安装或卸下保持具。 因此，可获得使用机械手臂或自动工具交换器而保持具的装卸为自由的效果。附图说明图1为显示以往的划线装置的全体构成的立体图；图2A-2C为显示保持具构成的前视图、右侧视图、仰视图；图3为显示保持具的立体图。图4A-4C为显示以往的保持具接头的前视图、右侧视图、仰视图； 图5为将保持具插入以往的保持具接头时的立体图； 图6为显示已插入保持具的状态的保持具接头的局部剖面图； 图7为显示将保持具接头安装于划线头的状态的图； 图8为显示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种保持具接头，其特征在于，其包括：　设于一端的开口、埋设于前述开口内侧的磁石、由侧方贯通前述开口的贯通孔、以及具有平行于轴的第一平面部且插入前述贯通孔被保持为至少在一定角度范围自由旋动的销。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本正男，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]