【技术实现步骤摘要】
存储装置
[0001][相关申请案][0002]本申请案享有以日本专利申请案2022
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47429号(申请日:2022年3月23日)为基础申请案的优先权。本申请案通过参照该基础申请案而包含基础申请案的全部内容。
[0003]实施方式大体上涉及一种存储装置。
技术介绍
[0004]已知有包含三维排列的存储单元的存储装置。存储装置需要高速进行动作。
技术实现思路
[0005]实施方式提供一种能够高速进行动作的存储装置。
[0006]一实施方式的存储装置包含第1导电体、第1存储器柱、第2导电体、第3导电体、第2存储器柱、第4导电体及第5导电体。所述第1导电体沿着第1轴及第2轴扩展。所述第1存储器柱设置在所述第1导电体的内部,包含第1半导体及所述第1半导体周围的电荷蓄积层。所述第2导电体沿着所述第2轴延伸,与所述第1存储器柱相接。所述第3导电体沿着第1轴及第2轴扩展,且沿着所述第2轴与所述第1导电体留有间隔地排列。所述第2存储器柱设置在所述第3导电体的内部,包含第2半导体及所述第2半 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种存储装置,具备:第1导电体,沿着第1轴及第2轴扩展;第1存储器柱,设置在所述第1导电体的内部,包含第1半导体及所述第1半导体周围的电荷蓄积层;第2导电体,沿着所述第2轴延伸,与所述第1存储器柱相接;第3导电体,沿着所述第1轴及所述第2轴扩展,且沿着所述第2轴与所述第1导电体留有间隔地排列;第2存储器柱,设置在所述第3导电体的内部,包含第2半导体及所述第2半导体周围的电荷蓄积层;第4导电体,沿着所述第2轴延伸,与所述第2存储器柱相接;及第5导电体,沿着所述第2轴延伸,与所述第1存储器柱及所述第2存储器柱连接。2.根据权利要求1所述的存储装置,还具备第3半导体,所述第3半导体与所述第1半导体及所述第2半导体相接,且与所述第5导电体相接,包含杂质。3.根据权利要求1所述的存储装置,其中所述第2导电体与第1感测放大器电路连接,所述第4导电体与第2感测放大器电路连接。4.根据权利要求3所述的存储装置,其中所述第1感测放大器电路及所述第2感测放大器电路位于所述第1导电体及所述第3导电体的沿着与所述第1轴及所述第2轴相交的第3轴的下方。5.根据权利要求1所述的存储装置,还具备:第1垫;及第1晶体管,与所述第5导电体连接;且所述第1垫、所述第3导电体、所述第1导电体、所述第1晶体管依序沿着所述第2轴排列。6.根据权利要求1所述的存储装置,还具备:衬底;第2晶体管,位于所述衬底上;第6导电体,与所述第2晶体管连接,具有倒锥形;及第7导电体,设置在所述第6导电体上,具有锥形。7.根据权利要求1所述的存储装置,还具备:衬底;第2晶体管,设置在所述衬底上,位于所述衬底与所述第1导电体之间;第8导电体,位于所述第1存储器柱的沿着第3轴的上方,与所述第1存储器柱连接,所述第3轴与所述第1轴及所述第2轴相交;及第9导电体,连接于所述第2晶体管及所述第8导电体,沿着所述第3轴延伸。8.根据权利要求1所述的存储装置,还具备第10导电体,所述第10导电体沿着所述第2轴延伸,与所述第5导电体沿着所述第1轴排列,具有向外部露出的部分。9.根据权利要求1所述的存储装置,还具备:第11导电体,与所述第1导电体沿着所述第1轴排列,且沿着所述第1轴及所述第2轴扩展;
第3存储器柱,设置在所述第11导电体的内部,包含第3半导体及所述第3半导体周围的电荷蓄积层,与所述第5导电体连接;第12导电体,位于所述第1导电体的沿着与所述第1轴及所述第2轴相交的第3轴的上方,与所述第1导电体连接,沿着所述第3轴延伸;及第13导电体,位于所述第11导电体的沿着所述第3轴的上方,与所述第11导电体连接,沿着所述第3轴延伸。10.根据权利要求9所述的存储装置,还具备:第1开关,具有与所述第1导电体连接的第1端及与第1配线连接的第2端;第1解码器,经由第2配线与所述第1开关的控制端子连接;第2开关,具有与所述第3导...
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