涂布装置制造方法及图纸

技术编号:3902916 阅读:146 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种能够适当地对涂布在基板上的涂布液的截面面积或者截面形状进行测定的涂布装置。涂布单元(20)内的系统控制器(220)和伺服驱动器(222)构成为:在对涂布于玻璃基板(50)上的糊膏(60)的截面面积进行测定的时刻,停止对通过伺服控制使基板操作台(116)和喷头(110)移动的伺服电机(202、206、210)供给电力,从而使伺服控制停止。由此,在想要使基板操作台(116)和喷头(110)停留在预定位置的情况下,不会伴随用于对位的伺服控制而产生微小振动,能够适当地对糊膏(60)的截面面积进行测定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种将涂布液涂布在基板上的涂布装置。技术背景以往,在制造液晶显示面板时,采用将密封液晶用的糊膏(paste) 涂布在玻璃基板上的糊膏涂布装置。在这样的糊膏涂布装置中,将玻璃 基板搭载在操作台上,通过将填充于糊膏筒中的糊膏从喷嘴中排出,从 而将该糊膏涂布在玻璃基板上。在涂布糊膏时,需要将糊膏适当地涂布 在玻璃基板上。 一般来说,糊膏具有其粘度随时间增长而增大的特性(摇 变性)。因此,即使是通过保证喷嘴前端与玻璃基板的距离固定等使糊膏 涂布装置的涂布条件相同,涂布在玻璃基板上的糊膏的量还是会出现差升°因而,例如专利文献1中记载的糊膏涂布装置通过光学距离计来测 量其到涂布于基板上的糊膏的距离,从而测定该糊膏的截面形状,以此 能够确认该截面形状是否适当,进而能够确认糊膏的量是否适当。专利文献1:日本特开平7-275770号公报然而,在上述现有的糊膏涂布装置中,在涂布糊膏时通过伺服控制 使操作台和喷头移动的情况下,会产生如下的问题。即,就伺服控制来 说,根据用于使操作台和喷头移动的伺服电机的旋转量来检测所述操作 台和喷头的位置,进而根据该位置来控制伺服电机的驱动,从而使操作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布装置,该涂布装置将涂布液涂布在基板上,其特征在于, 该涂布装置包括: 操作台,其用于搭载所述基板; 喷头,其具有朝向所述基板排出所述涂布液的喷嘴; 测定装置,其对从所述喷嘴中排出并涂布在所述基板上的涂布液的截 面面积或者截面形状进行测定; 驱动机构,其通过伺服控制使所述操作台和所述喷头中的至少任一方移动;以及 控制装置,其在利用所述测定装置对所述涂布液的截面面积或者截面形状进行测定时,使所述驱动机构的伺服控制停止。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:小嶋纯一
申请(专利权)人:芝浦机械电子装置股份有限公司
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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