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本发明提供一种能够适当地对涂布在基板上的涂布液的截面面积或者截面形状进行测定的涂布装置。涂布单元(20)内的系统控制器(220)和伺服驱动器(222)构成为:在对涂布于玻璃基板(50)上的糊膏(60)的截面面积进行测定的时刻,停止对通过伺服...该专利属于芝浦机械电子装置股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芝浦机械电子装置股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种能够适当地对涂布在基板上的涂布液的截面面积或者截面形状进行测定的涂布装置。涂布单元(20)内的系统控制器(220)和伺服驱动器(222)构成为:在对涂布于玻璃基板(50)上的糊膏(60)的截面面积进行测定的时刻,停止对通过伺服...