一种显影装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种显影装置，涉及晶圆显影技术领域。该显影装置，包括：外箱体，所述外箱体为中空状；所述外箱体的内腔右前侧设置为冲洗仓，所述冲洗仓内设置有冲洗机构；所述外箱体的内腔右后侧设置为第一物料暂存仓；所述外箱体的内腔后侧中部设置为涂胶仓，所述涂胶仓内设置有涂胶机构；所述外箱体的内腔左后侧设置为第二物料暂存仓；所述外箱体的内腔左前侧设置为温控仓，所述温控仓内设置有加热冷却单元；所述外箱体的内腔前侧中部设置有机械臂安装位。该显影装置，通过第一物料暂存仓、第一物料暂存仓的设置，将印版物料的冲洗、涂胶、烘干等步骤之间能够有缓冲空间，从而使得印版物料在切换加工工序时，能够运行平稳。能够运行平稳。能够运行平稳。

【技术实现步骤摘要】
一种显影装置


[0001]本技术涉及显影
，具体为一种显影装置。

技术介绍

[0002]涂胶/显影设备是在光刻工艺中与光刻机配合作业的重要设备。在曝光前，由涂胶机进行光刻机的涂覆；而后是光刻机对光刻胶进行曝光；在曝光后由显影设备进行光刻图案的显影。
[0003]目前，在晶圆显影设备领域，通常有半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备，一般由传动系统、显影系统、冲洗系统、烘干系统、程序控制系统等部分组成。
[0004]目前的显影机对于印版操作的各个工序之间连贯性不够，使得印版物料在经过一个工序加工后与下一个工序的切换不够连贯。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种显影装置，解决了
技术介绍
提出的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种显影装置，包括：
[0009]外箱体，所述外箱体为中空状；
[0010]所述外箱体的内腔右前侧设置为冲洗仓，所述冲洗仓内设置有冲洗机构；
[0011]所述外箱体的内腔右后侧设置为第一物料暂存仓；
[0012]所述外箱体的内腔后侧中部设置为涂胶仓，所述涂胶仓内设置有涂胶机构；
[0013]所述外箱体的内腔左后侧设置为第二物料暂存仓；
[0014]所述外箱体的内腔左前侧设置为温控仓，所述温控仓内设置有加热冷却单元；
[0015]所述外箱体的内腔前侧中部设置有机械臂安装位。
[0016]优选的，所述冲洗机构包括液池状显影仓、供液管路和夹持机构，所述供液管路和夹持机构设置在液池状显影仓的侧边。
[0017]优选的，所述第一物料暂存仓内部两侧均设置有限位挡板。
[0018]优选的，所述涂胶机构包括涂胶池和设置在涂胶池外围的胶液喷涂旋转臂。
[0019]优选的，所述第二物料暂存仓内部设置有物料吊装机构。
[0020]优选的，所述外箱体的内腔前侧中部设置有晶圆上下料对中机构，所述晶圆上下料对中机构位于机械臂安装位的前侧。
[0021](三)有益效果
[0022]本技术提供了一种显影装置，与现有技术相比，至少具备以下有益效果：
[0023]该显影装置，通过第一物料暂存仓、第一物料暂存仓的设置，将印版物料的冲洗、
涂胶、烘干等步骤之间能够有缓冲空间，从而使得印版物料在切换加工工序时，能够运行平稳。
附图说明
[0024]图1为本技术结构示意图；
[0025]图2为本技术图1的A
‑
A剖视图。
[0026]图中：1、外箱体；2、液池状显影仓；3、晶圆上下料对中机构；4、限位挡板；5、机械臂安装位；6、加热冷却单元。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1
‑
2，本技术提供一种技术方案：一种显影装置，包括：
[0029]外箱体1，所述外箱体1为中空状；外箱体1内部通过隔板隔成以下的各个仓体。
[0030]所述外箱体1的内腔右前侧设置为冲洗仓，所述冲洗仓内设置有冲洗机构；冲洗机构能够对印版进行冲洗。
[0031]所述外箱体1的内腔右后侧设置为第一物料暂存仓；
[0032]所述外箱体1的内腔后侧中部设置为涂胶仓，所述涂胶仓内设置有涂胶机构；
[0033]所述外箱体1的内腔左后侧设置为第二物料暂存仓；第一物料暂存仓、第二物料暂存仓用于对待进入下一步骤的印版物料临时存放。
[0034]所述外箱体1的内腔左前侧设置为温控仓，所述温控仓内设置有加热冷却单元6；
[0035]所述外箱体1的内腔前侧中部设置有机械臂安装位5。
[0036]如图1、2所示，本技术提供了一种实施方式，所述冲洗机构包括液池状显影仓2、供液管路和夹持机构，所述供液管路和夹持机构设置在液池状显影仓2的侧边。供液管路箱液池状显影仓2内淋液用于对印版冲洗，夹持机构用于对印版夹持。
[0037]如图2所示，本技术提供了一种实施方式，所述第一物料暂存仓内部两侧均设置有限位挡板4。限位挡板4的设置用于对印版物料阻挡，避免印版物料倾斜移动。
[0038]如图2所示，本技术提供了一种实施方式，所述涂胶机构包括涂胶池和设置在涂胶池外围的胶液喷涂旋转臂。胶液喷涂旋转臂将胶液喷出并旋转涂刷在涂胶池内的印版上。
[0039]如图2所示，本技术提供了一种实施方式，所述第二物料暂存仓内部设置有物料吊装机构。物料吊装机构用于将印版物料吊装。
[0040]优选的，所述外箱体1的内腔前侧中部设置有晶圆上下料对中机构3，所述晶圆上下料对中机构3位于机械臂安装位5的前侧。晶圆上下料对中机构3用于对印版上下料并对中操作(对中采用现有技术，通过机械臂将晶圆上下料对中机构3上的晶圆取放)。
[0041]工作时，首先把装满晶圆的片盒放在两个晶圆上下料对中机构3的其中之一上。
[0042]放置好后关门启动设备运转，机械臂安装位5上的机械臂首先扫描晶圆片盒里的
晶圆来获取晶圆的位置和数量，扫描完成后开始伸出带吸盘的手臂取片，取出后放在片盒下部的晶圆上下料对中机构3上对中，对中后再取出放入右侧或者后侧的液池状显影仓2里。
[0043]液池状显影仓2内的真空吸盘放置晶圆后开始真空吸附并下降到腔体内，然后开始旋转，安装有药液喷嘴的冲洗机构移动到晶圆上方后开始根据程序设定喷撒不同药液。
[0044]液池状显影仓2工作完成后，冲洗机构上升并摆出液池状显影仓2，再由晶圆处上下两个固定的喷嘴开始喷纯液进行清洗，清洗干净后液池状显影仓2内电机开始高速旋转进行甩干，然后上升晶圆到液池状显影仓2外边，等待机械臂取走晶圆。
[0045]与此同时其他三个液池状显影仓2也在做同样的动作。
[0046]机械臂在得到有晶圆完成显影的信号后开始去取，取片的同时另一个机械臂再放置一片晶圆到液池状显影仓2；
[0047]机械臂从液池状显影仓2取下晶圆后转动到加热冷却单元6，把晶圆放到加热冷却单元6的加热盘三个顶针上并退出，顶针上放置晶圆后下降，把晶圆放到加热盘上进行加热，蒸发晶圆上的液体并固化晶圆结构。
[0048]加热冷却单元6一共有五个加热盘、三个冷却盘、一套排风系统，每个盘都与风道联通，随时把蒸发的气体、冷却的气体和产生的热量排到厂外管道中进行处理。
[0049]晶圆加热时间到达后顶针顶起晶圆等待取放片。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显影装置，其特征在于，包括：外箱体(1)，所述外箱体(1)为中空状；所述外箱体(1)的内腔右前侧设置为冲洗仓，所述冲洗仓内设置有冲洗机构；所述外箱体(1)的内腔右后侧设置为第一物料暂存仓；所述外箱体(1)的内腔后侧中部设置为涂胶仓，所述涂胶仓内设置有涂胶机构；所述外箱体(1)的内腔左后侧设置为第二物料暂存仓；所述外箱体(1)的内腔左前侧设置为温控仓，所述温控仓内设置有加热冷却单元(6)；所述外箱体(1)的内腔前侧中部设置有机械臂安装位(5)。2.根据权利要求1所述的一种显影装置，其特征在于：所述冲洗机构包括液池状显影仓(2)、供液管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿彪，
申请(专利权)人：北京华林嘉业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：