一种硅外延石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法技术

本发明专利技术涉及硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，采用硅外延炉石英钟罩清洗装置对硅外延炉石英钟罩进行清洗，硅外延炉石英钟罩清洗装置包括钟罩清洗工位和酸泡清洗工位，硅外延炉石英钟罩在钟罩清洗工位进行清洗时，依次经过第一次水洗工序、稀酸清洗工序、第二次水洗工序、浓酸清洗工序、第三次水洗工序、干燥工序；酸泡清洗工位进行清洗时，包括酸泡作业、排酸作业、注水作业、溢流和鼓泡作业、排水作业、pH检测作业。本发明专利技术能对硅外延炉石英钟罩进行喷淋清洗以及对钟罩相关的配套件以及石英件进行浸泡清洗，对硅外延炉石英钟罩内壁附着的磷砷硼等掺杂物有效的清洗、去除，清洗效果好，清洗效率高。清洗效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种硅外延石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法


[0001]本专利技术涉及硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，属于钟罩清洗


技术介绍

[0002]目前，对硅外延炉石英钟罩(以下简称钟罩)及石英件的清洗通常都是分为两个工位/设备，钟罩相关的配套件以及石英件都是在浸泡槽中进行浸泡清洗。钟罩的主体通常都是对其内表面进行清洗，清洗方法分别为：
[0003]一、采用自动高压清洗装置——即使用高压水流(清洗液)对钟罩内表面进行冲洗，再进行烘干。
[0004]二、采用浸泡式清洗，如申请号为CN201922036727.6的“一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备”。
[0005]三、采用喷淋清洗的方式，如授权公告号为CN101352714B“一种组合式钟罩清洗机及其操作方法”。
[0006]上述几种清洗方法，其清洗效果有限，只能清洗钟罩内表面粘附的易冲洗的污垢，对于粘附较牢固的污垢则较难清除，尤其是对磷砷硼等掺杂物的清洗，去除率低，清洗效率低。

技术实现思路

[0007]本专利技术针对现有技术存在的不足，提供了硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，具体技术方案如下：
[0008]硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，采用硅外延炉石英钟罩清洗装置对硅外延炉石英钟罩进行清洗，所述硅外延炉石英钟罩清洗装置包括钟罩清洗工位和酸泡清洗工位，所述硅外延炉石英钟罩在钟罩清洗工位进行清洗时，依次经过第一次水洗工序、稀酸清洗工序、第二次水洗工序、浓酸清洗工序、第三次水洗工序、干燥工序；所述酸泡清洗工位进行清洗时，包括酸泡作业、排酸作业、注水作业、溢流和鼓泡作业、排水作业、pH检测作业。
[0009]作为上述技术方案的改进，第一次水洗工序的水洗时间为600
‑
1000s，稀酸清洗工序的清洗时间为120
‑
240s，第二次水洗工序的水洗时间为 600
‑
1000s，浓酸清洗工序的清洗时间为120
‑
240s，第三次水洗工序的水洗时间为600
‑
1000s，干燥工序的干燥时间为1800
‑
3000s。
[0010]作为上述技术方案的改进，在对硅外延炉石英钟罩的内壁进行清洗时，采用喷淋清洗，喷淋清洗效果更高。
[0011]作为上述技术方案的改进，所述干燥工序采用氮气干燥。采用氮气加热，高纯无污染。
[0012]作为上述技术方案的改进，所述酸泡清洗工位位于清洗槽，在清洗槽中酸泡作业
的时间为360
‑
720s，采用循环过滤；清洗槽中的排酸作业时间为60
‑
120s，排酸后进行注水作业，注水作业与排水作业之间采用循环，循环总时间为1000
‑
2000s，采用在线pH计进行pH检测作业。
[0013]在对钟罩相关的配套件以及石英件在清洗槽中进行酸泡清洗，清洗之后，进行排酸，酸液排出完毕之后，进行注入去离子水，在清洗槽中注水时，保持溢流，同时，在清洗槽的底部鼓泡，进一步提高清洗效果，溢出出的水经过过滤后可循环使用。在清洗过程中，使用在线pH计始终监测清洗槽内液体的pH值。
[0014]作为上述技术方案的改进，所述稀酸清洗工序中所采用的酸为盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、氢氟酸中的一种或多种，所述浓酸清洗工序中所采用的酸为盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、氢氟酸中的一种或多种。
[0015]作为上述技术方案的改进，所述稀酸清洗工序以及所述浓酸清洗工序中的流体均为二流体，二流体为气体和液体的混合体，二流体中的液体为酸，二流体中的气体为氮气、压缩空气、二氧化碳中的一种或多种。
[0016]作为上述技术方案的改进，所述稀酸清洗工序以及所述浓酸清洗工序中的流体均为三流体，三流体为气体、液体和固体的混合体，三流体中的气体为氮气、压缩空气、二氧化碳中的一种或多种，三流体中的液体为酸，三流体中的固体为冰粒，冰粒的粒径为2～3mm，三流体在管道内的输送时间不超过3s；三流体在管内内输送时，管道内的温度不超过15℃；三流体在初始时，每1L的液体中，含有的冰粒为80～120颗；三流体采用离心泵进行输送。
[0017]其中，三流体种气体的温度可以是常温、低温(如小于15℃)或恒温。可通过增加恒温装置(温度可控)，便于气体输送过去后能保证固态物、液态物在钟罩内壁可控界面中释放。
[0018]本专利技术的有益效果：
[0019]所述硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，采用硅外延炉石英钟罩清洗装置对硅外延炉石英钟罩进行喷淋清洗以及对钟罩相关的配套件以及石英件进行浸泡清洗，一机双用，设备占地面积小，兼容性强，安全性高，操作性强，应用价值高。能对硅外延炉石英钟罩内壁附着的磷砷硼等掺杂物有效的清洗、去除，清洗效果好，清洗效率高，实施效果好，具有极大的经济价值以及市场竞争力。
具体实施方式
[0020]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0021]实施例1
[0022]采用硅外延炉石英钟罩清洗装置对待清洗的硅外延炉石英钟罩进行清洗，所述硅外延炉石英钟罩清洗装置包括钟罩清洗工位和酸泡清洗工位，待清洗的硅外延炉石英钟罩在钟罩清洗工位进行清洗时，依次经过第一次水洗工序、稀酸清洗工序、第二次水洗工序、浓酸清洗工序、第三次水洗工序、干燥工序；第一次水洗工序的水洗时间为1000s，稀酸清洗工序的清洗时间为240s，第二次水洗工序的水洗时间为1000s，浓酸清洗工序的清洗时间为240s，第三次水洗工序的水洗时间为1000s，干燥工序的干燥时间为 3000s。其中，在对硅外
延炉石英钟罩的内壁进行清洗时，采用喷淋清洗。所述干燥工序采用氮气干燥。所述稀酸清洗工序中所采用的酸为质量分数为18％的盐酸。所述浓酸清洗工序中所采用的酸为质量分数为30％的盐酸。
[0023]在本实施例中，清洗的流体均为单流体，即不与气体或固体混合的液体。
[0024]在第三次水洗工序结束后，按照《清洗完毕验证试验》进行检测，检测合格后，采用氮气进行干燥工序。总清洗时间为3480s。
[0025]实施例2
[0026]本实施例与实施例1的不同之处仅在于：
[0027]所述稀酸清洗工序以及所述浓酸清洗工序中的流体均为二流体，二流体为气体和液体的混合体，二流体中的液体为盐酸，二流体中的气体为压缩空气，压缩空气的压力为0.8Mpa，二流体中的压缩空气与二流体中的盐酸之间的流量比为2:1。
[0028]在第三次水洗工序结束后，按照《清洗完毕验证试验》进行检测，检测合格后，采用氮气进行干燥工序。总清洗时间为2420s。
[0029]其中，第一次水洗工序的水洗时间为700s，稀酸清洗工序的清洗时间为150s，第二次水洗工序的水洗时间为700s，浓酸清洗工序的清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，其特征在于，采用硅外延炉石英钟罩清洗装置对硅外延炉石英钟罩进行清洗，所述硅外延炉石英钟罩清洗装置包括钟罩清洗工位和酸泡清洗工位，所述硅外延炉石英钟罩在钟罩清洗工位进行清洗时，依次经过第一次水洗工序、稀酸清洗工序、第二次水洗工序、浓酸清洗工序、第三次水洗工序、干燥工序；所述酸泡清洗工位进行清洗时，包括酸泡作业、排酸作业、注水作业、溢流和鼓泡作业、排水作业、pH检测作业。2.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，其特征在于：第一次水洗工序的水洗时间为600
‑
1000s，稀酸清洗工序的清洗时间为120
‑
240s，第二次水洗工序的水洗时间为600
‑
1000s，浓酸清洗工序的清洗时间为120
‑
240s，第三次水洗工序的水洗时间为600
‑
1000s，干燥工序的干燥时间为1800
‑
3000s。3.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，其特征在于：在对硅外延炉石英钟罩的内壁进行清洗时，采用喷淋清洗。4.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，其特征在于：所述干燥工序采用氮气干燥。5.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法，其特征在于：所述酸泡清洗工...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿彪，耿仕昂，
申请(专利权)人：北京华林嘉业科技有限公司，
类型：发明
国别省市：