一种可拆分的镀膜设备制造技术

技术编号:39022622 阅读:9 留言:0更新日期:2023-10-07 11:05
本实用新型专利技术提供一种可拆分的镀膜设备,该可拆分的镀膜设备包括:真空腔体,以及设置在真空腔体内部的放卷辊、收卷辊、可拆分的上镀膜单元组和可拆分的下镀膜单元组;其中,放卷辊和收卷辊滑动地设置在真空腔体上;上镀膜单元组和下镀膜单元组可拆卸的安装在真空腔体上。本实用新型专利技术实施例中的上镀膜单元组和下镀膜单元组分别可拆分,并可拆卸的安装在真空腔体上,可以方便更换镀膜单元以适应不同的镀膜工艺;另外,放卷辊和收卷辊滑动地设置在真空腔体上,易于调整薄膜放卷和收卷时的张力。易于调整薄膜放卷和收卷时的张力。易于调整薄膜放卷和收卷时的张力。

【技术实现步骤摘要】
一种可拆分的镀膜设备


[0001]本技术涉及薄膜制备设备
,具体涉及一种可拆分的镀膜设备。

技术介绍

[0002]镀膜设备是一种可以在薄膜或者其他物件上形成金属或者非金属层的一种设备,其使用是内部真空,待镀材料受热向上挥发到薄膜或者其他材料的表面,从而使得薄膜或者其他材料形成金属或者非金属层。但是当前的镀膜设备为一体结构,当工艺变化时,很难对其进行更改。

技术实现思路

[0003]有鉴于此,本技术实施例的目的在于提供一种可拆分的镀膜设备,以解决现有技术中镀膜设备为一体结构,当工艺变化时,很难对其进行更改的技术问题。
[0004]为达上述目的,本技术实施例提供了一种可拆分的镀膜设备,所述镀膜设备包括:真空腔体,以及设置在所述真空腔体内部的放卷辊、收卷辊、可拆分的上镀膜单元组和可拆分的下镀膜单元组;其中,
[0005]所述上镀膜单元组和所述下镀膜单元组可拆卸的安装在所述真空腔体上。
[0006]在一些可能的实施方式中,所述放卷辊和所述收卷辊滑动地设置在所述真空腔体上;
[0007]所述可拆分的上镀膜单元组包括多个上镀膜单元,多个所述上镀膜单元可拆卸的安装在所述真空腔体上,用于对薄膜的第一面进行镀膜;
[0008]所述可拆分的下镀膜单元组包括多个下镀膜单元,多个所述下镀膜单元可拆卸的安装在所述真空腔体上,用于对所述薄膜的第二面进行镀膜。
[0009]在一些可能的实施方式中,所述镀膜设备还包括:
[0010]转向辊,位于所述上镀膜单元组和所述下镀膜单元组之间,并转动的安装在所述真空腔体上。
[0011]在一些可能的实施方式中,所述镀膜设备还包括:
[0012]备用辊,可滑动地安装在所述真空腔体上,用于接替所述收卷辊继续收卷。
[0013]在一些可能的实施方式中,所述上镀膜单元包括:
[0014]第一壳体,所述第一壳体可拆卸地安装在所述真空腔体上;
[0015]第一主辊、以及设置在所述第一主辊下方的第一蒸发源,分别安装在所述第一壳体上;其中,所述第一主辊中设置有冷却液;
[0016]所述下镀膜单元包括:
[0017]第二壳体,所述第二壳体可拆卸地安装在所述真空腔体上;
[0018]第二主辊、以及设置在所述第二主辊下方的第二蒸发源,分别安装在所述第二壳体上;其中,所述第二主辊中设置有冷却液。
[0019]在一些可能的实施方式中,所述上镀膜单元包括:第一过辊,安装在所述第一壳体
上;
[0020]所述下镀膜单元包括:第二过辊,安装在所述第二壳体上。
[0021]在一些可能的实施方式中,所述上镀膜单元还包括:第一温度检测器,设置于所述第一壳体内,用于检测所述第一蒸发源的温度;
[0022]所述下镀膜单元还包括:第二温度检测器,设置于所述第二壳体内,用于检测所述第二蒸发源的蒸发温度。
[0023]在一些可能的实施方式中,所述上镀膜单元还包括:第一厚度检测器,设置于所述第一壳体内,用于检测所述薄膜的第一面镀层厚度;
[0024]所述下镀膜单元还包括:第二厚度检测器,设置于所述第二壳体内,用于检测所述薄膜的第二面镀层厚度。
[0025]在一些可能的实施方式中,在所述真空腔体上设置有真空泵组,用于将所述真空腔体抽成真空。
[0026]在一些可能的实施方式中,在所述真空腔体内设置有真空度检测器,用于检测所述真空腔体内的真空度。
[0027]上述技术方案的有益技术效果在于:
[0028]本技术实施例提供的一种可拆分的镀膜设备,该镀膜设备包括:真空腔体,以及设置在真空腔体内部的放卷辊、收卷辊、可拆分的上镀膜单元组和可拆分的下镀膜单元组;其中,放卷辊和收卷辊滑动地设置在真空腔体上;上镀膜单元组和下镀膜单元组可拆卸的安装在真空腔体上。本技术实施例中的上镀膜单元组和下镀膜单元组分别可拆分,并可拆卸的安装在真空腔体上,可以方便更换镀膜单元以适应不同的镀膜工艺;另外,放卷辊和收卷辊滑动地设置在真空腔体上,易于调整薄膜放卷和收卷时的张力。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1是本技术实施例的一种可拆分的镀膜设备的整体结构示意图;
[0031]图2是本技术实施例的一种上镀膜单元组或下镀膜单元组的整体结构示意图;
[0032]图3是本技术实施例的一种上镀膜单元或下镀膜单元的结构示意图。
[0033]附图标号说明:
[0034]1、真空腔体;11、真空泵组;12、真空度检测器;2、放卷辊;3、收卷辊;4、上镀膜单元组;41、上镀膜单元;411、第一壳体;412、第一主辊;413、第一蒸发源;414、第一过辊;415、第一温度检测器;416、第一厚度检测器;5、下镀膜单元组;51、下镀膜单元;511、第二壳体;512、第二主辊;513、第二蒸发源;514、第二过辊;515、第二温度检测器;516、第二厚度检测器;6、转向辊;7、备用辊。
具体实施方式
[0035]下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中,提出了许多具体细节,以便提供对本技术的全面理解。但是,对于本领域技术人员来说很明显的是,本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术的更好的理解。在附图和下面的描述中,至少部分的公知结构和技术没有被示出,以便避免对本技术造成不必要的模糊;并且,为了清晰,可能夸大了部分结构的尺寸。此外,下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
[0036]图1是本技术实施例的一种可拆分的镀膜设备的整体结构示意图,如图1所示,该镀膜设备包括:真空腔体1,以及设置在真空腔体1的内部的放卷辊2、收卷辊3、可拆分的上镀膜单元组4和/或可拆分的下镀膜单元组5;其中,放卷辊2和收卷辊3滑动地设置在真空腔体1上;上镀膜单元组4和/或下镀膜单元组5可拆卸的安装在真空腔体1上。
[0037]本技术实施例中的上镀膜单元组4和下镀膜单元组5分别可拆分,并可拆卸的安装在真空腔体1上,可以方便更换镀膜单元以适应不同的镀膜工艺;
[0038]另外,本实施例中,放卷辊2位于收卷辊3上部,当然也可以放卷辊2位于收卷辊3下部,由于本实施例中放卷辊2和收卷辊3可以在真空腔体1上任意滑动,进而随时调整放卷辊2和收卷辊3的位置,进而调整收卷和放卷部分的薄膜的张力,防止放卷后薄膜在运行过程中起皱,影响产品质量;同时控制收卷辊3的张力,防止收卷时薄膜各个部分的张力不一致,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可拆分的镀膜设备,其特征在于,所述镀膜设备包括:真空腔体(1),以及设置在所述真空腔体(1)内部的放卷辊(2)、收卷辊(3)、可拆分的上镀膜单元组(4)和/或可拆分的下镀膜单元组(5);其中,所述上镀膜单元组(4)和/或所述下镀膜单元组(5)可拆卸的安装在所述真空腔体(1)上。2.根据权利要求1所述的一种可拆分的镀膜设备,其特征在于,所述放卷辊(2)和所述收卷辊(3)滑动地设置在所述真空腔体(1)上;所述可拆分的上镀膜单元组(4)包括多个上镀膜单元(41),多个所述上镀膜单元(41)可拆卸的安装在所述真空腔体(1)上,用于对薄膜的第一面进行镀膜;所述可拆分的下镀膜单元组(5)包括多个下镀膜单元(51),多个所述下镀膜单元(51)可拆卸的安装在所述真空腔体(1)上,用于对所述薄膜的第二面进行镀膜。3.根据权利要求1所述的一种可拆分的镀膜设备,其特征在于,所述镀膜设备还包括:转向辊(6),位于所述上镀膜单元组(4)和所述下镀膜单元组(5)之间,并转动的安装在所述真空腔体(1)上。4.根据权利要求1所述的一种可拆分的镀膜设备,其特征在于,所述镀膜设备还包括:备用辊(7),可滑动地安装在所述真空腔体(1)上,用于接替所述收卷辊(3)继续收卷。5.根据权利要求2所述的一种可拆分的镀膜设备,其特征在于,所述上镀膜单元(41)包括:第一壳体(411),所述第一壳体(411)可拆卸地安装在所述真空腔体(1)上;第一主辊(412)、以及设置在所述第一主辊(412)下方的第一蒸发源(413),分别安装在所述第一壳体(411)上;其中,所述第一主辊(412)中设置有冷却液;所述下镀膜单元(5...

【专利技术属性】
技术研发人员:臧世伟
申请(专利权)人:重庆金美新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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