本实用新型专利技术涉及管路连接技术领域，公开一种管路接头装置。其中管路接头装置包括压紧组件、卡口组件、密封接头和第一内衬。压紧组件设置有阶梯孔，阶梯孔的大径段的内壁设置有第一内螺纹；卡口组件一端抵接于阶梯孔的第一阶梯面，另一端的外壁设置有第一外锥面；密封接头设置有连接部，连接部的外壁设置有与第一内螺纹配合的第一外螺纹，连接部还设置有连接孔，连接孔设置有与第一外锥面密封抵接的第一内锥面；第一内衬用于支撑管路的内壁；管路依次穿设于阶梯孔的小径段、卡口组件并伸入连接孔内；第一内螺纹螺纹连接于第一外螺纹，以使第一内锥面驱动卡口组件密封抵接于管路的外壁，且能够调节卡口组件与管路之间的卡紧力。且能够调节卡口组件与管路之间的卡紧力。且能够调节卡口组件与管路之间的卡紧力。
【技术实现步骤摘要】
一种管路接头装置
[0001]本技术涉及管路连接
，尤其涉及一种管路接头装置。
技术介绍
[0002]随着制造技术发展，超高真空环境被广泛应用，真空密封是保证系统真空度的重要手段。目前市面上已经成型真空管接头方式大多适用于金属管以及金属接头，但是在半导体运动台或者是其他行业的真空运动台往往需要管身材质较软并能够承受一定的位移以及变形。尽管金属波纹管能够承受一定的轴向位移，但是其硬度较强致使弯曲力大，运动位移以及变形有限，尤其是对于精密平台施加较大的线缆力，给电机造成相当大的负担。
[0003]由于高真空环境的特殊性，目前市面广泛应用的接头方式主要有卡套接头以及VCR金属密封接头(世伟洛克接头)。其中卡套接头拆卸方便，更换部件成本低廉，但是对于非金属管(指如聚四氟乙烯、可溶性聚四氟乙烯等材质的非金属波纹管)的场合，仅靠前后卡套压紧管壁进行密封以及锁紧，现场使用由于外部环境为真空，内部介质为高压流体，软管在使用时受到牵扯，前后卡套与管壁的压紧力不足，导致软管脱落漏气，存在较高的脱落崩管风险，且卡套接头由于螺纹锁紧结构，管路在卡套的挤压下容易变形，导致密封部分并非均匀环形，一般漏率最好测试结果不优于≤10
‑6Pa
·
m3/s，不能满足≤10
‑
11
Pa
·
m3/s以用于高真空及超高真空环境中。VCR接头采用金属垫片密封方式，漏率可满足≤10
‑
11
Pa
·
m3/s的要求，但是VCR接头结构特殊，要求管及接头必须均为全金属材质，非金属管通过压接等方式与金属接头连接后才能采用VCR接头，而金属与有机材料的压接漏率现有不优于≤10
‑6Pa
·
m3/s，远远不能满足高真空与超高真空密封使用要求。此外，由于VCR接头为了满足漏率需要，必须要使中间密封垫片变形，即一次安装只能使用一次，成本较高，不适用于需要多次拆卸安装的使用场合。
[0004]基于此，亟需一种管路接头装置，以解决上述存在的问题。
技术实现思路
[0005]基于以上所述，本技术的目的在于提供一种管路接头装置，解决现有技术中不能满足超高真空使用环境以及低漏率使用要求的问题。
[0006]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种管路接头装置，用于连接管路，其特征在于，所述管路接头装置包括：
[0008]压紧组件，设置有阶梯孔，所述阶梯孔包括相互连通的小径段、大径段和所述大径段底部的第一阶梯面，所述大径段的内壁设置有第一内螺纹；
[0009]卡口组件，一端抵接于所述阶梯孔的所述第一阶梯面，另一端的外壁设置有第一外锥面；
[0010]密封接头，设置有连接部，所述连接部的外壁设置有与所述第一内螺纹配合的第一外螺纹，所述连接部还设置有连接孔，所述连接孔设置有与所述第一外锥面密封抵接的第一内锥面；
[0011]第一内衬，所述第一内衬位于所述管路内，所述卡口组件环设于所述第一内衬，所述第一内衬用于支撑所述管路的内壁；
[0012]所述管路依次穿设于所述阶梯孔的所述小径段、所述卡口组件并伸入所述连接孔内；
[0013]所述第一内螺纹螺纹连接于所述第一外螺纹，以使所述第一内锥面驱动所述卡口组件密封抵接于所述管路的外壁，且能够调节所述卡口组件与所述管路之间的卡紧力。
[0014]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述连接孔的内壁设置有密封槽，所述密封槽内设置有密封圈，所述密封圈的外壁涂覆有真空密封脂。
[0015]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述阶梯孔的第一阶梯面设置有第二内锥面，所述卡口组件靠近所述第一阶梯面的一端的外壁设置有与所述第二内锥面密封抵接的第二外锥面。
[0016]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述卡口组件包括相互连接的前卡口和后卡口，所述第一外锥面设置于所述前卡口靠近所述连接孔的一端的外壁，所述前卡口靠近所述后卡口的一端设置有第三内锥面，所述后卡口设置有与所述第三内锥面密封抵接的第三外锥面。
[0017]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述后卡口的内壁靠近所述前卡口一端设置有波浪面，所述波浪面设置有至少一个波峰，所述波峰为多个时，多个所述波峰从所述后卡口到所述前卡口的方向逐渐增大，部分所述波峰密封抵接于所述管路的外壁。
[0018]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述前卡口的内壁靠近所述密封接头的一端设置有环形的悬臂部，所述悬臂部至少部分与所述管路的外壁之间存在间隙，所述悬臂部靠近所述密封接头的一端设置有环形的弧形凸起，所述弧形凸起密封抵接于所述管路的外壁。
[0019]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述第一内衬的端部设置有翻边，所述连接孔内设置有第二阶梯面，所述第一内衬伸入所述管路内，所述管路伸入所述连接孔时，所述管路的端面与所述第二阶梯面密封抵接于所述翻边的两侧。
[0020]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述压紧组件包括压紧接头、第一夹紧块和第二内衬，所述阶梯孔设置于所述压紧接头内，所述压紧接头远离所述卡口组件一端设置有第一半圆部，所述第一夹紧块呈半圆状且与所述第一半圆部相匹配，所述第一夹紧块和所述第一半圆部夹紧所述管路的外壁，且所述第一夹紧块的两端连接于所述第一半圆部；
[0021]所述第二内衬位于所述管路内，所述第一夹紧块和所述第一半圆部环设于所述第二内衬外，所述第二内衬用于支撑所述管路的内壁。
[0022]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述压紧组件包括锁紧夹块、固定头、锁紧螺母和第二夹紧块，所述锁紧夹块连接于所述固定头，所述固定头套设于所述锁紧螺母，所述锁紧螺母抵接于所述锁紧夹块，所述阶梯孔的大径段设置在所述锁紧螺母内且靠近所述密封接头一端，所述阶梯孔的小径段贯穿于所述锁紧夹块和所述锁紧螺母；
[0023]所述锁紧夹块远离所述固定头的一端设置有第二半圆部，所述第二夹紧块呈半圆状且与所述第二半圆部相匹配，所述第二夹紧块和所述第二半圆部夹紧所述管路的外壁，且所述第二夹紧块的两端连接于所述第二半圆部。
[0024]作为一种管路接头装置的优选技术方案，所述固定头沿径向环设有多个螺纹孔，多个所述螺纹孔环设于所述第一内螺纹与所述第一外螺纹螺纹连接部位的外侧，顶丝螺纹连接于所述螺纹孔且抵接于所述锁紧螺母的外壁。
[0025]本技术的有益效果为：
[0026]本技术提供一种管路接头装置，组装时，管路依次穿设于阶梯孔的小径段、卡口组件并伸入连接孔内，然后旋拧压紧组件，第一内螺纹螺纹连接于第一外螺纹，随着旋拧深度的增加，压紧组件驱动卡口组件向密封接头方向移动，在第一内锥面的导向下，第一内锥面驱动卡口组件挤压管路的外壁，进而调节卡口组件与管路之间的卡紧力，以实现卡口组件密封抵接于管路的外壁；再者，第一内衬位于管路内，第一内衬用于支撑管路的内壁，一方面，防止管路发生变形，实现了卡口组件与管路本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种管路接头装置，用于连接管路(10)，其特征在于，所述管路接头装置包括：压紧组件(1)，设置有阶梯孔(111)，所述阶梯孔(111)包括相互连通的小径段(1111)、大径段(1112)和所述大径段(1112)底部的第一阶梯面(1113)，所述大径段(1112)的内壁设置有第一内螺纹(1115)；卡口组件(2)，一端抵接于所述阶梯孔(111)的所述第一阶梯面(1113)，另一端的外壁设置有第一外锥面(211)；密封接头(3)，设置有连接部(31)，所述连接部(31)的外壁设置有与所述第一内螺纹(1115)配合的第一外螺纹(311)，所述连接部(31)还设置有连接孔(312)，所述连接孔(312)设置有与所述第一外锥面(211)密封抵接的第一内锥面(313)；第一内衬(4)，所述第一内衬(4)位于所述管路(10)内，所述卡口组件(2)环设于所述第一内衬(4)，所述第一内衬(4)用于支撑所述管路(10)的内壁；所述管路(10)依次穿设于所述阶梯孔(111)的所述小径段(1111)、所述卡口组件(2)并伸入所述连接孔(312)内；所述第一内螺纹(1115)螺纹连接于所述第一外螺纹(311)，以使所述第一内锥面(313)驱动所述卡口组件(2)密封抵接于所述管路(10)的外壁，且能够调节所述卡口组件(2)与所述管路(10)之间的卡紧力。2.根据权利要求1所述的管路接头装置，其特征在于，所述连接孔(312)的内壁设置有密封槽，所述密封槽内设置有密封圈(5)，所述密封圈(5)的外壁涂覆有真空密封脂。3.根据权利要求1所述的管路接头装置，其特征在于，所述阶梯孔(111)的第一阶梯面(1113)设置有第二内锥面(1114)，所述卡口组件(2)靠近所述第一阶梯面(1113)的一端的外壁设置有与所述第二内锥面(1114)密封抵接的第二外锥面(221)。4.根据权利要求1所述的管路接头装置，其特征在于，所述卡口组件(2)包括相互连接的前卡口(21)和后卡口(22)，所述第一外锥面(211)设置于所述前卡口(21)靠近所述连接孔(312)的一端的外壁，所述前卡口(21)靠近所述后卡口(22)的一端设置有第三内锥面(212)，所述后卡口(22)设置有与所述第三内锥面(212)密封抵接的第三外锥面(222)。5.根据权利要求4所述的管路接头装置，其特征在于，所述后卡口(22)的内壁靠近所述前卡口(21)一端设置有波浪面(223)，所述波浪面(223)设置有至少一个波峰(224)，所述波峰(224)为多个时，多个所述波峰(224)从所述后...
【专利技术属性】
技术研发人员：江旭初，雒佳，彭仁强，周羽，陈啸虎，吴火亮，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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