树脂膜形成用复合片、套件、及带树脂膜的工件加工物的制造方法技术

本发明专利技术提供一种树脂膜形成用复合片(1)或套件，树脂膜形成用复合片(1)或套件具备：具有设置在基材(11)的一个面上的能量射线固化性的粘着剂层(12)的支撑片(10)、与热固性树脂膜形成膜(13)，加热后的所述粘着剂层与树脂膜之间的粘着力(Z2)为8000mN/25mm以上，所述粘着剂层的能量射线固化物与所述树脂膜之间的粘着力(Z1)为400mN/25mm以下。着力(Z1)为400mN/25mm以下。着力(Z1)为400mN/25mm以下。

【技术实现步骤摘要】
树脂膜形成用复合片、套件、及带树脂膜的工件加工物的制造方法


[0001]本专利技术涉及树脂膜形成用复合片、套件、及带树脂膜的工件加工物的制造方法。本申请基于2022年3月28日于日本提出申请的日本特愿2022
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052006号主张优先权，并将其内容援用于此。

技术介绍

[0002]作为半导体晶圆、绝缘体晶圆、半导体装置面板等工件，具有在其一个面(电路面)上形成有电路并进一步在该面(电路面)上具有凸点(bump)等突状电极的工件。
[0003]在使用被称作所谓倒装(facedown)方式的安装法的半导体装置的制造工艺中，为了保护切割所述工件而形成的工件加工物的背面，使用有保护膜形成膜，或使用将在基材的一个面层叠粘着剂层而成的支撑片与保护膜形成膜进行了组合的保护膜形成用复合片。此外，为了将工件加工物的背面接合于引线框架或有机基板等而使用了膜状粘合剂，在切割所述工件时，还使用了将支撑片与膜状粘合剂组合而成的切割固晶片。保护膜形成膜及膜状粘合剂被贴附于所述工件的背面而使用。
[0004]以下，在本说明书中，将热固性的保护膜形成膜或膜状粘合剂称为热固性树脂膜形成膜，将保护膜形成用复合片或切割固晶片称为树脂膜形成用复合片。将由保护膜形成膜形成的保护膜、或由膜状粘合剂形成的接合膜称为树脂膜。
[0005]在带树脂膜的工件加工物的制造加工中，在工件的背面贴附用于形成保护膜或接合膜的热固性树脂膜形成膜。热固性树脂膜形成膜有时也以所述热固性树脂膜形成膜层叠于支撑片上的树脂膜形成用复合片的状态而贴附于工件的背面。热固性树脂膜形成膜有时还以不层叠于支撑片的方式而贴附于工件的背面，然后贴附于支撑片。
[0006]贴附于工件的背面的热固性树脂膜形成膜例如通过在层叠基材及粘着剂层而成的支撑片上热固化而成为树脂膜。在支撑片上使贴附于所述工件的背面的热固性树脂膜形成膜进行热固化时，在将所述支撑片的周边部贴附于环形框架的状态下对由基材、粘着剂层、热固性树脂膜形成膜及工件依次沿它们的厚度方向层叠而构成的第一层叠复合片进行加热，然后进行冷却。然后，在位于支撑片上的切割工序中，工件被分割，树脂膜被切断，以带树脂膜的工件加工物的形式进行拾取(参照专利文献1)。
[0007]当粘着剂层为能量射线固化性时，通过使粘着剂层进行能量射线固化，易于拾取带树脂膜的工件加工物。
[0008]其中，在支撑片经由热固性树脂膜形成膜而贴附有工件或工件加工物的状态下，为了使热固性树脂膜形成膜固化，将支撑片与热固性树脂膜形成膜一同加热。然而，若支撑片的耐热性不充分，在这种温度下对经由热固性树脂膜形成膜贴附有工件或工件加工物的支撑片进行加热时，最终可能无法从支撑片上拾取带树脂膜的工件加工物。
[0009]作为具有耐热性、适合进行加热的支撑片，公开了一种具备基材与粘着剂层且于120℃加热4小时后的基材的23℃下的杨氏模量、及120℃下的基材的储能模量E
’
均在所规
定的特定的范围内的支撑片(工件加工用片)(参照专利文献2)。现有技术文献专利文献
[0010]专利文献1：国际公开第2015/178346号专利文献2：日本特开2021
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119592号公报

技术实现思路

本专利技术要解决的技术问题
[0011]例如，专利文献1中说明了将直径为8英寸的半导体晶圆切割成9mm
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9mm的芯片尺寸从而制成芯片。专利文献2中说明了将直径为8英寸的半导体晶圆切割成3mm
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3mm的芯片尺寸从而制成芯片。
[0012]在带树脂膜的芯片的制造加工中，具有采用直径更大的半导体晶圆，且芯片尺寸反而更小的倾向。芯片尺寸较小时，为了提高生产效率，需要在更高速的传送速度下进行切割。
[0013]然而，当粘着剂层为能量射线固化性时，加热后的支撑片存在最终无法从支撑片上拾取带树脂膜的工件加工物的情况。此外，在这种条件下的切割工序中，加热固化后的带树脂膜的工件有时会从支撑片中的粘着剂层上剥离。
[0014]本专利技术的目的在于提供一种树脂膜形成用复合片、及套件，所述树脂膜形成用复合片及套件通过在具有基材及设置于所述基材的一个面的能量射线固化性的粘着剂层的支撑片上加工带树脂膜的工件，可抑制在制作工件加工物时带树脂膜的工件加工物从粘着剂层上剥离，且能够从能量射线固化后的粘着剂层上正常拾取带树脂膜的工件加工物。此外，目的还在于提供使用了所述树脂膜形成用复合片或所述套件的带树脂膜的工件加工物的制造方法。解决技术问题的技术手段
[0015]为了解决上述技术问题，本专利技术采用以下构成。(1)一种树脂膜形成用复合片，其具备：具有基材及设置在所述基材的一个面上的粘着剂层的支撑片、与设置在所述支撑片的所述粘着剂层上的热固性树脂膜形成膜，其中，所述粘着剂层为能量射线固化性，于130℃加热所述树脂膜形成用复合片中的所述热固性树脂膜形成膜从而形成树脂膜，并测定加热后的所述粘着剂层与所述树脂膜之间的粘着力(Z2)时，所述粘着力(Z2)为8000mN/25mm以上，于130℃加热所述树脂膜形成用复合片中的所述热固性树脂膜形成膜从而形成树脂膜且使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着剂层的能量射线固化物与所述树脂膜之间的粘着力(Z1)时，所述粘着力(Z1)为400mN/25mm以下。(2)根据(1)所述的树脂膜形成用复合片，其中，所述粘着剂层含有能量射线固化性化合物及能量射线固化性丙烯酸树脂。(3)根据(1)或(2)所述的树脂膜形成用复合片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于不锈钢板的表面且于130℃加热贴附后的所述粘着剂层，并测定加热后的所述粘着剂层与所述不锈钢板之间的粘着力(Y2)时，所述粘着力(Y2)为13000mN/25mm以上。
(4)根据(1)～(3)中任一项所述的树脂膜形成用复合片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于不锈钢板的表面，于130℃加热贴附后的所述粘着剂层且使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着剂层的能量射线固化物与所述不锈钢板之间的粘着力(Y1)时，所述粘着力(Y1)为300mN/25mm以上。
[0016](5)一种套件，其具备：由第一剥离膜及热固性树脂膜形成膜层叠而构成的第一层叠体、与具有基材及设置在所述基材的一个面上的粘着剂层且用于支撑作为所述热固性树脂膜形成膜的粘贴对象的工件及所述热固性树脂膜形成膜的支撑片，其中，所述粘着剂层为能量射线固化性，将所述支撑片中的粘着剂层与所述热固性树脂膜形成膜进行粘贴从而形成第二层叠体，于130℃加热所述第二层叠体中的所述热固性树脂膜形成膜从而形成树脂膜，并测定加热后的所述粘着剂层与所述树脂膜之间的粘着力(Z2)时，所述粘着力(Z2)为8000mN/25mm以上，将所述支撑片中的粘着剂层与所述热固性树脂膜形成膜进行粘贴从而形成第二层叠体，于130℃加热所述第二层叠体中的所述热固性树脂膜形成膜从而形成树脂膜且使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种树脂膜形成用复合片，其具备：具有基材及设置在所述基材的一个面上的粘着剂层的支撑片、与设置在所述支撑片的所述粘着剂层上的热固性树脂膜形成膜，其中，所述粘着剂层为能量射线固化性，于130℃加热所述树脂膜形成用复合片中的所述热固性树脂膜形成膜从而形成树脂膜，并测定加热后的所述粘着剂层与所述树脂膜之间的粘着力(Z2)时，所述粘着力(Z2)为8000mN/25mm以上，于130℃加热所述树脂膜形成用复合片中的所述热固性树脂膜形成膜从而形成树脂膜且使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着剂层的能量射线固化物与所述树脂膜之间的粘着力(Z1)时，所述粘着力(Z1)为400mN/25mm以下。2.根据权利要求1所述的树脂膜形成用复合片，其中，所述粘着剂层含有能量射线固化性化合物及能量射线固化性丙烯酸树脂。3.根据权利要求1或2所述的树脂膜形成用复合片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于不锈钢板的表面且于130℃加热贴附后的所述粘着剂层，并测定加热后的所述粘着剂层与所述不锈钢板之间的粘着力(Y2)时，所述粘着力(Y2)为13000mN/25mm以上。4.根据权利要求1～3中任一项所述的树脂膜形成用复合片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于不锈钢板的表面，于130℃加热贴附后的所述粘着剂层且使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着剂层的能量射线固化物与所述不锈钢板之间的粘着力(Y1)时，所述粘着力(Y1)为300mN/25mm以上。5.一种套件，其具备：由第一剥离膜及热固性树脂膜形成膜层叠而构成的第一层叠体、与具有基材及设置在所述基材的一个面上的粘着剂层且用于支撑作为所述热固性树脂膜形成膜的粘贴对象的工件及所述热固性树脂膜形成膜的支撑片，其中，所述粘着剂层为能量射线固化性，将所述支撑片中的粘着剂层与所述热固性树脂膜形成膜进行粘贴从而形成第二层叠体，于130℃加热所述第二层叠体中的所述热固性树脂膜形成膜从而形成树脂膜，并测定加热后的所述粘着剂层与所述树脂膜之间的粘着力(Z2)时，所述粘着力(Z2)为8000mN/25mm以上，将所述支撑片中的粘着剂层与所述热固性树脂膜形成膜进行粘贴从而形成第二层叠体，于130℃加热所述第二层叠体中的所述热固性树脂膜形成膜从而形成树脂膜且使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着剂层的能量射线固化物与所述树脂...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤壮起，山下茂之，田中佑耶，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：发明
国别省市：