一种刻蚀机的反应腔体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种刻蚀机的反应腔体结构，包括箱体，所述箱体顶端固定插设有注液管，所述箱体内顶部固定连接有过滤盒，所述过滤盒的一侧滑动插设有过滤板，所述过滤板上设有安装口，所述安装口内固定连接有过滤网，所述过滤板的一端贯穿箱体并向外延伸，所述过滤盒的底部固定插设有导液管，所述导液管的下方设有横杆，所述横杆上转动连接有转杆，所述转杆的外侧壁上固定连接有搅拌杆，所述箱体位于搅拌杆的正表面设有操作口，所述操作口的一侧铰接有密封门，本实用新型专利技术采用除杂组件能够对杂质进行剔除，且提升刻蚀工件与化学溶液的接触速率，降低反应的时间。降低反应的时间。降低反应的时间。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀机的反应腔体结构


[0001]本技术涉及刻蚀机相关制品领域，具体为一种刻蚀机的反应腔体结构。

技术介绍

[0002]蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上，蚀刻更是不可或缺的技术，蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的。
[0003]但是目前现有的刻蚀机反应时间较长，影响刻蚀机的生产效率，且化学溶液中杂质不能够进行预处理，影响使用。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种刻蚀机的反应腔体结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种刻蚀机的反应腔体结构，包括箱体，所述箱体顶端固定插设有注液管，所述箱体内顶部固定连接有过滤盒，所述过滤盒的一侧滑动插设有过滤板，所述过滤板上设有安装口，所述安装口内固定连接有过滤网，所述过滤板的一端贯穿箱体并向外延伸，所述过滤盒的底部固定插设有导液管，所述导液管的下方设有横杆，所述横杆上转动连接有转杆，所述转杆的外侧壁上固定连接有搅拌杆，所述箱体位于搅拌杆的正表面设有操作口，所述操作口的一侧铰接有密封门，所述箱体的一侧外壁上固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有轴杆，所述轴杆的一端向箱体内延伸并固定连接有第一齿轮，所述转杆上固定套接有与第一齿轮相啮合的第二齿轮。
[0006]优选的，所述过滤板向外延伸的一端固定连接有定位板，所述箱体外侧壁上设有凹槽，所述凹槽内固定连接有滑杆，所述滑杆上滑动套接有L型卡杆，所述定位板上设有与L型卡杆对应的卡槽。
[0007]优选的，所述箱体的底部固定连接有呈矩形设置的四个支撑脚。
[0008]优选的，所述横杆上设有贯穿口，所述贯穿口内固定连接有轴承，所述转杆固定插设在轴承内。
[0009]优选的，所述第一齿轮与第二齿轮均为锥齿轮。
[0010]优选的，所述过滤盒的两侧内底部均固定连接有导流板。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]该刻蚀机的反应腔体结构，通过打开密封门将刻蚀工件放置在箱体内底部，通过注液管向箱体注入化学溶液，化学溶液通过安装在过滤板上的过滤网实现杂质过滤，在过滤完成后通过导液管导流至箱体内底部，控制电机启动可带动轴杆转动，此时轴杆将带动第一齿轮与第二齿轮啮合进而实现转杆的转动，在转杆转动时将带动搅拌杆对化学溶液进行搅拌从而提高与刻蚀工件充分接触，本技术采用除杂组件能够对杂质进行剔除，且提升刻蚀工件与化学溶液的接触速率，降低反应的时间。
附图说明
[0013]图1为本技术的一种刻蚀机的反应腔体结构的结构示意图；
[0014]图2为本技术的一种刻蚀机的反应腔体结构的A处放大图；
[0015]图3为本技术的一种刻蚀机的反应腔体结构的B处放大图。
[0016]图中：1、箱体；2、注液管；3、过滤盒；4、过滤板；5、过滤网；6、导液管；7、横杆；8、转杆；9、搅拌杆；10、密封门；11、电机；12、轴杆；13、第一齿轮；14、第二齿轮；15、定位板；16、滑杆；17、L型卡杆；18、支撑脚；19、轴承；20、导流板。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种刻蚀机的反应腔体结构，包括箱体1，箱体1顶端固定插设有注液管2，箱体1内顶部固定连接有过滤盒3，过滤盒3的一侧滑动插设有过滤板4，过滤板4上设有安装口，安装口内固定连接有过滤网5，过滤板4的一端贯穿箱体1并向外延伸，过滤盒3的底部固定插设有导液管6，导液管6的下方设有横杆7，横杆7上转动连接有转杆8，转杆8的外侧壁上固定连接有搅拌杆9，箱体1位于搅拌杆9的正表面设有操作口，操作口的一侧铰接有密封门10，箱体1的一侧外壁上固定连接有电机11，电机11的输出端固定连接有轴杆12，轴杆12的一端向箱体1内延伸并固定连接有第一齿轮13，转杆8上固定套接有与第一齿轮13相啮合的第二齿轮14，具体的讲，密封门10将刻蚀工件放置在箱体1内底部，通过注液管2向箱体1注入化学溶液，化学溶液通过安装在过滤板4上的过滤网5实现杂质过滤，在过滤完成后通过导液管6导流至箱体1内底部，控制电机11启动可带动轴杆12转动，此时轴杆12将带动第一齿轮13与第二齿轮14啮合进而实现转杆8的转动，在转杆8转动时将带动搅拌杆9对化学溶液进行搅拌从而提高与刻蚀工件充分接触。
[0019]本实施例中，过滤板4向外延伸的一端固定连接有定位板15，箱体1外侧壁上设有凹槽，凹槽内固定连接有滑杆16，滑杆16上滑动套接有L型卡杆17，定位板15上设有与L型卡杆17对应的卡槽，利用L型卡杆17插入到卡槽内实现定位板15的固定；箱体1的底部固定连接有呈矩形设置的四个支撑脚18，对箱体1进行支撑；横杆7上设有贯穿口，贯穿口内固定连接有轴承19，转杆8固定插设在轴承内，对转杆8进行旋转支撑；第一齿轮13与第二齿轮14均为锥齿轮；过滤盒3的两侧内底部均固定连接有导流板20，对化学溶液进行导流。
[0020]工作原理：首先打开密封门10将刻蚀工件放置在箱体1内底部，通过注液管2向箱体1注入化学溶液，化学溶液通过安装在过滤板4上的过滤网5实现杂质过滤，在过滤完成后通过导液管6导流至箱体1内底部，控制电机11启动可带动轴杆12转动，此时轴杆12将带动第一齿轮13与第二齿轮14啮合进而实现转杆8的转动，在转杆8转动时将带动搅拌杆9对化学溶液进行搅拌从而提高与刻蚀工件充分接触。
[0021]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含
义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机的反应腔体结构，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）顶端固定插设有注液管（2），所述箱体（1）内顶部固定连接有过滤盒（3），所述过滤盒（3）的一侧滑动插设有过滤板（4），所述过滤板（4）上设有安装口，所述安装口内固定连接有过滤网（5），所述过滤板（4）的一端贯穿箱体（1）并向外延伸，所述过滤盒（3）的底部固定插设有导液管（6），所述导液管（6）的下方设有横杆（7），所述横杆（7）上转动连接有转杆（8），所述转杆（8）的外侧壁上固定连接有搅拌杆（9），所述箱体（1）位于搅拌杆（9）的正表面设有操作口，所述操作口的一侧铰接有密封门（10），所述箱体（1）的一侧外壁上固定连接有电机（11），所述电机（11）的输出端固定连接有轴杆（12），所述轴杆（12）的一端向箱体（1）内延伸并固定连接有第一齿轮（13），所述转杆（8）上固定套接有与第一齿轮（13）相啮合的第二齿轮（14）。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：高松，陈红霞，陈东，
申请(专利权)人：靖江新恒和半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：