一种静电卡盘分离机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种静电卡盘分离机构，包括安装座与静电卡盘，所述静电卡盘的底部固定连接有连接板，所述安装座上设有开槽，所述开槽内固定连接有支撑杆，所述支撑杆上滑动套接有两个移动板，两个所述移动板相对的一侧均固定连接有插板，所述连接板的两侧均设有与插板对应的插槽，所述安装座的一端上设有贯穿口，所述贯穿口内插设有螺纹杆，所述螺纹杆位于安装座内的一端上螺纹套接有移动筒，所述移动筒的一端转动连接有两个牵引杆，两个所述牵引杆的一端均转动连接有支撑块，所述支撑块的一端与移动板固定连接，本实用新型专利技术采用卡接固定组件的设置操作便捷，提高了静电卡盘的替换与维修效率。与维修效率。与维修效率。

【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘分离机构


[0001]本技术涉及半导体制备相关制品领域，具体为一种静电卡盘分离机构。

技术介绍

[0002]通常静电卡盘使用一定时间后，其吸附力会有损耗导致吸附力下降甚至不能继续吸附，从而产生对晶圆的吸附不稳定或不牢靠等问题，进而可能导致其他设备对晶圆造成损坏，而晶圆的价格昂贵，晶圆损坏造成企业成本的增高。因此需要定期检修或更换静电卡盘以保证其对晶圆具有足够吸附力。为了检修的方便或者静电卡盘的更换，需要就把静电卡盘从卡盘底座上分离开来，单独对静电卡盘进行处理即可，当替换新的静电卡盘，卡盘底座还可以继续重复使用。
[0003]静电卡盘分离通常是采用切割分离，容易导致静电卡盘受损，且费时费力。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种静电卡盘分离机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种静电卡盘分离机构，包括安装座与静电卡盘，所述静电卡盘的底部固定连接有连接板，所述安装座上设有开槽，所述开槽内固定连接有支撑杆，所述支撑杆上滑动套接有两个移动板，两个所述移动板相对的一侧均固定连接有插板，所述连接板的两侧均设有与插板对应的插槽，所述安装座的一端上设有贯穿口，所述贯穿口内插设有螺纹杆，所述螺纹杆位于安装座内的一端上螺纹套接有移动筒，所述移动筒的一端转动连接有两个牵引杆，两个所述牵引杆的一端均转动连接有支撑块，所述支撑块的一端与移动板固定连接。
[0006]优选的，所述贯穿口内固定连接有轴承，所述螺纹杆固定插设在轴承内。
[0007]优选的，所述螺纹杆远离移动筒的一端固定连接有转块。
[0008]优选的，所述安装座的两侧均设有装配孔。
[0009]优选的，所述移动板的一端与安装座内壁之间固定连接有伸缩杆。
[0010]优选的，所述转块的外侧壁上设有呈倾斜设置的多道防滑纹。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]该静电卡盘分离机构，通过将静电卡盘上的连接板卡设在安装座上，随后转动螺纹杆，在螺纹杆旋转过程中螺纹套接在上的移动筒将跟随移动进而促使两个牵引杆运动，牵引杆此时将绕支撑块旋转从而拉动移动板在支撑杆上滑动，随着移动板的运动从而将移动板一侧上的插板插入到连接板上的插槽内实现静电卡盘的安装，在拆卸分离时反向转动螺纹杆即可，本技术采用卡接固定组件的设置操作便捷，提高了静电卡盘的替换与维修效率。
附图说明
[0013]图1为本技术的一种静电卡盘分离机构的结构示意图；
[0014]图2为本技术的一种静电卡盘分离机构的安装座内示意图；
[0015]图3为本技术的一种静电卡盘分离机构的A处放大图。
[0016]图中：1、安装座；2、静电卡盘；3、连接板；4、支撑杆；5、移动板；6、插板；7、螺纹杆；8、移动筒；9、牵引杆；10、支撑块；11、轴承；12、转块；13、装配孔；14、伸缩杆。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种静电卡盘分离机构，包括安装座1与静电卡盘2，静电卡盘2的底部固定连接有连接板3，安装座1上设有开槽，开槽内固定连接有支撑杆4，支撑杆4上滑动套接有两个移动板5，两个移动板5相对的一侧均固定连接有插板6，连接板3的两侧均设有与插板6对应的插槽，安装座1的一端上设有贯穿口，贯穿口内插设有螺纹杆7，螺纹杆7位于安装座1内的一端上螺纹套接有移动筒8，移动筒8的一端转动连接有两个牵引杆9，两个牵引杆9的一端均转动连接有支撑块10，支撑块10的一端与移动板5固定连接，具体的讲，将静电卡盘2上的连接板3卡设在安装座1上，随后转动螺纹杆7，在螺纹杆7旋转过程中螺纹套接在上的移动筒8将跟随移动进而促使两个牵引杆9运动，牵引杆9此时将绕支撑块10旋转从而拉动移动板5在支撑杆4上滑动，随着移动板5的运动从而将移动板5一侧上的插板6插入到连接板3上的插槽内实现静电卡盘2的安装，在拆卸分离时反向转动螺纹杆7。
[0019]本实施例中，贯穿口内固定连接有轴承11，螺纹杆7固定插设在轴承11内，对螺纹杆7进行旋转支撑；螺纹杆7远离移动筒8的一端固定连接有转块12，方便转动螺纹杆7；安装座1的两侧均设有装配孔13，便于对安装座1进行安装；移动板5的一端与安装座1内壁之间固定连接有伸缩杆14，对移动板5的一端进行限位；转块12的外侧壁上设有呈倾斜设置的多道防滑纹，增大摩擦力，方便转动。
[0020]工作原理：安装时将静电卡盘2上的连接板3卡设在安装座1上，随后转动螺纹杆7，在螺纹杆7旋转过程中螺纹套接在上的移动筒8将跟随移动进而促使两个牵引杆9运动，牵引杆9此时将绕支撑块10旋转从而拉动移动板5在支撑杆4上滑动，随着移动板5的运动从而将移动板5一侧上的插板6插入到连接板3上的插槽内实现静电卡盘2的安装，在拆卸分离时反向转动螺纹杆7即可。
[0021]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘分离机构，包括安装座（1）与静电卡盘（2），其特征在于：所述静电卡盘（2）的底部固定连接有连接板（3），所述安装座（1）上设有开槽，所述开槽内固定连接有支撑杆（4），所述支撑杆（4）上滑动套接有两个移动板（5），两个所述移动板（5）相对的一侧均固定连接有插板（6），所述连接板（3）的两侧均设有与插板（6）对应的插槽，所述安装座（1）的一端上设有贯穿口，所述贯穿口内插设有螺纹杆（7），所述螺纹杆（7）位于安装座（1）内的一端上螺纹套接有移动筒（8），所述移动筒（8）的一端转动连接有两个牵引杆（9），两个所述牵引杆（9）的一端均转动连接有支撑块（10），所述支撑块（10）的一端与移动板（5）固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：高松，陈红霞，陈东，
申请(专利权)人：靖江新恒和半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：