片粘贴装置以及片粘贴方法制造方法及图纸

提供片粘贴装置及片粘贴方法，可尽量消除粘接片的粘贴不良。具备：供给单元(10)，沿规定的供给方向(SD)供给粘接片(AS)；按压单元(20)，以使得利用供给单元供给的粘接片的沿供给方向的一端(AS1)侧及另一端(AS2)侧至少一方形成从被粘物(WK)的外缘端面(WKE)伸出的伸出区域(ASH)的方式将粘接片按压于外缘端面；移动单元(30)，使按压单元和被粘物相对移动，将粘接片粘贴于外缘端面；伸出区域粘贴单元(40)，将伸出区域向与外缘端面相邻的其他面(WK1、WK2)方向折曲进行粘贴。还具备折曲起始部位形成单元(60)，在粘接片形成折曲起始部位(ASC)，折曲起始部位是粘接片的折曲的起始部位。位。位。

【技术实现步骤摘要】
片粘贴装置以及片粘贴方法


[0001]本专利技术涉及一种片粘贴装置以及片粘贴方法。

技术介绍

[0002]公知有一种将粘接片粘贴于被粘物的片粘贴装置(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本特开2022
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30877号公报

技术实现思路

(一)要解决的技术问题
[0004]对于专利文献1所记载的带粘贴系统(片粘贴装置)而言，在不能顺利地进行保护带27(粘接片)的折曲的情况下，会发生如下的粘接片的粘贴不良：在利用第一辊46(伸出区域粘贴单元)粘贴于晶圆W(被粘物)的粘接片部分(伸出区域)形成褶皱，或者形成气泡。
[0005]本专利技术的目的在于，提供一种片粘贴装置以及片粘贴方法，能够减少粘接片的粘贴不良。(二)技术方案
[0006]本专利技术采用了权利要求记载的结构。(三)有益效果
[0007]根据本专利技术，在粘接片形成折曲起始部位，该折曲起始部位是粘接片的折曲的起始部位，从而能够顺利地进行该粘接片的折曲。因此，能够减少粘接片的粘贴不良。
附图说明
[0008]图1是本专利技术一实施方式的片粘贴装置的说明图以及该装置的动作说明图。附图标记说明EA
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片粘贴装置；10
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供给单元；20
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按压单元；30
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移动单元；40
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伸出区域粘贴单元；60
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折曲起始部位形成单元；70
‑/>张力施加单元；80
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能量施加单元；AS
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粘接片；ASC
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折曲起始部位；ASF
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供给方向前端部；ASH
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伸出区域；AS1
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一端；AS2
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另一端；SD
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供给方向；WK
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被粘物；WK1
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一面(其他面)；WK2
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另一面(其他面)；WKE
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外缘端面。
具体实施方式
[0009]以下，基于附图对本专利技术一实施方式进行说明。此外，本实施方式的X轴、Y轴、Z轴分别具有正交的关系，X轴及Y轴设定为规定平面内的轴，Z轴设定为与所述规定平面正交的轴。并且，在本实施方式中，以从与Y轴平行的图1中的下方观察的情况为基准，当不指定图来表示方向时，“上”是Z轴的箭头方向且“下”是其相反方向，“左”是X轴的箭头方向且“右”是其相反方向，“前”是平行于Y轴的图1中近前方向
且“后”是其相反方向。此外，图1的(D)是图1的(E)的AA方向视图，图1的(F)是图1的(E)的BB方向视图，图1的(G)是图1的(E)的CC方向视图。
[0010]本专利技术的片粘贴装置EA具备：供给单元10，其实施供给工序，沿着规定的供给方向SD供给粘接片AS；按压单元20，其实施按压工序，以使得利用供给单元10供给的粘接片AS的沿着供给方向SD的一端AS1侧及另一端AS2侧双方形成从被粘物WK的外缘端面WKE伸出的伸出区域ASH的方式，将该粘接片AS按压于外缘端面WKE；移动单元30，其实施移动工序，使按压单元20和被粘物WK相对移动，将粘接片AS粘贴于外缘端面WKE；伸出区域粘贴单元40，其实施伸出区域粘贴工序，将伸出区域ASH向与外缘端面WKE相邻的作为其他面的一面WK1及另一面WK2方向折曲进行粘贴；前端部粘贴单元50，其位于按压单元20与伸出区域粘贴单元40之间并实施前端部粘贴工序，在利用该伸出区域粘贴单元40进行粘贴之前，仅将粘接片AS的供给方向前端部ASF的伸出区域ASH向一面WK1及另一面WK2方向折曲进行粘贴；折曲起始部位形成单元60，其实施折曲起始部位形成工序，在该粘接片AS形成折曲起始部位ASC(参照图1的(C))，该折曲起始部位ASC是粘接片AS的折曲的起始部位；张力施加单元70，其实施张力施加工序，通过对位于供给单元10与按压单元20之间的粘接片AS施加沿着供给方向SD的方向的张力，从而将伸出区域ASH向一面WK1及另一面WK2方向折曲；以及能量施加单元80，其实施能量施加工序，向粘接片AS施加作为规定的能量的热。此外，本实施方式的粘接片设置为能够进行弹性变形，并且利用作为规定的能量的热进行变形。另外，本实施方式的被粘物WK呈以被粘物中心WKR为中心的圆形形状。
[0011]供给单元10具备：支撑部件11，其对构成该供给单元10的各部件直接或间接地进行支撑；支撑辊12，其对粘接片AS临时粘接于带状的剥离片RL的原材料RS进行支撑；引导辊13，其引导原材料RS；剥离板14，其作为剥离单元，使剥离片RL在剥离缘14A折回，从该剥离片RL剥离粘接片AS；驱动辊15，其支撑于作为驱动设备的转动马达15A的未图示的输出轴，与夹送辊15B夹持剥离片RL；回收辊16，其作为回收单元，支撑于未图示的驱动设备的输出轴，在片粘贴装置EA进行自动运转的期间，始终对回收辊16与夹送辊15B之间存在的剥离片RL施加规定的张力，并回收该剥离片RL。
[0012]按压单元20具备按压辊21，该按压辊21可旋转地支撑于未图示的托架。
[0013]移动单元30具备：作为驱动设备的线性马达31；转动马达32，其作为驱动设备，支撑于线性马达31的滑块31A；以及支撑台33，其支撑于转动马达32的输出轴32A且具有支撑面33A，该支撑面33A能够利用减压泵或真空抽气机等未图示的减压单元(保持单元)进行吸附保持。支撑台33为如下结构：利用转动马达32以台中心33R为中心进行旋转。
[0014]伸出区域粘贴单元40具备第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43可旋转地支撑于未图示的托架。在本实施方式中，如图1的(F)～(H)所示，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43分别上下配置有一对，当被粘物WK的被粘物中心WKR位于辊配置中心40R时，将粘贴于该被粘物WK的外缘端面WKE的粘接片AS的伸出区域ASH配设于能够向一面WK1方向及另一面WK2方向折曲的位置。另外，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43能够以未图示的旋转轴为中心进行旋转，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43的所述未图示的旋转轴例如相对于Z轴而言分别以30度、60度、90度相对于辊配置中心40R方向倾斜。
[0015]前端部粘贴单元50具备：作为驱动设备的直动马达51；支撑于直动马达51的输出轴51A的第一托架52；双体的第二托架53，其可摆动地支撑于第一托架52且能够每一体分别将夹持辊54可旋转地支撑；以及螺旋弹簧55，其作为施力单元向使夹持辊54相互接近的方向施力。
[0016]折曲起始部位形成单元60具备：折曲起始部位形成辊61，其可旋转地支撑于剥离板14；直动马达62，其作为驱动设备能够进行转矩控制；以及按压辊63，其可旋转地支撑于直动马达62的输出轴62A，并将原材料RS本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片粘贴装置，其特征在于，具备：供给单元，其沿着规定的供给方向供给粘接片；按压单元，其以使得利用所述供给单元供给的所述粘接片的沿着所述供给方向的一端侧及另一端侧至少一方形成从被粘物的外缘端面伸出的伸出区域的方式将该粘接片按压于所述外缘端面；移动单元，其使所述按压单元和所述被粘物相对移动，将所述粘接片粘贴于所述外缘端面；以及伸出区域粘贴单元，其将所述伸出区域向与所述外缘端面相邻的其他面方向折曲进行粘贴，所述片粘贴装置还具备折曲起始部位形成单元，其在所述粘接片形成折曲起始部位，该折曲起始部位是所述粘接片的折曲的起始部位。2.根据权利要求1所述的片粘贴装置，其特征在于，折曲起始部位形成单元形成多个折曲起始部位。3.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，所述粘接片利用规定的能量进行变形，所述片粘贴装置具备能量施加单元，其对所述粘接片施加所述规定的能量。4.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，所述粘接片设置为能够进行弹性变形，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：丸山政徳，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：发明
国别省市：