一种显微成像系统技术方案

技术编号:38965302 阅读:13 留言:0更新日期:2023-09-28 09:20
本实用新型专利技术公开了一种显微成像系统,该系统包括第一镜筒和至少一个第二镜筒,以及与镜筒一一对应的光源;第一镜筒和第二镜筒平行设置;第一镜筒的一端设置相机接口,另一端连接第一物镜,第二镜筒一端连接第二物镜,另一端通过光转向结构与第一镜筒相连,将第二物镜收集到的光导向相机;镜筒中设置有透镜,用于将无限远光路汇聚在相机的靶面。本实用新型专利技术将两个物镜所成的像汇聚于同一个相机,增加了拍照可选镜头,可以在不移动相机镜头的情况下,拍摄多个场景。摄多个场景。摄多个场景。

【技术实现步骤摘要】
一种显微成像系统


[0001]本技术涉及显微镜
,更具体地,涉及一种显微成像系统。

技术介绍

[0002]目前,在半导体检测、显示模组检测等工业检测领域,有着精度高、速度快、稳定性高的检测需求,并且针对不同的检测场景下,对检测系统中成像系统具有不同的要求。
[0003]但是,现有的检测系统每次只能单物镜单视野成像,这导致在需要使用多镜头场景时需要进行切换,进而降低了检测效率。并且多次切换物镜时,还需要微调物镜在z轴方向上的位置,进一步降低了检测效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的至少一个缺陷或改进需求,本技术提供了一种显微成像系统,将两个物镜所成的像汇聚于同一个相机,增加了拍照可选镜头,可以在不移动相机镜头的情况下,拍摄多个场景。
[0005]为实现上述目的,按照本技术的第一个方面,提供了一种显微成像系统,该系统包括:
[0006]至少两个镜筒,设置于每个所述镜筒一端的物镜,以及与镜筒一一对应的光源;所述镜筒平行设置,所述物镜具有无限远校正功能;
[0007]其中,所述镜筒包括第一镜筒和至少一个第二镜筒,所述第一镜筒的一端设置相机接口,另一端连接所述第一物镜,所述第二镜筒一端连接所述第二物镜,另一端通过光转向结构与所述第一镜筒相连,将所述第二物镜收集到的光导向相机;所述镜筒中设置有透镜,用于将无限远光路汇聚在所述相机的靶面。
[0008]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0009]所述光源通过光转向结构与所述镜筒连接。
[0010]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0011]所述光转向结构由位于所述第一镜筒中的合束镜,位于所述第二镜筒一端的平面反射镜,以及所述合束镜和所述平面反射镜之间的第三镜筒组成。
[0012]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0013]所述第三镜筒还包括镜筒伸缩组件。
[0014]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0015]所述第一物镜和所述第二物镜设置有对应的物镜调节组件。
[0016]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0017]所述显微成像系统还包括自动对焦模块。
[0018]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0019]所述自动对焦模块至少包括对焦光源和对焦合束镜,利用所述相机采集所述对焦光源的反射光,采用内同轴式激光测距实现自动对焦。
[0020]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0021]所述显微成像系统还包括置于每个镜筒中的带通滤光片,所述带通滤光片用于控制经过所述镜筒的光的波长;不同镜筒中的带通滤光片对应的波长互不相同其中,所述第一镜筒中的带通滤光片设置于不影响所述光转向结构中传来光的位置。所述光源是复色光源,所述光源发出的光至少覆盖所述带通滤光片的波长。所述光源是不同波长的单色光源,所述一个镜筒对应一个波长的单色光源。
[0022]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0023]所述第一物镜和所述第二物镜采用相同的物镜结构,所述第一物镜和每个所述第二物镜的高度互不相同。
[0024]进一步地,上述显微成像系统还包括:
[0025]所述透镜是单个透镜结构或由多个透镜组成的透镜组结构。
[0026]总体而言,通过本技术所构思的以上技术方案与现有技术相比,能够取得下列有益效果:
[0027]本技术提供的一种显微成像系统,增加了拍照可选镜头,可以在不移动相机镜头的情况下,拍摄多个场景。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例中所需使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本技术实施例提供的一种显微成像系统的结构示意图;
[0030]图2为本技术实施例提供的又一种显微成像系统的结构示意图;
[0031]图3为本技术实施例提供的又一种显微成像系统的结构示意图;
[0032]附图标记说明:
[0033]相机模块

1,相机接口

2,第一镜筒

3,第二镜筒

4,第三镜筒

5,第一物镜

61,第二物镜

62,第一合束镜

71,第二合束镜

72,第三合束镜

73,平面反射镜

8,第一光源

91,第二光源

92,第四镜筒

10,第五镜筒

11,物镜调节组件

12,镜筒伸缩组件

13,透镜

14
具体实施方式
[0034]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。此外,下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0035]本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”等是用于区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。此外,术语“包括”和“具有”以及它们任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元,而是可选地还包括没有列出的步骤或单元,或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0036]如图1所示,作为本技术的第一实施例,提供了一种显微成像系统,包括:第一镜筒和至少一个第二镜筒,以及与镜筒一一对应的光源;第一镜筒和第二镜筒平行设置;
[0037]第一镜筒的一端设置相机接口,另一端连接第一物镜,第二镜筒一端连接第二物镜,另一端通过光转向结构与第一镜筒相连,将第二物镜收集到的光导向相机;镜筒中设置有透镜,用于将无限远光路汇聚在相机的靶面。
[0038]其中,图1示出了一种具体的显微成像系统的实施方式。如图1所示,在本实施例中其包括了两个用于通光的镜筒,第一镜筒3和第二镜筒4。第一镜筒3和第二镜筒4分别使得由第一物镜61收集到的光和由第二物镜62收集到的光可以传递至唯一的相机1,以实现上述功能。其中,第一物镜61和第二物镜62使用的是具有无限远校正功能的物镜。
[0039]本实施例中显微成像系统设置了唯一的相机接口2,作为与相机1相连的连接端,因此,需要通过设置光转向结构,使得由第二物镜收集到的待测物的光转向。在本实施例中,相机接口2设置在第一镜筒3的一端,第一镜筒3的另一端设置为第一物镜本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显微成像系统,其特征在于,包括:至少两个镜筒,设置于每个所述镜筒一端的物镜,以及与镜筒一一对应的光源;所述镜筒平行设置,所述物镜具有无限远校正功能;其中,所述镜筒包括第一镜筒(3)和至少一个第二镜筒(4),所述第一镜筒(3)的一端设置相机接口(2),另一端连接第一物镜(61),所述第二镜筒(4)一端连接第二物镜(62),另一端通过光转向结构与所述第一镜筒(3)相连,将所述第二物镜(62)收集到的光导向相机(1);所述镜筒中设置有透镜(14),用于将无限远光路汇聚在所述相机(1)的靶面。2.如权利要求1所述的一种显微成像系统,其特征在于:所述光源通过光转向结构与所述镜筒连接。3.如权利要求1或2所述的一种显微成像系统,其特征在于:所述光转向结构由位于所述第一镜筒(3)中的合束镜,位于所述第二镜筒(4)一端的平面反射镜,以及所述合束镜和所述平面反射镜之间的第三镜筒(5)组成。4.如权利要求3所述的一种显微成像系统,其特征在于:所述第三镜筒(5)还包括镜筒伸缩组件(13)。5.如权利要求1所述的一种显微成像系统,其特征在于:所述第一物镜(61)和所述第二物镜(62)设置有对应...

【专利技术属性】
技术研发人员:时强欧昌东邓俊涛
申请(专利权)人:武汉精立电子技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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