一种单晶炉加热器拆装机构及单晶生产设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉加热器拆装机构及单晶生产设备，涉及单晶生长设备技术领域。单晶炉加热器拆装机构包括夹持机构和弹性结构。夹持机构包括可开合连接的挂接件和压紧件，挂接件包括挂接部，压紧件具有与挂接部相对设置的压紧部；弹性结构设于挂接件和压紧件之间，适于驱动压紧部和挂接部相互靠近。本实用新型专利技术能够解决现有技术中的加热器拆卸不便、可靠性差、安全性差的问题，具有可与加热器稳定、可靠地连接，在加热器的拆装过程中，无需人工扶持，提高可靠性和安全性的效果。提高可靠性和安全性的效果。提高可靠性和安全性的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉加热器拆装机构及单晶生产设备


[0001]本技术涉及单晶生长设备
，具体涉及一种单晶炉加热器拆装机构及单晶生产设备。

技术介绍

[0002]单晶炉也叫全自动直拉单晶生长炉，是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]直拉单晶炉的热场即热系统，是指为了融化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统，热场包括加热器，在单晶炉拉晶完成后，需要对热场中的加热器进行拆装。在单晶炉使用一段时间后，需要将加热器拆卸，进行清理，清理完毕再装回热场中。
[0004]现有工艺中，拆除加热器，采用挂钩勾住加热器的沟槽，再用挂接设备将加热器提出，但在拆卸过程中，挂钩和沟槽之间存在连接不可靠，在挂接过程中容易因晃动导致脱钩的情况，因此，为了保证可靠性和安全性，需要人工扶持，这就导致：一方面，人工参与多，耗费人力；另一方面，由于加热器温度较高，容易出现工作人员的烫伤，而加热器冷却时间较长，待冷却后再拆除则耗费较长的工时。综上，现有技术中的单晶炉加热器的拆装存在拆卸不便、可靠性差、安全性差的问题。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的加热器拆卸不便、可靠性差、安全性差的缺陷，从而提供一种单晶炉加热器拆装机构及单晶生产设备。
[0006]为了解决上述问题，本技术一方面提供了一种单晶炉加热器拆装机构，包括夹持机构和弹性结构。夹持机构包括可开合连接的挂接件和压紧件，挂接件包括挂接部，压紧件具有与挂接部相对设置的压紧部；弹性结构设于挂接件和压紧件之间，适于驱动压紧部和挂接部相互靠近。
[0007]可选的，挂接件包括挂接杆，挂接部包括设于挂接杆的一端的挂接钩。
[0008]可选的，挂接件包括凸出于挂接杆的连接部，压紧件与连接部转动连接。
[0009]可选的，压紧件包括压紧杆，压紧杆的第一端与连接部转动连接，压紧部包括设于压紧杆的第二端的压紧钩，压紧钩和挂接钩相对设置。
[0010]可选的，压紧杆的中部通过滑动限位结构和挂接杆滑动连接。
[0011]可选的，滑动限位结构包括设于挂接杆上的限位沟槽，限位沟槽贯穿挂接杆，压紧杆穿过限位沟槽。
[0012]可选的，连接部包括凸设于挂接杆一侧的连接杆，压紧杆的第一端和连接杆转动连接。
[0013]可选的，弹性结构包括弹簧，弹簧套设于挂接杆上，且位于连接杆和压紧杆之间。
[0014]可选的，滑动限位结构包括弧形的限位槽以及滑动插接于限位槽内的限位柱，限位槽设于挂接杆和压紧杆两者中的其中一个，限位柱设于挂接杆和压紧杆两者中的另一
个。
[0015]本技术另一方面提供了一种单晶生产设备，包括以上技术方案中任一项所述的单晶炉加热器拆装机构。
[0016]本技术具有以下优点：
[0017]1.利用本技术的技术方案，通过设置了夹持机构，其中，挂接件和压紧件可开合地连接，且由于压紧部和挂接部相对设置，当压紧部远离挂接部时，挂接件和压紧件打开，此时，可将加热器挂接于挂接部上；由于设置了弹性结构，在弹性结构的作用下，压紧部能够自动靠近挂接部，并与挂接部配合，夹紧加热器，从而，单晶炉加热器拆装机构能够和加热器稳定、可靠地连接，在加热器的拆装过程中，无需人工扶持，提高了可靠性和安全性。释放加热器时，只需使压紧部和挂接部相互远离，即可取下加热器，待加热器清理完毕后，再次打开夹持机构，将加热器挂接于挂接部上，靠弹性结构的弹性力作用，压紧部和挂接部自动靠近，并相互配合夹紧加热器，可将加热器装配于单晶炉中。
[0018]2.挂接部设置为挂接钩，能够插入加热器的纵开缝中，并勾住加热器，挂接钩结构简单，挂接牢固，提高加热器拆装过程中的稳定性和安全性；压紧部设置为压紧钩，与挂接钩相对设置，相互配合，实现对加热器的夹紧。
[0019]3.挂接件设置凸出于挂接杆的连接部，一方面能够为弹性结构提供限位，另一方面，连接部可以作为把手，便于人工手持，提高单晶炉加热器拆装机构操作的便利性；同时，在操作时远离加热器，避免被加热器烫伤，提高加热器拆装过程中的安全性。
[0020]4.压紧杆通过滑动限位结构和挂接杆实现滑动连接，能够对压紧杆的运动路径起到限位作用，在弹性结构的弹力作用下，压紧杆在滑动限位结构的限位下运动，保证压紧杆移动路径的准确性，提高压紧部和挂接部之间配合的可靠性。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1示出了本技术实施例提供的单晶炉加热器拆装机构的正视图；
[0023]图2示出了图1的侧视图；
[0024]图3示出了图2中挂接件的结构示意图；
[0025]图4示出了本技术实施例提供的单晶炉加热器拆装机构与加热器连接时的结构示意图；
[0026]图5示出了图4中的局部放大图。
[0027]附图标记说明：
[0028]1、挂接件；11、挂接部；111、挂接钩；12、挂接杆；13、连接部；131、连接杆；2、压紧件；21、压紧部；221、压紧钩；22、压紧杆；3、弹性结构；31、弹簧；4、滑动限位结构；41、限位沟槽；5、延长部；51、链条；6、铰接轴；10、单晶炉加热器拆装机构；20、加热器；201、纵开缝。
具体实施方式
[0029]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]此外，下面所描述的本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉加热器拆装机构，其特征在于，包括：夹持机构，所述夹持机构包括可开合连接的挂接件(1)和压紧件(2)，所述挂接件(1)包括挂接部(11)，所述压紧件(2)具有与所述挂接部(11)相对设置的压紧部(21)；弹性结构(3)，设于所述挂接件(1)和所述压紧件(2)之间，所述弹性结构(3)适于使所述挂接部(11)和所述压紧部(21)相互靠近。2.根据权利要求1所述的单晶炉加热器拆装机构，其特征在于，所述挂接件(1)包括挂接杆(12)，所述挂接部(11)包括设于所述挂接杆(12)的一端的挂接钩(111)。3.根据权利要求2所述的单晶炉加热器拆装机构，其特征在于，所述挂接件(1)包括凸出于所述挂接杆(12)的连接部(13)，所述压紧件(2)与所述连接部(13)转动连接。4.根据权利要求3所述的单晶炉加热器拆装机构，其特征在于，所述压紧件(2)包括压紧杆(22)，所述压紧杆(22)的第一端与所述连接部(13)转动连接，所述压紧部(21)包括设于所述压紧杆(22)的第二端的压紧钩(221)，所述压紧钩(221)和所述挂接钩(111)相对设置。5.根据权利要求4所述的单晶炉加热器拆装机构，其特征在于，所述压紧杆(22)的中部通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：王林，周刚，刘选，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：