【技术实现步骤摘要】
封装基板及其制法
[0001]本专利技术有关一种半导体封装技术,尤指一种具嵌埋型线路(Embedded Trace)的封装基板及其制法。
技术介绍
[0002]随着电子产业的蓬勃发展,电子产品在型态上趋于轻薄短小,在功能上则朝高性能、高功能、高速化的研发方向。因此,为满足半导体装置的高集成度(Integration)及微型化(Miniaturization)需求,故于封装制程中,常常采用具有高密度及细间距的线路的封装基板。
[0003]如图1所示,现有封装基板1包含一具有多个导电柱100的核心层10、分别设于该核心层10相对两侧的多个介电层11、及设于各该介电层11上的线路层12,以借由该多个导电柱100电性导通位于该核心层10相对两侧的这些线路层12,其中,该线路层12借由导电盲孔120电性连接该导电柱100。
[0004]然而,现有封装基板1中,该导电盲孔120的制作先于该介电层11上以激光、机钻等方式形成孔洞,再于这些孔洞中填入导电材,故于形成该孔洞的过程中,往往因工作误差而偏位,导致该孔洞无法形成于预 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种封装基板,包括:绝缘层,其于其中一侧形成有凹槽;线路层,其嵌埋于该绝缘层的另一侧;至少一导电柱,其嵌埋于该绝缘层中以连接该线路层;以及布线层,其形成于该凹槽中以连接该导电柱。2.如权利要求1所述的封装基板,其中,该封装基板还包括设于该绝缘层上的对位部,其遮盖该布线层。3.如权利要求2所述的封装基板,其中,该对位部与该布线层为一体。4.如权利要求1所述的封装基板,其中,该布线层齐平该绝缘层的表面。5.一种封装基板的制法,包括:于承载件上依序形成线路层及至少一导电柱;于该承载件上形成绝缘层,以令该绝缘层包覆该线路层及该导电柱;于该绝缘层上形成具有多个镂空区的止挡层,以...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈敏尧,林松焜,张垂弘,
申请(专利权)人:芯爱科技南京有限公司,
类型:发明
国别省市:
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