一种坩埚轴防护结构制造技术

本实用新型专利技术实施例提供的一种坩埚轴防护结构，涉及单晶炉技术领域。该一种坩埚轴防护结构，包括密封单元，以及设置在密封单元上端的操作部，密封单元的侧边布置有延长部，延长部活动安装在密封单元的内部，将密封单元中的防护架放置在坩埚轴的槽坑上端，将坩埚轴上端防护住，避免在单晶炉热场时外部的杂质或是灰尘进入坩埚轴内部，对坩埚轴内部造成污染，同时设置的集料槽呈下凹状，灰尘杂质落入防护架上端，清理完毕后通过操作部上提时，杂质不会下落至下端的坩埚轴内部，对坩埚轴进行有效保护。护。护。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚轴防护结构


[0001]本技术涉及单晶炉
，尤其是涉及一种坩埚轴防护结构。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。在单晶生产过程中，坩埚是最为重要的部件之一，在单晶炉使用时，需要对单晶炉进行热场拆清，单晶炉大清拆热场的步骤大概分为：(1)把拆出的石墨件在清扫间用砂纸打磨干净；(2)把炉内用吸尘器吸干净并用毛刷把加热器清理干净；(3)把炉后的排气管道拆开清理干净后用六角扳手拧好；(4)把现场打扫干净开始装炉。
[0003]在对单晶炉热场拆清过程中，会产生大量的杂质及灰尘，在清理过程中杂质容易进入坩埚轴的槽坑内部，影响坩埚轴的正常使用，造成设备损坏或是磨损。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种坩埚轴防护结构，能够避免在单晶炉热场清理过程中杂质容易进入坩埚轴的槽坑内部的问题。
[0005]本技术提供一种坩埚轴防护结构，包括：
[0006]密封单元，以及设置在密封单元上端的操作部，所述密封单元的侧边布置有延长部，所述延长部活动安装在密封单元的内部；
[0007]密封单元，所述密封单元包括防护架和活动安装在防护架中部操作部，所述操作部竖直安装在防护架的上表面。
[0008]在一种具体的实施方案中，述防护架呈圆形状部件，所述延长部均匀布置在防护架的外部周围。
[0009]在一种具体的实施方案中，所述防护架的上表面开设有集料槽，所述集料槽的边缘处呈倾斜状布置。
[0010]在一种具体的实施方案中，所述防护架的侧边开设有安装滑槽，所述延长部活动安装在安装滑槽的内部。
[0011]在一种具体的实施方案中，所述操作部包括活动安装在防护架下端的调节盘和安装在防护架上端的延长杆，所述延长杆贯穿防护架安装，且转动安装在防护架的内部。
[0012]在一种具体的实施方案中，所述延长部包括滑动安装在安装滑槽内部的移动件和固定安装在移动件一端的限位钮，所述移动件通过限位钮对移动件的长度进行调节。
[0013]在一种具体的实施方案中，所述调节盘的上表面中部固定安装有连接架，所述连接架与延长杆的下端固定连接，所述调节盘的表面开设有弧形槽，所述限位钮活动安装在弧形槽的内部。
[0014]在一种具体的实施方案中，所述移动件的上端一侧设置有倾斜部，所述倾斜部的一侧延伸至移动件的下端边缘处，所述移动件的上端中部开设有凹槽。
[0015]在一种具体的实施方案中，所述移动件的外端固定安装有刮料架，所述刮料架与移动件呈L形布置。
[0016]在一种具体的实施方案中，所述刮料架的内侧边缘呈弧形布置，弧形边缘延伸至刮料架的边缘处设置。
[0017]本技术实施例提供的一种坩埚轴防护结构，在单晶炉热场清理时，将密封单元中的防护架放置在坩埚轴的槽坑上端，将坩埚轴上端防护住，避免在单晶炉热场时外部的杂质或是灰尘进入坩埚轴内部，对坩埚轴内部造成污染，同时设置的集料槽呈下凹状，灰尘杂质落入防护架上端，清理完毕后通过操作部上提时，杂质不会下落至下端的坩埚轴内部，对坩埚轴进行有效保护。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1为本技术实施例的整体结构示意图。
[0020]图2为本技术实施例的整体下端结构示意图。
[0021]图3为本技术实施例的延长部结构示意图。
[0022]图4为本技术实施例的调节盘结构示意图。
[0023]图5为本技术实施例的移动件结构示意图。
[0024]图标：100、密封单元；110、防护架；120、集料槽；130、安装滑槽；200、操作部；210、调节盘；211、连接架；212、弧形槽；220、延长杆；230、拉环；300、延长部；310、移动件；311、凹槽；312、倾斜部；320、刮料架；330、限位钮。
具体实施方式
[0025]在对单晶炉热场拆清过程中，会产生大量的杂质及灰尘，在清理过程中杂质容易进入坩埚轴的槽坑内部，影响坩埚轴的正常使用。因此，专利技术人经研究提供了一种坩埚轴防护结构，单晶炉热场清理时，将密封单元中的防护架放置在坩埚轴的槽坑上端，将坩埚轴上端防护住，避免在单晶炉热场时外部的杂质或是灰尘进入坩埚轴内部，从而解决上述缺陷。
[0026]下面结合附图，对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0027]请参考图1至图2，本技术实施例提供了一种坩埚轴防护结构，包括密封单元100，以及设置在密封单元100上端的方便操作者握持和调节的操作部200，密封单元100的侧边布置有用于支撑和定位的延长部300，延长部300活动安装在密封单元100的内部。
[0028]密封单元100包括放置在坩埚轴槽坑上端的防护架110和活动安装在防护架110中部用于调节防护架110的操作部200，操作部200竖直安装在防护架110的上表面，防护架110呈圆形状部件，延长部300布置有三组，且均匀布置在防护架110的外部周围，防护架110的上表面开设有用于对灰尘杂质进行收集的集料槽120，集料槽120的边缘处呈倾斜状布置。
[0029]在单晶炉热场清理时，将密封单元100中的防护架110放置在坩埚轴的槽坑上端，
将坩埚轴上端防护住，避免在单晶炉热场时外部的杂质或是灰尘进入坩埚轴内部，对坩埚轴内部造成污染，同时设置的集料槽120呈下凹状，灰尘杂质落入防护架110上端，清理完毕后通过操作部200上提时，杂质不会下落至下端的坩埚轴内部，对坩埚轴进行有效保护。
[0030]请参考图2至图5，防护架110的侧边开设有用于安装延长部300的安装滑槽130，延长部300活动安装在安装滑槽130的内部，延长部300包括滑动安装在安装滑槽130内部的移动件310和固定安装在移动件310一端的用于对移动件310进行限位的限位钮330，移动件310通过限位钮330对移动件310的长度进行调节
[0031]操作部200包括活动安装在防护架110下端的调节盘210和安装在防护架110上端的延长至坩埚轴槽坑上端布置的延长杆220，延长杆220贯穿防护架110安装，且转动安装在防护架110的内部，延长杆220的上端固定安装有用于对密封单元100提拉的拉环230。
[0032]调节盘210的上表面中部固定安装有用于带动调节盘210进行旋转的连接架211，连接架211与延长杆220的下端固定连接，调节盘210的表面开设有用于安装限位钮330的弧形槽212，限位钮330活动安装在弧形槽212的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚轴防护结构，其特征在于，包括：密封单元，以及设置在密封单元上端的操作部，所述密封单元的侧边布置有延长部，所述延长部活动安装在密封单元的内部；密封单元，所述密封单元包括防护架和活动安装在防护架中部操作部，所述操作部竖直安装在防护架的上表面。2.根据权利要求1所述的一种坩埚轴防护结构，其特征在于，所述防护架呈圆形状部件，所述延长部均匀布置在防护架的外部周围。3.根据权利要求2所述的一种坩埚轴防护结构，其特征在于，所述防护架的上表面开设有集料槽，所述集料槽的边缘处呈倾斜状布置。4.根据权利要求3所述的一种坩埚轴防护结构，其特征在于，所述防护架的侧边开设有安装滑槽，所述延长部活动安装在安装滑槽的内部。5.根据权利要求4所述的一种坩埚轴防护结构，其特征在于，所述操作部包括活动安装在防护架下端的调节盘和安装在防护架上端的延长杆，所述延长杆贯穿防护架安装，且转动安装在防护架的内部。...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建科，吴金鹏，
申请(专利权)人：宁夏银佳新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：