【技术实现步骤摘要】
一种挥发物清理装置
[0001]本技术涉及单晶炉管道清理
,尤其是涉及一种挥发物清理装置。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在单晶炉的下炉筒内部布置多组抽真空管道,单晶炉长期运作后,真空管道内部挥发物容易因累积导致管道堵塞,需要对挥发物及时清理保证单晶炉的正常运作。
[0003]目前市面上对真空管道内部挥发物清理时,通常是使用直杆通入管道内部通过转动和抽拉对挥发物进行清理,若是遇到弯曲管道时,清理较为不便,且清洁直杆无法通入。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种挥发物清理装置,能够避免对真空管道内部挥发物清理遇到弯曲管道时,清理较为不便的问题。
[0005]本技术提供一种挥发物清理装置,包括:
[0006]清洁组件,以及用于储存清洁组件的收纳包,所述清洁组件收卷放置在收纳包内腔,所述清洁组件的上端还布置有集尘单元,所述集尘单元套装在清洁组件的上端;
[000 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种挥发物清理装置,其特征在于,包括:清洁组件,以及用于储存清洁组件的收纳包,所述清洁组件收卷放置在收纳包内腔,所述清洁组件的上端还布置有集尘单元,所述集尘单元套装在清洁组件的上端;清洁组件,所述清洁组件包括可以弯曲收卷的弹性部和安装在弹性部一端的刷头部,所述刷头部与弹性部端部固定连接,所述弹性部的另一端布置有驱动部。2.根据权利要求1所述的一种挥发物清理装置,其特征在于,所述刷头部为放射状铁丝拼接组成,铁丝状部件缠绕安装在中部的安装架上端,所述安装架的一侧套装在弹性部的端部。3.根据权利要求2所述的一种挥发物清理装置,其特征在于,所述弹性部呈弹簧弯曲状。4.根据权利要求3所述的一种挥发物清理装置,其特征在于,所述弹性部的上端还活动套装有握持部,所述握持部滑动布置在弹性部的上端,所述弹性部贯穿握持部布置。5.根据权利要求4所述的一种挥发物...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴建科,范超,
申请(专利权)人:宁夏银佳新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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