助焊剂形成装置和助焊剂形成方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种助焊剂形成装置和助焊剂形成方法。在形成在衬底上的电极上涂敷粘性高的助焊剂时，需要降低粘度来涂敷。为此，设置贮存并向喷射头供给助焊剂的贮存罐，在喷射头和连接二者的管线部中设置加热机构来升高温度而使助焊剂的粘度降低，以喷出到衬底上，还设置有使衬底在工作台上急剧冷却的冷却机构，以使得喷出到衬底上的助焊剂不会流出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于在衬底面上的电极上印刷焊球(solder ball)而 在进行焊接时作为前处理而形成助焊剂(flux)的装置。
技术介绍
迄今，为了在印刷衬底上形成焊球，作为前处理而用丝网印刷技 术进行提高印刷衬底与焊球之间的结合力的助焊剂印刷，但随着半导 体的高度集成化，衬底的布线图案也微细化，制作的焊球的间距变窄， 且要求制作小的焊点(solder bump,或称焊料凸块)。因此，针对印刷的高速化且高精度化的要求，作为改变丝网印刷 法的廉价的助焊剂的制作方法，提出了专利文献1或专利文献2中记 载的那样的使用了喷射喷嘴的方式。<专利文献1>日本特开2001-168509号公报<专利文献2>日本特开2001-053099号爿iH艮
技术实现思路
(专利技术要解决的问题)上述现有技术仅仅公开了只是为了在电极上涂敷助焊剂而使用 喷射头的内容，关于具体的结构和动作等没有任何公开。但是，由于 助焊剂是自身粘性高的液体，如果使用一般的喷射头，则存在助焊剂 会附着在喷嘴上，发生喷嘴堵塞而不能喷出，或者随着经过一段时间 而喷出量发生偏差等问题。而且，如果增加流动性来涂敷则助焊剂会 流出到电极外，相邻涂敷的助焊剂之间相结合，或者在助焊剂上附着 尘埃，由此出现绝缘性丧失等问题。本专利技术的目的在于为了解决上述问题，实现在用喷射头喷出助焊剂时不产生喷嘴堵塞等问题的装置。(用来解决问题的手段) 在用喷射头向在工作台上载置的衬底上形成的电极部涂敷助焊 剂的助焊剂形成装置中，在向喷射头供给助焊剂的贮存罐中设置用来 对助焊剂加热的加热机构，且在喷射头中也设置加热机构，使助焊剂 保持在预定温度而向电极喷出，在工作台上设置有把喷到衬底上的助 焊剂冷却的冷却机构。(专利技术的效果)加热助焊剂降低粘度，从喷射头平稳地喷出，且通过使喷出后的 助焊剂的温度下降而增加粘度使流动性变差，由此可以在所期望的区 域内精度良好地涂敷助焊剂。附图说明图l是示出焊点形成系统的概略构成的图。图2是示出助焊剂形成装置的一例的图。 图3是示出向喷射头供给助焊剂的助焊剂供给系统的图。 图4是对助焊剂涂敷后的衬底面的状态进行检查、修正的装置的 流程图。(附图标记说明)1、工作台；2、线性轨；3、移动台；6、涂敷头；7、线性轨；8、 Z轴工作台；9、 Z轴马达；10、喷射头；12、照相机；15、村底；20、 助焊剂贮存罐；21、 22、 24、加热4几构(加热器)；28、冷却机构。具体实施例方式图1中示出焊点形成系统的整体结构的概略图。 形成焊点时，首先设置在形成了电极的衬底上形成助焊剂的助焊 剂形成装置100。此时，在衬底上形成的电极上，按照电极形状涂敷 助焊剂。把在衬底上的电极上涂敷了助焊剂的衬底搬运到供给焊球的 焊球供给装置200上。本实施例的焊球供给装置200以从具有开口部的网版上向上述助焊剂上按电极形状供给焊球的方式(丝网印刷装置)构成。接着，把用焊球供给装置200供给了焊球的衬底送到检查、修 正装置300，进行缺陷的检查，并且，在此对能修理的缺陷进行修理， 把不能修理的衬底从生产线去除。把结束了检查的衬底搬送到重流 (reflow，或称回流)装置，进行加热熔化，成为焊点形成衬底。在助焊剂形成装置100中具有喷射头、以及载置村底并在工作 台面上暂时固定衬底的能够上下移动的工作台。构成为，喷射头能够 沿箭头的水平方向(XY方向)移动，衬底能够通过搬送带被搬送到 工作台位置为止。另外，焊球供给装置200上还具有用来供给焊球 的焊球供给用头、供给用的掩模、和能够上下移动的衬底保持用的工 作台、用于掩模和村底进行位置对准的照相机等。而且，检查、修正 装置300中具有用来对被供给了焊球的衬底面拍摄而判断是否具有 缺陷部分的照相机、用来除去缺陷部分的焊球的焊球吸引除去用的喷 嘴、以及具有用来供给新的焊球的修补用的分配喷嘴的修补用头。另 外，在该装置中，图中虽未示出，但还具有把在缺陷部分去除的焊 球废弃的废弃箱、收容新的焊球的焊球箱、以及收存助焊剂的助悍剂 箱等。在重流装置400中，在搬送带的上侧设置加热器，加热到预定 温度，使焊球熔化，在电极上形成焊点。因此，该部分的搬送带用耐 热性材料形成。在本实施例中，在助焊剂的涂敷中使用具有喷射头的助焊剂形成 装置。这是因为，随着电极的微细化，在丝网掩模的狭缝制作中，仅 仅由印刷图案的尺寸减小导致的加工就很困难，即使能够实施制作， 也必须提高掩模与衬底的位置对准的精度，焊点形成的准备需要时间。 另外，还因为，由于助焊剂一般是高粘度(约15~30Pa . s),所以对 于在掩模上形成的微细的狭缝(流路)在印刷时流动性差，即使为了 避免空气混入掩模的狭缝或尘埃堵塞等造成的印刷脱落或印刷量不足 而通过施加强压在电极上形成助焊剂，也容易与相邻的电极图案上的 助焊剂发生桥接，引起印刷不良。而且，用大的压力把掩模按压在村 底侧，还存在掩模的寿命短的问题。图2示出助焊剂形成装置的概略结构。如图2所示，本实施例的助焊剂形成装置，在图中未示出的架台 上设置衬底栽置用工作台1,在该工作台1的两侧沿Y轴方向设置线 性轨2。在线性轨2上设置移动台3。在移动台3上设置安装脚4，在 其上跨着工作台1在上方安装移动框5。在该移动框5上设置用来在X 轴方向移动涂敷头6的头移动机构(线性轨)7。涂敷头6由Z轴工作台8、喷射头IO及其安装架11、照相机12 等构成，Z轴工作台8安装在头移动机构7上。即，Z轴工作台8构 成为沿X轴方向移动。另外，在Z轴工作台8上设置Z轴马达9，安 装了喷射头IO等的安装架ll构成为沿Z轴方向移动。而且，在Z轴 工作台8上设置用来使喷射头IO旋转的R轴马达17。还在安装架11 上设置了位置对准用的照相机12、未图示的用来测量喷射头10和衬 底15之间的距离的测距用传感器。基于该测距用传感器的检测结果上 下驱动涂敷头6,使涂敷时的衬底与喷嘴的间隔保持恒定。另外，在 由架台的线性轨2夹着的工作台1的一个侧端部设置用来移动喷嘴检 查用照相机13和飞滴检查照相才几14的照相才几移动用线性轨16。该工 作台1和照相机移动用线性轨16构成为能够上下移动。这是为了从图 中未示出的衬底搬送带接收村底15并载置到工作台l上。另外，虽然未图示，在工作台1上设置用来对衬底15进行接收 并定位的能够上下移动的阻挡物等。另外，在向衬底15涂敷助焊剂之 前喷嘴检查用照相机13预先确认喷嘴孔32 (图3 )中是否堵塞，同时 确认喷嘴孔的涂敷配置位置，飞滴检查照相机14确认从喷嘴孔32射 出的助焊剂的飞滴的状态，确认射出量等有无问题。在判断喷嘴孔32 的喷塞状态、涂敷配置位置以及助焊剂的飞滴的射出状态的好坏时， 预先在控制部35 (图3)中设定作为其判断基准的条件。以如果满足 该条件则涂敷形成助垾剂的方式进行了编程。如果存在喷嘴孔的涂敷 位置不合适，则主要旋转涂敷头6的R轴马达17进行再调整。另外， 如果喷嘴孔堵塞和助焊剂的射出量状态不足，则利用未图示的喷射头 充填机构从喷嘴孔侧对喷出部31(图3)进行真空吸引(以后称为"充填")，消除喷嘴堵塞，且利用由布等的吸收材料构成的喷嘴清扫机 构(未图示)进行充填后的喷嘴孔周边的清扫。该动作为，进行喷嘴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种助焊剂形成装置，用喷射头向在工作台上载置的衬底上形成的电极部涂敷助焊剂，其特征在于：　在从向上述喷射头供给助焊剂的贮存罐到上述喷射头为止的材料供给系统中设置有加热机构，把助焊剂保持在预定温度而喷出到上述电极上，在上述工作台上设置有 使喷出到上述衬底上的助焊剂冷却的冷却机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：德安良纪，渡濑直树，中村秀男，向井范昭，阿部猪佐雄，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：发明
国别省市：JP[日本]