一种检测方法及检测系统技术方案

本发明专利技术提供一种检测方法及检测系统，其中检测方法包括：通过第一检测光获取第一信号光，第一检测光包括第一波长范围及第二波长范围；通过第二检测光获取第二信号光，第二检测光包括第二波长范围且不包含第一波长范围；对第一补偿处理之后的第一检出信息与第二检出信息进行第一差值处理，获取第一波长范围内各波长的第一信号光的光学特征与第二信号光的光学特征的第一差值与波长的对应关系，得到第一波长范围的第一差值检出信息；根据第一差值检出信息获取组合检出信息；根据组合检出信息获取待测物的待测信息。本发明专利技术能够消除第二波长范围的检测光对第一波长范围检测光的串扰，进而得到不具有串扰时第二波长范围的检出信息，进而能提高检测精度。进而能提高检测精度。进而能提高检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种检测方法及检测系统


[0001]本专利技术涉及检测领域，特别是一种应用宽带检测光检测待测物的检测方法及检测系统。

技术介绍

[0002]在晶圆检测中，利用宽光谱对晶圆表面膜层进行检测能够获取较多的信息，是晶圆检测中常用的技术手段。椭偏仪、光谱反射仪以及光谱角度轮廓仪等均是利用宽光谱光源对待测物进行检测，获取携带待测物信息的光谱来检测待测物性质的设备。
[0003]然而，在利用宽光谱检测的过程中，理论上利用越宽的光谱能够获取的信息越多，精度越高，然而实际上可能会存在干扰，导致光谱宽度较大时反而导致检测精度较低。

技术实现思路

[0004]为解决以上问题，本专利技术提出了一种检测方法及检测系统，能够减少信号光中的光谱串扰，从而提高检测精度。
[0005]本专利技术的技术方案提供了一种检测方法，包括：通过第一检测光对待测物进行第一检测，获取第一检测光经待测物后形成的第一信号光，所述第一检测光包括第一波长范围及第二波长范围；通过第二检测光对待测物进行第二检测，获取第二检测光经待测物后形成的第二信号光，所述第二检测光包括所述第二波长范围且不包含第一波长范围；根据所述第一信号光获取第一检出信息，所述第一检出信息至少包括第一波长范围的第一信号光的光学特征，所述光学特征与光强正相关；根据所述第二信号光获取第二检出信息，所述第二检出信息至少包括第一波长范围的第二信号光的光学特征，所述第二波长范围的第一检测光与第二波长范围的第二检测光在相同波长处的光强具有第一预设比值，第二波长范围内各波长处的所述第一预设比值相同；对所述第一检出信息和第二检出信息进行第一补偿处理，使所述第一检出信息乘以第一补偿系数，第二检出信息乘以第二补偿系数，所述第二补偿系数和第一补偿系数的比值等于所述第一预设比值；对第一补偿处理之后的第一检出信息与第二检出信息进行第一差值处理，获取第一波长范围内各波长的第一信号光的光学特征与第二信号光的光学特征的第一差值与波长的对应关系，得到第一波长范围的第一差值检出信息；根据所述第一差值检出信息获取组合检出信息，所述组合检出信息至少包括所述第一差值检出信息；根据所述组合检出信息获取待测物的待测信息。
[0006]可选的，根据所述第一差值检出信息获取组合检出信息包括：将所述第一差值检出信息和第二波长范围的第二检出信息的组合作为组合检出信息，或者将所述第一差值检出信息和第二波长范围的第一检出信息的组合作为组合检出信息，或将所述第一差值检出信息作为所述组合检出信息。
[0007]可选的，根据所述组合检出信息获取待测物的待测信息，包括：将所述组合检出信息中各光学特征转换为待测物的特征参数，得到特征关系，所述特征参数为表征待测物光学性质的参数值，所述特征关系为特征参数与波长的对应关系；利用理论光学模型对所述
特征关系进行拟合，获取所述待测信息，所述理论光学模型为待测物的待测信息与所述特征参数之间的理论关系模型。
[0008]可选的，所述第一检出信息包括：具有不同偏振态的第一信号光的多个第一子检出信息；所述第二检出信息包括具有不同偏振态的第二信号光的多个第二子检出信息；对所述第一检出信息与第二检出信息进行第一差值处理包括：分别对同一偏振态的第一子检出信息和第二子检出信息做差，获得多个偏振态的第一子差值信息；所述将所述光学特征转换为待测物的特征参数，并根据多个波长的特征参数得到特征关系，包括：根据多个偏振态的第一子差值信息将所述光学特征转换为待测物的特征参数，并根据多个波长的特征参数得到特征关系。
[0009]可选的，通过第一检测光对待测物进行第一检测，获取第一检测光经待测物后形成的第一信号光包括：对所述第一检测光束进行起偏，使所述第一检测光束具有第一预设偏振态；使起偏后的所述第一检测光到达待测物，所述第一检测光经待测物反射、散射或透射后，形成所述第一信号光；根据所述第一信号光获取第一检出信息包括：对所述第一信号光进行检偏，获取具有多个第二预设偏振态的第一信号光的第一子检出信息；通过第二检测光对待测物进行第二检测，获取第二检测光经待测物后形成的第二信号光，包括：对所述第二检测光束进行起偏，使所述第二检测光束具有第一预设偏振态；使所述第二检测光到达待测物，所述第二检测光经待测物反射、散射或透射后，形成所述第二信号光；根据所述第二信号光获取第二检出信息包括：对所述第二信号光进行检偏，获取具有多个第二预设偏振态的第二信号光的第二子检出信息。
[0010]可选的，所述特征参数包括待测物表面反射率或傅里叶系数。
[0011]可选的，所述光学特征为光强、像素灰度或电荷值。
[0012]可选的，将所述组合检出信息中各光学特征转换为待测物的特征参数，得到特征关系，包括：获取标准样品的标准检出信息，所述标准检出信息包括光学特征与至少第一波长范围内的波长的对应关系，表征所述标准样品的光学特征的特征参数为已知的预设参数值；根据组合检出信息与所述标准检出信息中相同波长的光学特征的比值与所述预设参数值的乘积获取待测物的特征参数，得到所述特征关系。
[0013]可选的，所述特征参数为反射率或傅里叶系数；所述待测信息包括待测物表面膜层的厚度或高度。
[0014]可选的，根据所述组合检出信息获取所述待测物的待测信息包括：获取所述组合检出信息中光学特征最大的光波长得到最值波长；获取距离模型，所述距离模型为光波长与待测点高度之间的对应关系；根据所述距离模型及最值波长获取最值波长对应的待测点高度得到待测点的待测信息，所述待测信息为待测点的高度。
[0015]可选的，所述第一波长范围包括紫外光波长；所述第二波长范围包括可见光波长；所述第一波长范围的第一检测光的光功率密度小于第二波长的范围的第一检测光的光功率密度。
[0016]可选的，所述第二检测光的第二波长范围为波长大于或等于阈值波长，所述阈值波长为150nm～500nm中的任意波长值；所述第一波长范围包括波长小于或等于阈值波长的波段。
[0017]可选的，通过第二检测光对待测物进行第二检测包括：通过滤波器对具有第一波
长范围和第二波长范围的光进行滤波，滤除第一波长范围的光获得第二检测光；将所述第二检测光引导至待测物；并通过探测器采集所述第二信号光，得到第二检出信息。
[0018]可选的，通过滤波器对具有第一波长范围和第二波长范围的光进行滤波包括：通过所述滤波器对所述第一检测光进行滤波，滤波第一波长范围的光获得第二检测光；所述第一补偿系数为1；所述第二补偿系数为所述滤波器的透过率。
[0019]可选的，所述第一检出信息还包括：第二波长范围的第一信号光的光学特征；所述检测方法还包括：通过第三检测光对所述待测物进行第三检测，获取第三检测光经待测物后形成的第三信号光，所述第三检测光包括所述第一波长范围，且所述第三检测光不包括第二波长范围；
[0020]根据所述第三信号光获取第三检出信息，所述第三检出信息至少包括第二波长范围的第三信号光的光学特征，所述第一波长范围的第一检测光与第一波长范围的第三检测光在相同波长处的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测方法，其特征在于，包括：通过第一检测光对待测物进行第一检测，获取第一检测光经待测物后形成的第一信号光，所述第一检测光包括第一波长范围及第二波长范围；通过第二检测光对待测物进行第二检测，获取第二检测光经待测物后形成的第二信号光，所述第二检测光包括所述第二波长范围且不包含第一波长范围；根据所述第一信号光获取第一检出信息，所述第一检出信息至少包括第一波长范围的第一信号光的光学特征，所述光学特征与光强正相关；根据所述第二信号光获取第二检出信息，所述第二检出信息至少包括第一波长范围的第二信号光的光学特征，所述第二波长范围的第一检测光与第二波长范围的第二检测光在相同波长处的光强具有第一预设比值，第二波长范围内各波长处的所述第一预设比值相同；对所述第一检出信息和第二检出信息进行第一补偿处理，使所述第一检出信息乘以第一补偿系数，第二检出信息乘以第二补偿系数，所述第二补偿系数和第一补偿系数的比值等于所述第一预设比值；对第一补偿处理之后的第一检出信息与第二检出信息进行第一差值处理，获取第一波长范围内各波长的第一信号光的光学特征与第二信号光的光学特征的第一差值与波长的对应关系，得到第一波长范围的第一差值检出信息；根据所述第一差值检出信息获取组合检出信息，所述组合检出信息至少包括所述第一差值检出信息；根据所述组合检出信息获取待测物的待测信息。2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，根据所述第一差值检出信息获取组合检出信息包括：将所述第一差值检出信息和第二波长范围的第二检出信息的组合作为组合检出信息，或者将所述第一差值检出信息和第二波长范围的第一检出信息的组合作为组合检出信息，或将所述第一差值检出信息作为所述组合检出信息。3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，根据所述组合检出信息获取待测物的待测信息，包括：将所述组合检出信息中各光学特征转换为待测物的特征参数，得到特征关系，所述特征参数为表征待测物光学性质的参数值，所述特征关系为特征参数与波长的对应关系；利用理论光学模型对所述特征关系进行拟合，获取所述待测信息，所述理论光学模型为待测物的待测信息与所述特征参数之间的理论关系模型。4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，所述第一检出信息包括：具有不同偏振态的第一信号光的多个第一子检出信息；所述第二检出信息包括具有不同偏振态的第二信号光的多个第二子检出信息；对所述第一检出信息与第二检出信息进行第一差值处理包括：分别对同一偏振态的第一子检出信息和第二子检出信息做差，获得多个偏振态的第一子差值信息；将所述组合检出信息中各光学特征转换为待测物的特征参数，得到特征关系，包括：根据多个偏振态的第一子差值信息将所述光学特征转换为待测物的特征参数，并根据多个波长的特征参数得到特征关系。5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，通过第一检测光对待测物进行第一检测，获取第一检测光经待测物后形成的第一信号光包括：对所述第一检测光束进行起偏，使
所述第一检测光束具有第一预设偏振态；使起偏后的所述第一检测光到达待测物，所述第一检测光经待测物反射、散射或透射后，形成所述第一信号光；根据所述第一信号光获取第一检出信息包括：对所述第一信号光进行检偏，获取具有多个第二预设偏振态的第一信号光的第一子检出信息；通过第二检测光对待测物进行第二检测，获取第二检测光经待测物后形成的第二信号光，包括：对所述第二检测光束进行起偏，使所述第二检测光束具有第一预设偏振态；使所述第二检测光到达待测物，所述第二检测光经待测物反射、散射或透射后，形成所述第二信号光；根据所述第二信号光获取第二检出信息包括：对所述第二信号光进行检偏，获取具有多个第二预设偏振态的第二信号光的第二子检出信息。6.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，所述特征参数包括待测物表面反射率或傅里叶系数。7.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，所述光学特征为光强、像素灰度或电荷值。8.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，将所述组合检出信息中各光学特征转换为待测物的特征参数，得到特征关系，包括：获取标准样品的标准检出信息，所述标准检出信息包括光学特征与至少第一波长范围内的波长的对应关系，表征所述标准样品的光学特征的特征参数为已知的预设参数值；根据组合检出信息与所述标准检出信息中相同波长的光学特征的比值与所述预设参数值的乘积获取待测物的特征参数，得到所述特征关系。9.根据权利要求3或8所述的检测方法，其特征在于，所述特征参数为反射率或傅里叶系数；所述待测信息包括待测物表面膜层的厚度或高度。10.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，根据所述组合检出信息获取所述待测物的待测信息包括：获取所述组合检出信息中光学特征最大的光波长得到最值波长；获取...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，王南朔，张晨雨，马砚忠，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：