本发明专利技术公开一种探针台下针前样品台自锁装置，包括：执行单元，所述执行单元包括依次连接的驱动单元、传动单元和摩擦片，所述摩擦片有两个，两个摩擦片位于探针台的位移手柄的相对侧；检测单元，所述检测单元用于检测探针台的探针升降动作；控制单元，所述控制单元电连接驱动单元、检测单元，控制单元接收检测单元的信号，并根据所述信号控制驱动单元使得两个摩擦片夹紧或不夹紧位移手柄。本发明专利技术实现了在探针下针前自动锁定样品台（Chuck），测完抬起探针后才自动解除锁定，解决了扎针状态因误操作（移动）样品台（Chuck），或者移动晶圆时忘记抬针，导致刮伤晶圆，损坏探针的严重问题。损坏探针的严重问题。损坏探针的严重问题。
【技术实现步骤摘要】
探针台下针前样品台自锁装置
[0001]本专利技术涉及芯片测试
，尤其涉及一种探针台下针前样品台自锁装置。
技术介绍
[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路等领域的芯片、晶圆进行测试。
[0003]在使用常规的手动探针台进行测试时，利用外加锁定部件来锁定样品台（Chuck），需要单独去操作（使用时通过手动拧紧螺丝锁住，测完后通过手动拧松螺丝解除锁定），使用人员往往感觉繁琐，锁定情况不稳定而摒弃使用。由于人为疏漏，忘记抬针便移动样品台（Chuck）,导致探针在芯片上划动，以至于损坏探针，划伤芯片。
技术实现思路
[0004]为克服上述缺陷，本专利技术旨在提供一种探针台下针前样品台自锁装置，实现在探针下针前自动锁定样品台（Chuck），测完抬起探针后才自动解除锁定，解决了扎针状态因误操作（移动）样品台（Chuck），或者移动晶圆时忘记抬针，导致划伤晶圆，损坏探针的严重问题。
[0005]本专利技术采用的技术方案如下：探针台下针前样品台自锁装置，包括：执行单元，所述执行单元包括依次连接的驱动单元、传动单元和摩擦片，所述摩擦片有两个，两个摩擦片位于探针台的位移手柄的相对侧；检测单元，所述检测单元用于检测探针台的旋转运动机构的探针升降动作；控制单元，所述控制单元电连接驱动单元、检测单元，控制单元接收检测单元的信号，并根据所述信号控制驱动单元使得两个摩擦片夹紧或不夹紧位移手柄。
[0006]优选的，所述传动单元包括动力连杆，所述动力连杆的一端连接驱动单元，动力连杆的另一端转动连接拨动杆的一端，拨动杆的另一端为自由端，拨动杆的中部通过同心转轴支撑点与探测台转动连接，所述摩擦片与拨动杆通过挤压转轴单元与拨动杆转动连接，所述同心转轴支撑点位于两个挤压转轴单元之间。
[0007]进一步优选的，所述动力连杆为L型。
[0008]优选的，所述摩擦片靠近位移手柄的边沿为弧形，所述弧形局部包围位移手柄。
[0009]进一步优选的，所述弧形与位移手柄接触时为点接触。
[0010]优选的，所述驱动单元包括气缸，所述气缸受控于控制单元，所述动力连杆的一端连接气缸的顶杆。
[0011]优选的，所述检测单元包括传感器以及检测感应点，所述检测感应点随动于所述旋转运动机构，所述传感器用于感应所述检测感应点，传感器电连接控制单元。所述旋转运动机构用于控制探针升降，探针升为抬针，探针降为下针。
[0012]进一步优选的，所述传感器为霍尔传感器。
[0013]进一步的，所述气缸的气路上设有电磁阀，所述电磁阀电连接控制单元，所述电磁阀在所述传感器感应到检测感应点的时候处于闭合状态。
[0014]进一步的，所述气缸配置有调压阀。
[0015]本专利技术的工作原理如下：位移手柄是控制样品台(CHUCK)位置移动的机械装置。探针台的旋转运动机构与探针位置高度是联动关系。当旋转运动机构转动时，探针位置高度会随着一起呈规律性变化。
[0016]旋转运动机构转动时，检测感应点随之一起转动，当检测感应点转动至传感器检测范围内时，传感器此时输出变化的电子信号，控制单元接收该信号并控制电磁阀产生动作使得气源接通或者断开，信号持续时间长短，可以控制电磁阀动作的时间长短，因此达到控制气源气流量大小及时间的目的。具体的自锁过程如下：气缸接收指令向右收缩，带动动力连杆向右移动，拨动杆围绕同心转轴支撑点顺时针转动，挤压上下两个摩擦片向中间收拢，挤压位移手柄，使得摩擦片和位移手柄之间产生静摩擦，从而导致样品台(CHUCK)位置锁定，不再移动。
[0017]本专利技术的有益效果如下：本专利技术能够在探针下针前自动锁定样品台（Chuck），测完探针后才自动解除锁定，解决了扎针状态因误操作（移动）样品台（Chuck），或者移动晶圆时忘记抬针，导致划伤晶圆，损坏探针的严重问题；同时有助于提升测试信号的稳定性，提高测试效率。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的结构示意图。
[0019]图2为检测单元的安装位置示意图。
[0020]图3为图2的俯视图。
[0021]图4为驱动单元部分的结构示意图。
[0022]图5为本专利技术的自锁过程示意图。
实施方式
[0023]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本专利技术进行进一步详细说明。
实施例
[0024]本实施例公开一种探针台下针前样品台自锁装置，具体如下：如图1所示，本实施例包括：执行单元，执行单元包括依次连接的驱动单元、传动单元和摩擦片4、8，摩擦片有两个，两个摩擦片4、8位于探针台的位移手柄9的相对侧；检测单元，检测单元用于检测探针台的旋转运动机构的位移；控制单元，控制单元电连接驱动单元、检测单元，控制单元接收检测单元的信号，并根据所述信号控制驱动单元使得两个摩擦片4、8夹紧或不夹紧位移手柄9。其中：传动单元包括动力连杆2，动力连杆2为L型，动力连杆2的一端连接驱动单元，驱动
单元采用气缸1，气缸1受控于控制单元，动力连杆2的一端连接气缸1的顶杆。动力连杆2的另一端转动连接拨动杆3的一端，拨动杆3的另一端为自由端，拨动杆3的中部通过同心转轴支撑点6与探测台转动连接，摩擦片4、8与拨动杆3通过挤压转轴单元5与拨动杆3转动连接，同心转轴支撑点6位于两个挤压转轴单元5之间。
[0025]为了保证自锁效果，摩擦片4、8靠近位移手柄9的边沿为弧形，弧形局部包围位移手柄9，使得摩擦片4、8在夹紧位移手柄9时是通过两个摩擦接触点10、11实现。
[0026]如图2、图3所示，检测单元包括传感器14以及检测感应点13，检测感应点13随动于旋转运动机构12，传感器14用于感应检测感应点13，传感器14电连接控制单元。传感器14采用霍尔传感器。
[0027]如图4所示，气缸的气路上设有电磁阀15，电磁阀15电连接控制单元，电磁阀15在传感器14感应到检测感应点13的时候处于闭合状态。气缸配置有调压阀16以及压力指示表18，调压阀16设有调节旋钮17。调压阀16通过气源接口19连接空压机等气源，气源压力≥0.4Mpa。
[0028]其中，传感器及电磁阀的供电，可使用常规24V
‑
DC开关电源提供。
实施例
[0029]如图5所示，在实施例1的基础上，本实施例公开该种探针台下针前样品台自锁装置的自锁过程如下：下针前，控制单元控制电磁阀闭合，气缸1向右收缩，带动动力连杆2向右移动，使得拨动杆3围绕同心转轴支撑点顺时针转动，从而挤压摩擦片4、8，摩擦片4、8向中间收拢，挤压位移手柄9，摩擦接触点10、11和位移手柄9产生静摩擦，使得样品台(CHUCK)位置锁定，不再移动。
[0030]且能够在抬针后自动解除锁定。
[0031]本专利技术在提供了探针台下针自锁功能，在自动检测高度后，自动锁定样品台（Chuck），测完抬起探针后自动解除锁定，即避免了繁琐的操作步骤，又使得锁定松紧力度一致，锁定效果好。同本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.探针台下针前样品台自锁装置，其特征在于，包括：执行单元，所述执行单元包括依次连接的驱动单元、传动单元和摩擦片，所述摩擦片有两个，两个摩擦片位于探针台的位移手柄的相对侧；检测单元，所述检测单元用于检测探针台的探针升降动作；控制单元，所述控制单元电连接驱动单元、检测单元，控制单元接收检测单元的信号，并根据所述信号控制驱动单元使得两个摩擦片夹紧或不夹紧位移手柄。2.根据权利要求1所述的探针台下针前样品台自锁装置，其特征在于，所述传动单元包括动力连杆，所述动力连杆的一端连接驱动单元，动力连杆的另一端转动连接拨动杆的一端，拨动杆的另一端为自由端，拨动杆的中部通过同心转轴支撑点与探测台转动连接，所述摩擦片与拨动杆通过挤压转轴单元与拨动杆转动连接，所述同心转轴支撑点位于两个挤压转轴单元之间。3.根据权利要求2所述的探针台下针前样品台自锁装置，其特征在于，所述动力连杆为L型。4.根据权利要求1所述的探针台下针前样品台自锁装置，其特征在于，所述摩擦片靠近...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹让辉，
申请(专利权)人：成都测芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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