一种新的半导体参数测试硬件架构系统技术方案

本申请公开了一种新的半导体参数测试硬件架构系统，其包括测试模块和开关矩阵，所述测试模块包括源测量单元(SUM)、数字万用表、电容测量单元和脉冲发生器单元(测试模块包括但不限于以上测试单元)，所述开关矩阵上连接有弹簧针(pogo pin)测试导线。pin)测试导线。pin)测试导线。

【技术实现步骤摘要】
一种新的半导体参数测试硬件架构系统


[0001]本专利技术涉及一种新的半导体参数测试硬件架构系统，尤其涉及一种新的半导体参数测试硬件架构系统。

技术介绍

[0002]随着半导体制造技术的发展，半导体器件集成度不断提高。在晶圆级半导体参数测试领域，自动化测试机台的需求量在不断提高。传统半导体参数测试系统的开关矩阵为了实现半导体测试中需要的开尔文测试功能，对开关矩阵的需求比较大。以8个输入端口，24个输出端口为例如果需要实现Kelvin测试，传统的开关矩阵需求规模为8*48。如附图1所示。传统的这种测试系统，使用起来成本较高，不利于对企业的发展。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术中存在的某种或某些技术问题，本申请的目的之一在于提供一种新的半导体参数测试硬件架构系统，能够降低企业的使用成本。
[0004]为解决上述现有的技术问题，本申请的目的之一采用如下技术方案实现：
[0005]一种新的半导体参数测试硬件架构系统，其包括测试模块和开关矩阵，所述测试模块包括源测量单元(SUM)、数字万用表、电容测量单元和脉冲发生器单元(测试模块包括但不限于以上测试单元)，所述开关矩阵上连接有弹簧针(pogo pin)测试导线。
[0006]进一步地，将传统的单个开关矩阵，按照输入端口拆分为两个独立的开关矩阵，将接有弹簧针的测试导线的两根线分别接到两个开关矩阵的对应端口，将SUM的Force端接到第一个开关矩阵的输入端，将SMU的sense端接到第二个开关矩阵的输入端。
[0007]相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：
[0008]通过合理的开关矩阵的组合和新的导线结构，可以将传统半导体参数测试系统的开关矩阵规模减半，实现半导体测试中必须的开尔文测试功能，显著的降低测试系统的使用成本。
附图说明
[0009]图1为本申请中传统的开关矩阵系统；
[0010]图2为本申请中新的开关矩阵系统；
具体实施方式
[0011]下面，结合附图以及具体实施方式，对本申请做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
[0012]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是
指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0013]本申请中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种新的半导体参数测试硬件架构系统“或”的关系。
[0014]实施例1
[0015]如图1
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图2所示，一种新的半导体参数测试硬件架构系统，其包括测试模块和开关矩阵，所述测试模块包括源测量单元(SUM)、数字万用表、电容测量单元和脉冲发生器单元(测试模块包括但不限于以上测试单元)，所述开关矩阵上连接有弹簧针(pogo pin)测试导线。
[0016]将传统的单个开关矩阵，按照输入端口拆分为两个独立的开关矩阵，将接有弹簧针的测试导线的两根线分别接到两个开关矩阵的对应端口，将SUM的Force端接到第一个开关矩阵的输入端，将SMU的sense端接到第二个开关矩阵的输入端。SMU1 F代表SMU1的force端口，SMU1 S代表SMU1的sense端口。
[0017]综上所述，通过合理的开关矩阵的组合和新的导线结构，可以将传统半导体参数测试系统的开关矩阵规模减半，实现半导体测试中必须的开尔文测试功能，显著的降低测试系统的成本。
[0018]上述实施方式仅为本申请的优选实施方式，不能以此来限定本申请保护的范围，本领域的技术人员在本申请的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本申请所要求保护的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新的半导体参数测试硬件架构系统，其特征在于：包括测试模块和开关矩阵，所述测试模块包括源测量单元(SUM)、数字万用表、电容测量单元和脉冲发生器单元(测试模块包括但不限于以上测试单元)，所述开关矩阵上连接有弹簧针(pogo pin)测试导线。2.根据权利要求1所述的一种新...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯伟，
申请(专利权)人：海宁理万集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：