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本申请公开了一种新的半导体参数测试硬件架构系统，其包括测试模块和开关矩阵，所述测试模块包括源测量单元(SUM)、数字万用表、电容测量单元和脉冲发生器单元(测试模块包括但不限于以上测试单元)，所述开关矩阵上连接有弹簧针(pogo pin)测试...
该专利属于海宁理万集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海宁理万集成电路有限公司授权不得商用。

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