双面探针台制造技术

技术编号:40760717 阅读:18 留言:0更新日期:2024-03-25 20:12
本技术公开一种双面探针台,包括上探针、下探针,下探针位于上探针的下方,上探针安装在上层探针台面,所述上层探针台面安装于龙门机构上,所述下探针安装在下层探针台面;还包括镂空卡盘,镂空卡盘位于上层探针台面与下层探针台面之间;还包括显微镜,显微镜用于观察被测件与上探针、下探针之间的定位。本技术能够满足易用性、稳定性和可靠性的要求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子元器件检测领域,尤其涉及一种双面探针台


技术介绍

1、对微观器件(尺寸在微米至毫米量级)进行光信号或者电信号测试、验证时,需要精准的将探针(探头)对准微观器件的电极(或感光区域),然后加载电(或光)信号,以此来进行相关性能测试、验证。

2、对于复杂的被测件,如正面和背面均有需要测试的区域时,需要使用双面探针台来进行测试。


技术实现思路

1、为满足上述技术需要,本技术旨在提供一种双面探针台,该种双面探针台能够满足易用性、稳定性和可靠性的要求。

2、本技术采用的技术方案如下:

3、双面探针台,包括上探针、下探针,下探针位于上探针的下方,所述上探针安装在上层探针台面,所述上层探针台面安装于龙门机构上,所述下探针安装在下层探针台面;

4、本技术还包括镂空卡盘,所述镂空卡盘位于上层探针台面与下层探针台面之间;

5、本技术还包括显微镜,所述显微镜用于观察被测件与上探针、下探针之间的定位。

6、进一步的,所述上探针、下探针均配置有位置调本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.双面探针台,其特征在于:包括上探针、下探针,下探针位于上探针的下方,所述上探针安装在上层探针台面,所述上层探针台面安装于龙门机构上,所述下探针安装在下层探针台面;

2.根据权利要求1所述的双面探针台,其特征在于:所述上探针、下探针均配置有位置调节机构。

3.根据权利要求2所述的双面探针台,其特征在于:所述位置调节机构为精密探针定位器或射频探针座。

4.根据权利要求1所述的双面探针台,其特征在于:所述镂空卡盘安装在三相位移台上。

5.根据权利要求4所述的双面探针台,其特征在于:所述三相位移台安装在基座上,所述下层探针台面安装在基座上。...

【技术特征摘要】

1.双面探针台,其特征在于:包括上探针、下探针,下探针位于上探针的下方,所述上探针安装在上层探针台面,所述上层探针台面安装于龙门机构上,所述下探针安装在下层探针台面;

2.根据权利要求1所述的双面探针台,其特征在于:所述上探针、下探针均配置有位置调节机构。

3.根据权利要求2所述的双面探针台,其特征在于:所述位置调节机构为精密探针定位器或射频探针座。

4.根据权利要求1所述的双面探针台,其特征在于:所述镂空卡盘安装在三相位移台上。

5.根据权利要求4所述的双面探针台,其特征在于:所述三相位移台安装在基座上,所述下...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹让辉
申请(专利权)人:成都测芯科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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