光电探针台光纤耦合器制造技术

本技术公开一种光电探针台光纤耦合器，包括用于安装光纤的光纤头，光纤头通过依次连接的倾斜角度调节机构、旋转转动机构、Z轴调节机构、X轴调节机构、Y轴调节机构安装在光电探针台；倾斜角度调节机构用于调节光纤的角度，旋转转动机构用于调节光纤的朝向，Z轴调节机构、X轴调节机构、Y轴调节机构用于调节光纤的空间位置。本技术通过两个垂直可调的维度，和90度控制结构，能实现90度垂直照光，同时避免最小的视野遮挡。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子元器件检测领域，尤其涉及一种光电探针台光纤耦合器。

技术介绍

1、光电探针台用于半导体、集成电路、晶圆、mems等光电信号探测领域，在对微观器件（尺寸在微米至毫米量级）进行光信号或者电信号测试、验证时，需要在不同角度下，精准的将探针（探头）对准微观器件的电极（或感光区域），然后加载电（或光）信号，以此来进行相关性能测试、验证。

技术实现思路

1、为达到上述目的，本技术是针对90°垂直对准微观器件的电极（或感光区域）而研发的，通过调节结构理论上能实现绝对的垂直对准，实际使用也能达到近乎垂直的状态。

2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案如下：

3、光电探针台光纤耦合器，包括用于安装光纤的光纤头，所述光纤头通过依次连接的倾斜角度调节机构、旋转转动机构、z轴调节机构、x轴调节机构、y轴调节机构安装在光电探针台；

4、所述倾斜角度调节机构用于调节光纤的角度，所述旋转转动机构用于调节光纤的朝向，所述z轴调节机构、x轴调节机构、y轴调节机构用于调节光纤的空间位置。

5、进一步的，本技术还包括光纤弯曲关联结构，所述光纤弯曲关联结构连接光纤头，光纤弯曲关联结构为l形，光纤弯曲关联结构设有束缚细丝，所述束缚细丝用于束缚光纤，束缚细丝为刚性丝。

6、优选的，所述光纤头、光纤弯曲关联结构沿y轴方向布置。

7、优选的，所述z轴调节机构、x轴调节机构、y轴调节机构均为丝杆螺纹调节机构.

8、进一步优选的，所述丝杆螺纹调节机构设有调节旋钮。

9、优选的，所述倾斜角度调节机构包括活动部、固定部以及倾斜角度调节旋钮，所述光纤头、光纤弯曲关联结构均固连活动部，所述固定部固连旋转转动机构，所述活动部、固定部均设有配合部，所述配合部沿z轴方向倾斜，所述倾斜角度调节旋钮穿过固定部并抵住活动部，两个配合部通过倾斜角度调节旋钮调节其配合角度。

10、优选的，所述倾斜角度调节旋钮与固定部螺纹连接。

11、优选的，所述z轴调节机构的活动部件包括滑块，所述旋转转动机构与所述滑块转动连接，旋转转动机构沿z轴-x轴平面转动。

12、本技术的原理：x/y/z轴旋钮实现立体空间3维位移调节（x轴控制前后的位移；y轴控制左右的位移；z轴控制上下的位移）。

13、光纤通过束缚细丝的拉力作用，首先产生接近90度左右的弯曲形变，然后再通过旋转角度旋钮和倾斜角度旋钮的调节，控制光纤的水平旋转和前后倾斜角度，使得光纤竖立的角度产生变化，最终可以调节到90度垂直的状态。使用者可以根据自身需要进行调节以达到不同使用目的。

14、本技术的有益效果：

15、本技术通过两个垂直可调的维度，和90度控制结构，能实现90度垂直照光，同时避免最小的视野遮挡。

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【技术保护点】

1.光电探针台光纤耦合器，其特征在于：包括用于安装光纤的光纤头，所述光纤头通过依次连接的倾斜角度调节机构、旋转转动机构、Z轴调节机构、X轴调节机构、Y轴调节机构安装在光电探针台；

2.根据权利要求1所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：还包括光纤弯曲关联结构，所述光纤弯曲关联结构连接光纤头，光纤弯曲关联结构为L形，光纤弯曲关联结构设有束缚细丝，所述束缚细丝用于束缚光纤，束缚细丝为刚性丝。

3.根据权利要求2所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：所述光纤头、光纤弯曲关联结构沿Y轴方向布置。

4.根据权利要求1或2所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：所述Z轴调节机构、X轴调节机构、Y轴调节机构均为丝杆螺纹调节机构。

5.根据权利要求4所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：所述丝杆螺纹调节机构设有调节旋钮。

6.根据权利要求2或3所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：所述倾斜角度调节机构包括活动部、固定部以及倾斜角度调节旋钮，所述光纤头、光纤弯曲关联结构均固连活动部，所述固定部固连旋转转动机构，所述活动部、固定部均设有配合部，所述配合部沿Z轴方向倾斜，所述倾斜角度调节旋钮穿过固定部并抵住活动部，两个配合部通过倾斜角度调节旋钮调节其配合角度。

7.根据权利要求6所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：所述倾斜角度调节旋钮与固定部螺纹连接。

8.根据权利要求1或2所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：所述Z轴调节机构的活动部件包括滑块，所述旋转转动机构与所述滑块转动连接，旋转转动机构沿Z轴-X轴平面转动。

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【技术特征摘要】

1.光电探针台光纤耦合器，其特征在于：包括用于安装光纤的光纤头，所述光纤头通过依次连接的倾斜角度调节机构、旋转转动机构、z轴调节机构、x轴调节机构、y轴调节机构安装在光电探针台；

2.根据权利要求1所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：还包括光纤弯曲关联结构，所述光纤弯曲关联结构连接光纤头，光纤弯曲关联结构为l形，光纤弯曲关联结构设有束缚细丝，所述束缚细丝用于束缚光纤，束缚细丝为刚性丝。

3.根据权利要求2所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：所述光纤头、光纤弯曲关联结构沿y轴方向布置。

4.根据权利要求1或2所述的光电探针台光纤耦合器，其特征在于：所述z轴调节机构、x轴调节机构、y轴调节机构均为丝杆螺纹调节机构。

5.根据权利要求4所述的光电探针...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹让辉，
申请(专利权)人：成都测芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：