灯单元及光传感器制造技术

本发明专利技术的课题在于提供光传感器及具备此光传感器的灯单元，以简单的构造，可防止因不期望的负荷所致的准分子灯的破损，并且可抑制因氧浓度变动的大气的对流所引起的测定值变动。用以解决课题的手段为，一种灯单元，包括：用来放射紫外线的准分子灯、接收紫外线的光传感器、及至少收容保持光传感器的框体，其特征为：光传感器具有检测可见光的光检测体、附设于光检测体的筒状的保持体，能够移动地保持于保持体内并且以可抵接于准分子灯的方式被设置的筒状或柱状的可动体，来自于准分子灯的供紫外线透过的透过构件、与将透过透过构件的紫外线变换成可见光的变换构件设置成，受到该光检测体、该保持体、该可动体所包围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及灯单元及光传感器，特别涉及不会受到因紫外线被照射到 于大气所引起的氧浓度变动的影响，能够检测紫外线的光传感器及具备该 光传感器的灯单元。
技术介绍
在半导体基板、液晶基板等的制造工序中，使用灯单元，该灯单元具 备准分子灯，该准分子灯以基板的洗净为目的而照射真空紫外线。以往，在这种灯单元中，在成为框体的开口部的半导体基板、液晶基 板等被照射物与准分子灯之间，设置有由石英玻璃所构成的窗。但是，由 于由石英玻璃所构成的窗价格昂贵，所以在近年的灯单元中，如专利文献l 所记载，除去由石英玻璃所构成的窗，采用使被照射物与准分子灯接近的 构造。另外，准分子灯，因伴随其使用而老化，所照射的真空紫外线的强度 逐渐降低。当所照射的真空紫外线的强度降低时，用来洗净被照射物的表 面的能力也降低。因此，随时检测来自于准分子灯的真空紫外线的强度， 进行反馈以提高灯输入，使强度不会降低至规定值以下，在强度不能成为 规定值以上的情况下，需要更换准分子灯。在专利文献1中，记载了设有 检测来自于准分子灯的真空紫外线的强度的光传感器。图14是表示专利文献1所记载的灯单元200的概略结构的剖面图，该 灯单元20沿着相对于准分子灯201的长度方向的垂直方向，图15是表示 图14所示的准分子灯201的结构的斜视图。如图15所示，具备长方体的放电容器202的准分子灯201，相对于长 度方向的垂直方向的剖面为长方形，在放电容器202的上下两表面，以沿 着放电容器202的长度方向延伸的方式分别设有外部电极203， 204。设置 于上表面的一方的外部电极203构成为板状，设置于下表面的另一方的外 部电极204构成为网状。并且，在放电容器202的上表面设有开口部206，该开口部206是与后述的光传感器205相对向并且构成为板状的外部电极 203的一部分被切削所形成的。如图14所示，准分子灯201是以构成为网状的另一方的外部电极204 与被照射物W相对向的方式，在灯单元200的框体207的内部设置了多支， 如图所示为3支。框体207构成为一面呈开口的箱状，在与该开口面平行 的方向，搬送被照射物W。在框体207的与前述开口面相对向的面上，设 有贯通孔208，该贯通孔208导出导入光传感器205，该光传感器205用来 测定来自于准分子灯201的真空紫外线。因为该贯通孔208导出导入光传 感器205，所以，该贯通孔208被设置于与准分子灯201的开口部206相对 向的位置。在由框体207的贯通孔208导出导入的光传感器205中，设有萤光体 209和光检测元件210，该荧光体209被准分子灯201照射真空紫外线，该 光检测元件210检测由萤光体209变换的可见光。当检测来自于准分子灯 201的真空紫外线时，光传感器205被汽缸211从框体207的贯通孔208导 入至框体207的内部，朝准分子灯201的开口部206以一定量移动并接近。 接近开口部206的光传感器205由萤光体209将真空紫外线变换成可见光， 由光检测元件2 0来检测可见光。当检测结束时，光传感器205由汽缸211， 再次通过贯通孔208而被导出至框体207的外部。此光传感器205的导出 导入是由连接于光传感器205的汽缸211来进行。专利文献1:日本特开2004—97986公报但是，因此灯单元200，由于框体207的一面呈开口，所以，框体207 的内部会成为大气状态。因此，当准分子灯201点灯时，由准分子灯201 所照射的真空紫外线会与大气中的氧产生反应，因此，大气中氧浓度会变 动。另一方面，伴随利用未图示的搬送机构来搬送被照射物w，框体207 的内部会产生氧浓度变动了的大气对流C。因此，由于该对流C，造成光传 感器205与准分子灯201之间的氧浓度变动，使得由准分子灯201所放射 的真空紫外线的氧的吸收量产生变动，由光传感器205所检测的真空紫外 线的强度产生变动。如此，在框体207的一面呈开口的灯单元200中，通过搬送被照射物 W，无法使框体207的内部的氧浓度成为均等，在准分子灯201与接近此准分子灯的光传感器205之间的氧浓度、和准分子灯201与被照射物W之 间的氧浓度变成不同。因此，当根据由光传感器205所检测到的真空紫外 线的强度，控制准分子灯201的输入时，会有对被照射物w照射规定值以 上的真空紫外线的情况，也会有照射规定值以下的真空紫外线的情况，这 样就无法对被照射物w照射均等的真空紫外线。为了防止因氧浓度变动的大气对流所引起的准分子灯201与光传感器 205之间的氧浓度产生变动，可考虑使准分子灯201与光传感器205抵接。 但是，因为准分子灯201的放电容器202由石英玻璃形成，所以，当来自 于外部之按压力大时，会有破损的可能性，为了抵接光传感器205,必须使 来自于汽缸211的按压力变小。然而，在所制造的准分子灯201上会有制 造上的偏差，由准分子灯201到光传感器205的距离并非一定，无法决定 利用汽缸211的光传感器205的移动量L3。因此，必须考虑另外设置用来 检测光传感器205抵接于准分子灯201的例如CCD照相机来控制汽缸211， 但即使如此，会产生灯单元200复杂化、高成本化的问题。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题点而开发完成，其目的在于提供一种光传感器及 具备该光传感器的灯单元，该光传感器及具备该光传感器的灯单元以简单 的构造，可防止因不期望的负荷所导致的准分子灯的破损，并且能够抑制 因氧浓度产生变动的大气对流所导致的紫外线的测定值变动。本专利技术为了解决上述课题，采用以下技术方案。技术方案l， 一种灯单 元，由用来放射紫外线的准分子灯、接收前述紫外线的光传感器及至少收容保持该光传感器的框体所构成，该灯单元特征在于前述光传感器具备检测可见光的光检测体；附设于该光检测体的筒状的 保持体；及可动体，该可动体能够移动地保持于该保持体上，并且可与前 述准分子灯抵接地被设置成筒状或柱状，使透过构件与变换构件被设置成 被该光检测体、该保持体、该可动体所包围。该透过构件使来自于前述准 分子灯的紫外线透过，该变换构件将透过该透过构件的紫外线变换成可见 光。技术方案2是如技术方案1所述的灯单元，其特征在于，将前述透过 构件与前述变换构件设置于该可动体的抵接前述准分子灯的一侧。技术方案3是如技术方案1或技术方案2所述的灯单元，其特征在于， 使用兼具前述透过构件与前述变换构件的两功能之构件，来代替前述透过 构件与前述变换构件。技术方案4是如技术方案1-3中的任一技术方案的灯单元，其特征在于， 前述可动体的抵接于前述准分子灯的抵接面形成为，吻合前述准分子灯的 抵接于前述可动体的位置的外面形状。技术方案5是如技术方案1-4中的任一技术方案的灯单元，其特征在于， 前述框体具备框体盖构件，该框体盖构件封住除了使前述保持体贯通的贯 通孔外的前述框体，前述光检测体由光检测元件与处理该光检测元件的受 光信号的电气安装体所构成，在前述光检测体与前述保持体之间设有第1 密封体，在前述保持体与前述框体盖构件之间设有第2密封体。技术方案6是如技术方案1-5中的任一技术方案的灯单元,其特征在于， 前述可动体被设置为在前述保持体上可滑动。技术方案7是如技术方案l-6中的任一技术方案的灯单元，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种灯单元，包括：用来放射紫外线的准分子灯、接收前述紫外线的光传感器及至少收容保持该光传感器的框体，其特征在于，　前述光传感器具有：　光检测体，检测可见光；　保持体，呈筒状，附设于该光检测体；及　可动体，呈筒状或柱状 ，能够移动地保持于该保持体上，并且被设置成可与前述准分子灯抵接，　透过构件与变换构件被设置成被该光检测体、该保持体、该可动体所包围，前述透过构件使来自于前述准分子灯的紫外线透过，前述变换构件将透过该透过构件的紫外线变换成可见光。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：菅敏幸，远藤真一，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]