一种单组分靶材绑定铜胶及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种单组分靶材绑定铜胶及其制备方法，属于靶材绑定技术领域。该方法为在改性溶液中加入环氧室温固化剂和氢化蓖麻油，搅拌至完全溶清，得到改性固化剂溶液；在所述改性固化剂溶液中加入环氧树脂、导电填料和偶联剂，分散消泡后，即得。所得靶材绑定铜胶为单组份靶材绑定铜胶，避免了流胶现象，无须引入银粉或者银包铜粉作为导电导热填料，大大降低了成本。了成本。了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种单组分靶材绑定铜胶及其制备方法


[0001]本专利技术属于靶材绑定
，尤其涉及一种单组分靶材绑定铜胶及其制备方法。

技术介绍

[0002]靶材绑定是把靶材和背板绑定在一起的一项技术，靶材与背板绑定的完整性和结合率可以决定靶材的性能和成本，因此对靶材绑定的要求相对较高。采用绑定胶绑定靶材是一种成本相对较低的技术，该方法是用特殊的导热和导电的粘接剂将靶材绑定到背板上。
[0003]目前大多数靶材绑定胶在密闭环境下容易出现流胶现象，同时作为双组分胶，虽然具有保存时间长的优点，但是绑定过程操作繁琐，对双组分的配比要求也比较严格。此外，目前大多数绑定胶采用银粉或者镀银铜粉作为导电填料，成本较高，不利于靶材的成本控制。
[0004]因此有必要对现有技术作出改进，以解决现有技术中存在的缺陷。
[0005]有鉴于此，特提出本专利技术。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种单组分靶材绑定铜胶及其制备方法，实现了单一组分做绑定胶并且避免了流胶现象，无须引入银粉或者银包铜粉作为导电导热填料，大大降低了成本。
[0007]为实现以上目的，本申请采用以下技术方案：
[0008]一种单组分靶材绑定铜胶的制备方法，在改性溶液中加入环氧室温固化剂和氢化蓖麻油，搅拌至完全溶清，得到改性固化剂溶液；在所述改性固化剂溶液中加入环氧树脂、导电填料和偶联剂，分散消泡后，即得。
[0009]进一步地，按照重量份，所述改性溶液、环氧室温固化剂、氢化蓖麻油、环氧树脂、导电填料和偶联剂分别为11～15份、0.3～0.6份、0.8～1.2份、8～12份、72～75份和0.3～0.6份。
[0010]加入所述环氧室温固化剂和氢化蓖麻油的组合，经改性溶液改性后，绑定胶变为溶剂挥发凝固型胶，固化剂中有溶剂存在时不会固化，即在绑定之前不会固化，待溶剂逐渐挥发后，绑定胶会缓慢固化，24小时后实现完全固化，实现了绑定胶做成单一组分的目的。
[0011]优选地，在加入环氧树脂、导电填料和偶联剂时，还同时加入金属表面钝化剂；进一步地，所述金属表面钝化剂按照重量份为0.3～2.2份。
[0012]优选地，所述金属表面钝化剂可以包括重铬酸铵。因为加入金属表面钝化剂，尤其是重铬酸铵，其在180℃时可以分解为Cr2O3和N2，其中氮气可以在胶表面形成氮气保护层，氧化铬可以在铜表面形成一层钝化保护膜，阻止铜与空气直接接触而氧化，足以在靶材工作温度250℃左右发挥钝化作用，进一步形成保护，继而绑定胶无需引入银粉或者银包铜粉
作为导电导热填料，还大大降低了成本。
[0013]优选地，在加入环氧树脂、导电填料和偶联剂时，还同时加入供氧剂；进一步地，所述供氧剂按照重量份为0.3～0.6份。
[0014]优选地，所述供氧剂包括硝酸铜、硝酸银或氧化银中的一种或几种。引入供氧剂，供氧剂受热分解生成金属和氧气，氧气可以为在密闭环境中的固化过程供氧，避免了绑定过程中出现的流胶现象。同时，金属可以增强绑定胶的导电性，形成双重增益的效果。
[0015]进一步地，所述改性溶液包括丁基缩水甘油醚和丁酮的混合溶液。
[0016]优选地，按照重量份，所述丁基缩水甘油醚和丁酮分别为3～5份和8～10份。
[0017]进一步地，所述环氧室温固化剂包括乙二胺、二乙烯三胺或三乙烯四胺中的一种或几种。
[0018]优选地，所述环氧树脂包括双酚A型环氧树脂E
‑
51、双酚A型环氧树脂E
‑
44或双酚F型环氧树脂F
‑
170中的一种。
[0019]优选地，所述导电填料包括球形铜粉。
[0020]本专利技术还提供一种以所述的制备方法制得的单组分靶材绑定铜胶。
[0021]相比现有技术，本申请通过环氧室温固化剂和氢化蓖麻油作为固化剂组合，经过改性，实现了绑定胶做成单一组分；同时引入供氧剂和钝化剂，避免了流胶现象，降低了成本。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对本申请范围的限定。
[0023]图1为本专利技术实施例1的单组分靶材绑定铜胶SEM图。
[0024]图2为本专利技术实施例1的单组分靶材绑定铜胶的实物图。
具体实施方式
[0025]下面将结合具体实施例对本申请的实施方案进行详细描述，但是本领域技术人员将会理解，下列实施例仅用于说明本申请，而不应视为限制本申请的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0026]实施例1
[0027]一种单组分靶材绑定铜胶的制备方法：
[0028](1)按照重量份，称取4份丁基缩水甘油醚和9份丁酮混合均匀，然后加入1份氢化蓖麻油CO
‑
40和0.5份乙二胺，在2000转/分钟的搅拌速度下，搅拌至完全溶清，得到改性固化剂溶液。
[0029](2)按照重量份，在步骤(1)的改性固化剂溶液中加入10份双酚A型环氧树脂E
‑
51、74份球形铜粉导电填料、0.5份硅烷偶联剂KH560、0.5份硝酸铜和0.5份重铬酸铵，经过离心机分散消泡后，得到单组分靶材绑定铜胶，其微观形貌见图1所示，单组分靶材绑定铜胶的实物图如图2所示。
[0030]实施例2
[0031]一种单组分靶材绑定铜胶的制备方法：
[0032](1)按照重量份，称取4份丁基缩水甘油醚和9份丁酮混合均匀，然后加入1份氢化蓖麻油CO
‑
40和0.5份二乙烯三胺，在2000转/分钟的搅拌速度下，搅拌至完全溶清，得到改性固化剂溶液。
[0033](2)按照重量份，在步骤(1)的改性固化剂溶液中加入10份双酚A型环氧树脂E
‑
44、74份球形铜粉导电填料、0.5份硅烷偶联剂KH560、0.5份硝酸银和0.5份重铬酸铵，经过离心机分散消泡后，得到单组分靶材绑定铜胶。
[0034]实施例3
[0035]一种单组分靶材绑定铜胶的制备方法：
[0036](1)按照重量份，称取4份丁基缩水甘油醚和9份丁酮混合均匀，然后加入1份氢化蓖麻油CO
‑
40和0.5份三乙烯四胺，在2000转/分钟的搅拌速度下，搅拌至完全溶清，得到改性固化剂溶液。
[0037](2)按照重量份，在步骤(1)的改性固化剂溶液中加入10份双酚F型环氧树脂F
‑
170、74份球形铜粉导电填料、0.5份硅烷偶联剂KH560、0.5份氧化银和0.5份重铬酸铵，经过离心机分散消泡后，得到单组分靶材绑定铜胶。
[0038]实施例4
[0039]一种单组分靶材绑定铜胶的制备方法：
[0040](1)按照重量份，称取4份丁基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单组分靶材绑定铜胶的制备方法，其特征在于，在改性溶液中加入环氧室温固化剂和氢化蓖麻油，搅拌至完全溶清，得到改性固化剂溶液；在所述改性固化剂溶液中加入环氧树脂、导电填料和偶联剂，分散消泡后，即得。2.根据权利要求1所述的单组分靶材绑定铜胶的制备方法，其特征在于，按照重量份，所述改性溶液、环氧室温固化剂、氢化蓖麻油、环氧树脂、导电填料和偶联剂分别为11～15份、0.3～0.6份、0.8～1.2份、8～12份、72～75份和0.3～0.6份。3.根据权利要求2所述的单组分靶材绑定铜胶的制备方法，其特征在于，在加入环氧树脂、导电填料和偶联剂时，还同时加入金属表面钝化剂；所述金属表面钝化剂按照重量份为0.3～2.2份。4.根据权利要求3所述的单组分靶材绑定铜胶的制备方法，其特征在于，所述金属表面钝化剂包括重铬酸铵。5.根据权利要求2所述的单组分靶材绑定铜胶的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙立志，周贤界，卢晓鹏，徐红星，谢黎，黄勇彪，
申请(专利权)人：深圳众诚达应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：