一种低氧含量合金靶材及其制备方法技术

技术编号:41425752 阅读:38 留言:0更新日期:2024-05-28 20:24
本发明专利技术涉及合金靶材技术领域,提供了一种低氧含量合金靶材及其制备方法,包括:制备合金粉体;将合金粉体和粘结剂进行混合均匀,形成混合料;将混合料置于模具中进行温等静压成型,形成素坯;将素坯进行催化脱脂处理,形成预制体;将预制体进行真空烧结,得到低氧含量合金靶材。本发明专利技术提供的低氧含量合金靶材的制备方法,通过将合金粉体和粘结剂的混合料进行温等静压形成素坯,再将素坯进行催化处理,使素坯中的粘结剂裂解脱除,避免采用高温脱脂导致金属元素被氧化,可得到低氧含量的预制体,最后对低氧含量的预制体进行真空烧结,不仅可形成低氧含量的合金靶材,而且可减少气孔的形成,提升靶材成品的致密度和导电性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于合金靶材,尤其涉及一种低氧含量合金靶材及其制备方法


技术介绍

1、对靶材来说,靶材的纯度和密度对靶材镀膜性能影响非常关键。靶材纯度会直接影响镀膜的均匀性和稳定性,以及溅射过程中靶表面的中毒程度,从而影响靶材的使用寿命。高纯合金靶材除了对阳离子杂质元素含量有要求外,还对c、n、o、s等元素含量有要求。氧元素作为常见的杂质元素,它会影响到合金靶材的性能和品质。采用粉末冶金制备合金靶材的过程中,尤其是成型过程中会带入氧化物质,使得合金靶材中的氧含量超标。目前常用于控制合金含氧量的方法主要有两种,一种是选用超低氧含量的高纯度的原材料,另一种是在制造过程中添加特定的合金元素来吸收氧元素。然而,选用超低氧含量的高纯度原材料只能在原料环节有保障,但在制造环节依然会存在氧的引入。通过添加特定的合金元素来吸收氧元素,则这些元素会导致杂质形成。因此,如何在制造环节控制合金靶材的低氧含量显得非常关键。

2、素坯的性能直接影响最终产品的性能,故粉末冶金制造合金靶材时,为了实现良好的成型,辅助金属粉末填充模具,成型出高密度、均匀、高强度的素坯,通常需要在本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种低氧含量合金靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,将所述合金粉体和粘结剂进行混合均匀的步骤包括:将所述合金粉体和所述粘结剂置于真空或惰性气氛下,先进行低速搅拌处理,然后开始升温至目标温度,且当升温至预设温度时转为高速剪切处理,最后从所述目标温度开始降温,当降温至所述预设温度时转为低速搅拌处理,直到降温至30℃以下时停止搅拌,得到混合料。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,将所述素坯进行催化脱脂处理的步骤包括:将所述素坯在惰性气氛下加热至100~150℃,然后通入酸,对所述素坯中的粘结剂进行裂解...

【技术特征摘要】

1.一种低氧含量合金靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,将所述合金粉体和粘结剂进行混合均匀的步骤包括:将所述合金粉体和所述粘结剂置于真空或惰性气氛下,先进行低速搅拌处理,然后开始升温至目标温度,且当升温至预设温度时转为高速剪切处理,最后从所述目标温度开始降温,当降温至所述预设温度时转为低速搅拌处理,直到降温至30℃以下时停止搅拌,得到混合料。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,将所述素坯进行催化脱脂处理的步骤包括:将所述素坯在惰性气氛下加热至100~150℃,然后通入酸,对所述素坯中的粘结剂进行裂解脱除;其中,所述酸为硝酸或草酸。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述酸的流量为1.0~5.0g/min;

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【专利技术属性】
技术研发人员:周贤界侯宇航关泽汉卢晓鹏黄勇彪
申请(专利权)人:深圳众诚达应用材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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