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本发明涉及合金靶材技术领域，提供了一种低氧含量合金靶材及其制备方法，包括：制备合金粉体；将合金粉体和粘结剂进行混合均匀，形成混合料；将混合料置于模具中进行温等静压成型，形成素坯；将素坯进行催化脱脂处理，形成预制体；将预制体进行真空烧结，得到...
该专利属于深圳众诚达应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳众诚达应用材料股份有限公司授权不得商用。

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