一种线性蒸发源及其使用方法技术

本申请提供了一种线性蒸发源及其使用方法，所述线性蒸发源包括：第一本体和第二本体，以及位于第一本体和第二本体之间的真空阀，第一本体和第二本体通过连接装置连接；第一本体的外壁、第二本体的外壁分别环绕设置第一加热装置、第二加热装置；第一本体的顶部包含至少一个喷嘴；真空阀的开关通过PLC控制模块控制；真空阀关闭后，第二本体可拆卸。采用本申请提供的线性蒸发源，能够实现可持续性的进行蒸镀工艺，大大提高蒸镀效率，实现长时间蒸镀的效果，并保证了蒸镀工艺稳定性，进而提高了产品良率和产率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及蒸镀设备，特别是涉及一种线性蒸发源及其使用方法。

技术介绍

1、现有的线性蒸发源，通过一次投料，蒸镀到材料接近完毕后工艺结束，因为中间填料困难，所以开腔体破真空的间隔时间即为一次投料时间，而破真空后需要进行设备保养及再次抽真空才可以进行正常工作，极大地影响了蒸镀效率，并会影响蒸镀工艺的稳定性。因此，如何提高线性蒸发源的蒸镀效率，并保证蒸镀工艺的稳定性，是现有的线性蒸发源的蒸镀工艺中一个亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种线性蒸发源及其使用方法，以提高蒸镀工艺的稳定性和蒸镀的效率。具体技术方案如下：

2、本申请第一方面提供了一种线性蒸发源，其中，所述线性蒸发源包括：

3、第一本体和第二本体，以及位于第一本体和第二本体之间的真空阀，所述第一本体和所述第二本体通过连接装置连接；

4、所述第一本体的外壁、所述第二本体的外壁分别环绕设置第一加热装置、第二加热装置；

5、所述第一本体的顶部包含至少一个喷嘴；所述真空阀的开关通过可编程逻辑控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种线性蒸发源，其中，所述线性蒸发源包括：

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其中，所述真空阀的长度小于第一本体、第二本体的外壁长度，大于等于第一本体、第二本体的内壁长度；所述真空阀的宽度小于第一本体、第二本体的外壁宽度，大于等于第一本体、第二本体的内壁宽度。

3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其中，所述真空阀为挡板阀；所述挡板阀沿长度方向或宽度方向向一侧打开。

4.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其中，所述连接装置选自卡箍连接、螺纹连接、法兰螺栓连接或卡扣连接。

5.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其中，所述第一加热装置、所述第二...

【技术特征摘要】

1.一种线性蒸发源，其中，所述线性蒸发源包括：

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其中，所述真空阀的长度小于第一本体、第二本体的外壁长度，大于等于第一本体、第二本体的内壁长度；所述真空阀的宽度小于第一本体、第二本体的外壁宽度，大于等于第一本体、第二本体的内壁宽度。

3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其中，所述真空阀为挡板阀；所述挡板阀沿长度方向或宽度方向向一侧打开。

4.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其中，所述连接装置选自卡箍连接、螺纹连接、法兰螺栓...

【专利技术属性】
技术研发人员：虞旺，马晨，
申请(专利权)人：大正江苏微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：