下载一种线性蒸发源及其使用方法的技术资料

文档序号:41424906

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本申请提供了一种线性蒸发源及其使用方法,所述线性蒸发源包括:第一本体和第二本体,以及位于第一本体和第二本体之间的真空阀,第一本体和第二本体通过连接装置连接;第一本体的外壁、第二本体的外壁分别环绕设置第一加热装置、第二加热装置;第一本体的顶部...
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