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本申请提供了一种线性蒸发源及其使用方法,所述线性蒸发源包括:第一本体和第二本体,以及位于第一本体和第二本体之间的真空阀,第一本体和第二本体通过连接装置连接;第一本体的外壁、第二本体的外壁分别环绕设置第一加热装置、第二加热装置;第一本体的顶部...该专利属于大正(江苏)微纳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大正(江苏)微纳科技有限公司授权不得商用。
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本申请提供了一种线性蒸发源及其使用方法,所述线性蒸发源包括:第一本体和第二本体,以及位于第一本体和第二本体之间的真空阀,第一本体和第二本体通过连接装置连接;第一本体的外壁、第二本体的外壁分别环绕设置第一加热装置、第二加热装置;第一本体的顶部...