【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空蒸镀装置，特别涉及一种多蒸发源间隔蒸镀装置及镀膜方法。
技术介绍
1、oled显示器相较于lcd显示器具有很多优势，例如色彩再现好、响应时间短、低温特性好，且厚度可以做到更薄、重量更轻、柔性好，因此，手机、手表等显示器已普遍使用了oled显示屏。oled显示屏的有机膜层镀膜大都采用线性蒸发源，蒸镀时，线性蒸发源沿线性垂直方向扫描基板来完成基板的全面蒸镀，然而当需要蒸镀的膜层较厚时，则需要往复扫描来达到所需蒸镀膜厚的要求，导致镀膜的时间较长，使得生产节拍受到影响，降低生产效率；此外，为了提供线性蒸发源往复运动机构和供给装置的空间，这种蒸镀设备还要求蒸镀腔的内部空间较大，蒸镀腔内空间利用率不高。
2、可见，现有技术还有待改进和提高。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术的不足之处，本专利技术的目的在于提供一种多蒸发源间隔蒸镀装置及镀膜方法，旨在提高真空蒸镀的效率。
2、为了达到上述目的，本专利技术采取了以下技术方案：
3、一种多蒸发源间隔蒸镀...
【技术保护点】
1.一种多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，所述驱动机构通过设置的连接件与多个所述线性蒸发源传动连接，用于驱动多个所述线性蒸发源在相邻的两个遮蔽部之间往复运动，以使线性蒸发源与开口部相对或与遮蔽部相对。
3.根据权利要求1所述的多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，所述驱动机构设有多个，其数量与线性蒸发源的数量相等，并分别一一对应的与线性蒸发源传动连接；所述线性蒸发源的下方设有轨道，多个所述驱动机构与轨道滑动连接，用于使线性蒸发源沿滑轨在相邻的两个遮蔽部之间往复运动。
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【技术特征摘要】
1.一种多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，所述驱动机构通过设置的连接件与多个所述线性蒸发源传动连接，用于驱动多个所述线性蒸发源在相邻的两个遮蔽部之间往复运动，以使线性蒸发源与开口部相对或与遮蔽部相对。
3.根据权利要求1所述的多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，所述驱动机构设有多个，其数量与线性蒸发源的数量相等，并分别一一对应的与线性蒸发源传动连接；所述线性蒸发源的下方设有轨道，多个所述驱动机构与轨道滑动连接，用于使线性蒸发源沿滑轨在相邻的两个遮蔽部之间往复运动。
4.根据权利要求1所述的多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，所述驱动机构与掩膜板和基板的组合传动连接，用于使线性蒸发源与开口部相对或与遮蔽部相对。
5.根据权利要求1所述的多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，还包括快门，所述快门设置于线性蒸发源与掩膜板之间，其设有通孔和遮挡部；所述快门与驱动机构传动连接，用于遮蔽开口部或开放开口部。
6.根据权利要求1所述的多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，还包括多个并列设置的快门，多个所述快门设置于掩膜板与线性蒸发源之间；所述驱动机构设有多个，多个所述驱动机构分别与多个所述快门一一传动连接；多个所述快门用于遮...
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