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一种多蒸发源间隔蒸镀装置及镀膜方法制造方法及图纸
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文档序号:41423213
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本发明公开了一种多蒸发源间隔蒸镀装置及镀膜方法,涉及真空蒸镀装置技术领域,包括:线性蒸发源:其并列设有多个,该线性蒸发源可喷出蒸气,用于对基板进行蒸镀;掩膜板:其位于基板下方,并设有相互间隔设置的多个遮蔽部和多个开口部;驱动机构:其用于驱动...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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