一种ZTO靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种ZTO靶材及其制备方法，属于镀膜材料技术领域。该制备方法为将ZnO粉末和SnO2粉末分别球磨形成各自的浆料；将两种浆料混合，加入去离子水、分散剂和粘结剂，二次球磨混料后，喷雾干燥得到混合造粒粉，进行冷等静压，获得素坯；在真空条件下对素坯进行热压烧结，随炉冷却至室温，获得氧化锌锡靶材半成品；对氧化锌锡靶材半成品进行后处理得到靶材成品。本发明专利技术通过用不同的球磨处理得到适当粒径的ZnO和SnO2粉末，同时选择合适的分散剂和粘结剂，分别对两种粉末颗粒进行塑性包裹、表面改性，结合三段热压烧结工艺，得到气孔少、内部组织晶粒均匀细、纯度和致密度高、不容易开裂且机加工性能优良的氧化锌锡陶瓷靶材。开裂且机加工性能优良的氧化锌锡陶瓷靶材。开裂且机加工性能优良的氧化锌锡陶瓷靶材。

【技术实现步骤摘要】
一种ZTO靶材及其制备方法


[0001]本专利技术属于镀膜材料
，尤其涉及一种ZTO靶材及其制备方法。

技术介绍

[0002]氧化锌锡薄膜主要由氧化锌(ZnO)和氧化锡(SnO2)组成，氧化锌锡薄膜具有高透过率、低电阻率、良好的机械性能和稳定性，可以广泛应用于太阳能电池、平板显示器、触摸屏、LED等领域。氧化锌锡靶材可以通过控制氧化锌和氧化锡比例来调节薄膜的物化性质，具有更好的材料灵活性和优异的性能表现。在low
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E玻璃的制备中，通常将ZTO薄膜与其他薄膜材料共同利用物理气相沉积(PVD)方法复合在玻璃表面形成红外反射功能层，使其对远红外辐射具有高反射率，对可见光区具有高透射比以及适中的反射比，从而能够有效减少热量在建筑物内部的辐射，同时保持良好的可见光透过率，使其成为现代建筑中节能玻璃的重要组成部分。
[0003]传统的氧化锌锡薄膜是通过锌锡合金靶在氩气、氧气氛围中镀制。为获得化学计量比的氧化锌锡薄膜，在实际的工艺控制中，氧气的流量控制存在一定的难度。CN104087906A公开一种氧化锌锡靶材的制备方法，主要方法：球磨
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制浆
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喷雾造粒
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脱脂
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在1250～1600℃下常压烧结形成氧化锌锡陶瓷靶，该工艺一定程度上解决了传统方法中存在的问题，但上述方法依然存在制备工艺耗时长，烧结密度不稳定，难以形成高致密度、晶粒细小的氧化锌锡陶瓷靶材的问题。
[0004]有鉴于此，特提出本专利技术。
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技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种ZTO靶材及其制备方法，通过用不同的球磨处理得到适当粒径的ZnO和SnO2粉末，同时选择合适的分散剂和粘结剂，分别对两种粉末颗粒进行塑性包裹、表面改性，结合三段热压烧结工艺，得到内部组织晶粒均匀且细小、纯度高、致密度高、内部缺陷少、不容易开裂且机加工性能优良的氧化锌锡陶瓷靶材。
[0006]为实现以上目的，本专利技术采用以下具体技术方案：
[0007]一种ZTO靶材的制备方法，包括如下步骤：
[0008]S1：将ZnO粉末和SnO2粉末分别加入去离子水进行球磨，形成ZnO浆料和SnO2浆料。
[0009]进一步地，所述ZnO粉末和SnO2粉末按照Zn:Sn的原子比为2:1，所述ZnO粉末和SnO2粉末的纯度不低于99.99％。
[0010]进一步地，所述对ZnO粉末的球磨的时间为6～12h；对SnO2粉末的球磨的时间为18～25h。
[0011]优选地，球磨后的所述ZnO浆料中固体颗粒物的粒径为0.5μm～1.0μm；球磨后的所述SnO2浆料中固体颗粒物的粒径为≤0.2μm。
[0012]S2：将所述ZnO浆料和SnO2浆料混合，加入去离子水、分散剂和粘结剂，二次球磨混料后，喷雾干燥得到混合造粒粉。
[0013]优选地，所述分散剂包括聚乙烯醇、甲基丙烯酰胺
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聚乙二醇二甲基丙烯酸或聚乙二醇中的一种或多种的混合物；所述粘结剂包括羟甲基纤维素、聚乙烯醇、聚丙烯酸胺、淀粉、麦芽糊精、环氧树脂或聚丙烯酸脂中的一种或多种的混合物。
[0014]进一步地，所述分散剂占所述ZnO粉末和SnO2粉末的总质量的0.3～1.0％，所述粘结剂占所述ZnO粉末和SnO2粉末的总质量的0.6～1.5％。无论选择何种所述的分散剂和粘结剂，与试剂无关的杂质含量应小于0.001％，以获得高纯度的氧化锌锡靶材。
[0015]优选地，所述二次球磨的时间为5～10h。
[0016]优选地，所述混合造粒粉的粒径为10～20μm。
[0017]S3：将所述混合造粒粉进行冷等静压，获得素坯。
[0018]优选地，所述冷等静压的压力为180～220MPa。
[0019]S4：在真空条件下对所述素坯进行热压烧结，随炉冷却至室温，获得氧化锌锡靶材半成品。
[0020]优选地，所述热压烧结为：以1.5
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3℃/min迅速升至500～600℃，保温3
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5h；以1
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2℃/min升至800～900℃，保温1
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3h；以0.5
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2℃/min升至1200～1300℃后开始加压，待压力达到20
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25MPa后维持该温度和压力1
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3h；待保温保压结束后逐渐卸去压力。
[0021]S5：对所述氧化锌锡靶材半成品进行机加工切割，表面打磨，尺寸修整，获得满足尺寸要求的靶材成品。
[0022]本专利技术还提供一种以所述的制备方法制得的ZTO靶材，所述靶材致密度高，晶粒为多面体形貌，晶粒细小。
[0023]优选地，所述靶材相对密度大于98.0％；
[0024]优选地，所述靶材内部平均晶粒尺寸不大于10μm。
[0025]与现有技术相比，本专利技术使用不同的球磨处理时间得到适当粒径的ZnO和SnO2粉末，同时分别配合适当有机分散剂和粘结剂对两种粉末进行包覆，一方面因为合理的粒径级配，减少颗粒与颗粒间的填充间隙，同时提高了ZnO和SnO2的两种物料的混合均匀性；另一方面通过适当有机物的包裹，促进颗粒的表面塑性，从而有效提高靶材的致密度。采用真空热压烧结对上述粉末制得的素坯进行处理，ZnO和SnO2颗粒在高温和高压作用下，有助于粉末颗粒的接触、扩散与传质，可以降低烧结温度和缩短烧结时间，从而抑制晶粒长大，获得晶粒尺寸均匀且细小的内部组织，进一步提高靶材的致密度。
[0026]因此，通过本专利技术可以方便快捷地制备出孔隙少、内部组织晶粒均匀细小且晶粒间界面接触好、纯度和致密度高、不容易开裂且机加工性能优良的氧化锌锡陶瓷靶材。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对本申请范围的限定。
[0028]图1为实施例1所制得的ZTO靶材的SEM图。
具体实施方式
[0029]下面将结合具体实施例对本专利技术的实施方案进行详细描述，但是本领域技术人员
将会理解，下列实施例仅用于说明本专利技术，而不应视为限制本专利技术的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。本专利技术中，去离子水的加入量，以溶解或充分形成浆料为基本条件。
[0030]实施例1
[0031]一种ZTO靶材的制备方法：
[0032]按照Zn:Sn的原子比为2:1选取纯度为99.995％的ZnO和SnO2粉末加入去离子水分别进行一次球磨，所选取的ZnO和SnO2粉末原料粒径控制在20μm以下。ZnO浆料的球磨时间为10h，ZnO浆料中固体颗粒物的平均粒径为0.8μm；SnO2浆料的球磨时间为20h，SnO2浆料中固体颗粒物的平均粒径为0.1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ZTO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：将ZnO粉末和SnO2粉末分别加入去离子水进行球磨，形成ZnO浆料和SnO2浆料；S2：将所述ZnO浆料和SnO2浆料混合，加入去离子水、分散剂和粘结剂，二次球磨混料后，喷雾干燥得到混合造粒粉；S3：将所述混合造粒粉进行冷等静压，获得素坯；S4：在真空条件下对所述素坯进行热压烧结，随炉冷却至室温，获得氧化锌锡靶材半成品；S5：对所述氧化锌锡靶材半成品进行机加工切割，表面打磨，尺寸修整，获得满足尺寸要求的靶材成品。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述ZnO粉末和SnO2粉末按照Zn:Sn的原子比为2:1，所述ZnO粉末和SnO2粉末的纯度不低于99.99％。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述对ZnO粉末的球磨的时间为6～12h；对SnO2粉末的球磨的时间为18～25h。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，球磨后的所述ZnO浆料中固体颗粒物的粒径为0.5μm～1.0μm；球磨后的所述SnO2浆料中固体颗粒物的粒径为≤0.2μm。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述分散剂包括聚乙烯醇、甲基丙烯酰胺
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聚乙二醇二甲基丙烯酸或聚乙二醇中的一种或多种的混合物；所述粘结剂包括羟甲基纤维素、聚乙烯醇、聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯宇航，周贤界，徐红星，关泽汉，卢晓鹏，
申请(专利权)人：深圳众诚达应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：