本发明专利技术提供一种晶圆夹持式边缘抛光装置及其工艺，属于晶圆加工技术领域，该抛光装置由底座、工作台、晶圆吸盘、限位架和位移机构构成，其中：工作台固定连接于底座的顶部；晶圆吸盘设置于工作台的上侧，其下侧设置有升降机构，通过升降机构调节晶圆吸盘的高度；限位架设置有多个，其均固定连接于工作台的顶部，其上侧均滑动设置有可移动架，每个可移动架上均设置有一组打磨机构，多组打磨机构围绕在晶圆吸盘的周围以进行打磨；位移机构设置于工作台上，其用于同步调节多个可移动架的位置以控制打磨直径；通过多个抛光布同步打磨晶圆的边缘，对比现有的单体打磨，效率更高打磨更加稳定，可减少抛光布使用面积，提高抛光布的有效利用率。利用率。利用率。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆夹持式边缘抛光装置及其工艺
[0001]本专利技术属于晶圆加工
，具体涉及一种晶圆夹持式边缘抛光装置及其工艺。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光和切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]现有技术中公开了申请号为CN202211612202.2的中国专利，公开了一种晶圆夹持式边缘抛光装置及工艺，包括固定主轴和晶圆吸盘，所述固定主轴与外设机械臂固定连接，外设机械臂内设置有驱动固定主轴旋转的主轴电机，所述固定主轴底端固定连接有三角夹盘，所述三角夹盘表面阵列转动连接有晶圆夹臂，所述固定主轴表面滑动连接有三角滑盘，所述三角滑盘表面阵列转动连接有拉板。本专利技术的通过设置晶圆夹臂、夹持部和抛光布，采用夹持抛光一体式结构，通过晶圆夹臂和夹持部带动晶圆进行移送，减少工序加工中的机械时间，提高生产效能，同时抛光布套接在夹持部上，便于拆卸，并且降低了抛光布使用面积，从而提高抛光布的有效利用率。
[0004]上述方案通过多个抛光布设置在晶圆的周围，经过抛光布围绕晶圆转动，以对晶圆的边缘进行抛光，这种抛光方式，在抛光布高速转动过程中，由于摩擦阻力的变化，可能会导致晶圆的位置发生偏移，从而影响抛光效果，降低了晶圆的加工质量，而且传统的布设计尺寸大，导致未能充分保持使用寿命，造成抛光布可用时间的浪费，处理工艺采用在不同的动作进行分步完成，机械成本高效率低，为此我们提出一种一种晶圆夹持式边缘抛光装置及其工艺。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种晶圆夹持式边缘抛光装置及其工艺，旨在解决
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种晶圆夹持式边缘抛光装置，包括：
[0008]底座；
[0009]工作台，其固定连接于底座的顶部；
[0010]晶圆吸盘，其设置于工作台的上侧，其下侧设置有升降机构，通过升降机构调节晶圆吸盘的高度；
[0011]限位架，其设置有多个，其均固定连接于工作台的顶部，其上侧均滑动设置有可移动架，每个所述可移动架上均设置有一组打磨机构，多组打磨机构围绕在晶圆吸盘的周围以进行打磨；以及
[0012]位移机构，其设置于工作台上，其用于同步调节多个可移动架的位置以控制打磨
直径。
[0013]作为本专利技术一种优选的方案，所述升降机构包括下护筒、延伸转台和第一电动推杆，所述下护筒固定连接于底座的下内壁，所述延伸转台滑动连接于下护筒内，所述晶圆吸盘固定连接于延伸转台的输出端，所述底座和工作台之间固定连接有保护筒，所述下护筒贯穿保护筒并向上延伸，所述第一电动推杆固定连接于底座的下内壁，所述第一电动推杆的伸长端固定连接于延伸转台。
[0014]作为本专利技术一种优选的方案，每个所述可移动架的底部均固定连接有滑杆，所述滑杆滑动连接于限位架的直杆表面，每个所述可移动架靠近晶圆吸盘处均设置有圆球槽。
[0015]作为本专利技术一种优选的方案，每组所述打磨机构均包括：
[0016]调节球，其转动连接于圆球槽内；
[0017]第二电机，其固定连接于调节球的下端
[0018]延伸轴，其转动连接于调节球内，其下端固定连接于第二电机的输出端，其上端固定连接有安装板；
[0019]电动伸缩杆，其一端通过铰轴活动连接于可移动架的底部，其另一端通过铰轴活动连接于调节球的表面；以及
[0020]打磨组件，其用于直接与晶圆接触以达到打磨的目的。
[0021]作为本专利技术一种优选的方案，每组所述打磨组件均包括打磨轮和抛光布，所述打磨轮固定连接于安装板的顶部，所述打磨轮的圆周表面设置有环形槽，所述抛光布可拆卸连接于环形槽内。
[0022]作为本专利技术一种优选的方案，所述位移机构包括；
[0023]轴筒，其固定连接于底座的下内壁，其输出端固定连接有小齿轮；
[0024]轴筒，其转动连接于下护筒的圆周表面，其上端固定连接有大锥形齿轮，其下端固定连接有大齿轮，所述大齿轮与小齿轮相啮合；以及
[0025]位移组件，其设置于多组，其分别设置于对应限位架上。
[0026]作为本专利技术一种优选的方案，每组所述位移组件均包括滚珠丝杆、小锥形齿轮和丝杆套，所述滚珠丝杆转动连接于限位架内，所述丝杆套套设于滚珠丝杆的圆周表面，所述丝杆套固定连接于滑杆内，所述小锥形齿轮固定连接于滚珠丝杆靠近升降机构的一端，所述小锥形齿轮与大锥形齿轮相啮合。
[0027]作为本专利技术一种优选的方案，所述底座的顶部固定连接有安装架，所述安装架靠近晶圆吸盘处固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸长端转动连接有下压块。
[0028]作为本专利技术一种优选的方案，所述安装架的靠近晶圆吸盘处固定连接有淋洗管，所述淋洗管的顶部固定设置有进水口，所述工作台的顶部设置有透水孔，所述工作台的底部固定连接有集水仓，所述集水仓位于透水孔的下侧。
[0029]一种晶圆夹持式边缘抛光工艺，包括如下步骤：
[0030]S1、将晶圆放置于晶圆吸盘的上侧，控制晶圆吸盘吸持固定晶圆；
[0031]S2、控制第二电动推杆的伸长端推动下压块向下移动，下压块与晶圆的顶部接触，使晶圆被夹持于晶圆吸盘和下压块之间，加固晶圆的稳定性；
[0032]S3、控制第一电机的输出端带动小齿轮转动，小齿轮带动大齿轮转动，在大锥形齿轮与小锥形齿轮的作用下，带动多个滚珠丝杆同步转动，多个可移动架逐渐向晶圆的方向
靠近，最后使多个抛光布同步与晶圆的边缘接触；
[0033]S4、控制多个第二电机的输出端带动延伸轴同步转动，使多个打磨轮带动抛光布同步转动，通过多个抛光布同步打磨晶圆的边缘；
[0034]S5、当需要调节晶圆的高度时，在S1与S2之间，通过第一电动推杆的伸长端推动延伸转台向上移动，延伸转台推动晶圆吸盘向上移动，从而调节晶圆被夹持的高度，提高打磨效果。
[0035]S6、通过电动伸缩杆的伸长端推动调节球移动，调节球推动打磨轮偏转，可小幅度调节抛光布的打磨角度，扩大打磨范围；
[0036]S7、通过淋洗管喷淋研磨液，可降低打磨时的温度，减少抛光布的磨损，延长使用寿命。
[0037]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0038]1、本方案中使用时将晶圆放置于晶圆吸盘的上侧，控制第二电动推杆的伸长端推动下压块向下移动，下压块与晶圆的顶部接触，使晶圆被夹持于晶圆吸盘和下压块之间，晶圆加工使位置不会发生偏移，加固晶圆的稳定性，多个打磨轮位于晶圆吸盘的周围，控制第一电机的输出端带动小齿轮转动，多个抛光布同步与晶圆的边缘接触，此时控制多个第二电机的输出端带动延伸轴同步转动，使多个打磨轮带动抛光布同步转动，通过多个抛光布同步打磨晶圆的边缘，对比现有的单体打磨，效率更高打磨更加稳定，可减少抛光布使用面积，提高抛光布本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，包括：底座(1)；工作台(2)，其固定连接于底座(1)的顶部；晶圆吸盘(4)，其设置于工作台(2)的上侧，其下侧设置有升降机构(3)，通过升降机构(3)调节晶圆吸盘(4)的高度；限位架(13)，其设置有多个，其均固定连接于工作台(2)的顶部，其上侧均滑动设置有可移动架(17)，每个所述可移动架(17)上均设置有一组打磨机构，多组打磨机构围绕在晶圆吸盘(4)的周围以进行打磨；以及位移机构，其设置于工作台(2)上，其用于同步调节多个可移动架(17)的位置以控制打磨直径。2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，所述升降机构(3)包括下护筒(301)、延伸转台(302)和第一电动推杆(303)，所述下护筒(301)固定连接于底座(1)的下内壁，所述延伸转台(302)滑动连接于下护筒(301)内，所述晶圆吸盘(4)固定连接于延伸转台(302)的输出端，所述底座(1)和工作台(2)之间固定连接有保护筒(5)，所述下护筒(301)贯穿保护筒(5)并向上延伸，所述第一电动推杆(303)固定连接于底座(1)的下内壁，所述第一电动推杆(303)的伸长端固定连接于延伸转台(302)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，每个所述可移动架(17)的底部均固定连接有滑杆(20)，所述滑杆(20)滑动连接于限位架(13)的直杆表面，每个所述可移动架(17)靠近晶圆吸盘(4)处均设置有圆球槽(18)。4.根据权利要求3所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，每组所述打磨机构均包括：调节球(19)，其转动连接于圆球槽(18)内；第二电机(22)，其固定连接于调节球(19)的下端延伸轴(23)，其转动连接于调节球(19)内，其下端固定连接于第二电机(22)的输出端，其上端固定连接有安装板(24)；电动伸缩杆(21)，其一端通过铰轴活动连接于可移动架(17)的底部，其另一端通过铰轴活动连接于调节球(19)的表面；以及打磨组件，其用于直接与晶圆接触以达到打磨的目的。5.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，每组所述打磨组件均包括打磨轮(25)和抛光布(26)，所述打磨轮(25)固定连接于安装板(24)的顶部，所述打磨轮(25)的圆周表面设置有环形槽(2501)，所述抛光布(26)可拆卸连接于环形槽(2501)内。6.根据权利要求5所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，所述位移机构包括；轴筒(10)，其固定连接于底座(1)的下内壁，其输出端固定连接有小齿轮(9)；轴筒(10)，其转动连接于下护筒(301)的圆周表面，其上端固定连接有大锥形齿轮(12)，其下端固定连接有大齿轮(...
【专利技术属性】
技术研发人员：任明元，梁春，刘文平，
申请(专利权)人：苏州博宏源机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。