基于近场光学行波吸收的痕量物质分析装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及基于近场光学行波吸收的痕量物质分析装置。现有技术结构复杂，光机要求高，无法得到高精度光谱信息。本实用新型专利技术将由单一光学元件等腰三角形棱镜构成的环形高精细度腔，两个等腰面为高反射率面；光束从一个高反射率腰面入射，在棱镜底面发生内全反射形成近场光测试区域，在等腰三角形棱镜内形成光学行波，从另一个高反射率腰面出射；出射光束经过由两个高反射镜构成的法珀腔高精度分光单元，移动部件带动法珀腔的一个高反射镜沿轴向移动，调节控制出射光谱信息；光电探测器接收法珀腔出射光束，形成高精度光谱信号，实现痕量物质检测。本实用新型专利技术具有系统构成简单稳定、光谱信息精度高、所需测物量少、适用范围广等特点。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学
，涉及一种光谱分析装置，特别是一种基 于近场光学行波吸收的痕量物质分析装置，主要用于流体、薄膜、微小颗粒、 生物分子、残留农药等物质的痕量浓度测试。 技术背景在先进制造工业、环境分析、生命科学、医学医疗、国防安全等许多领 域存在大量的物质痕量测量需求，并且对痕量物质检测灵敏度的要求越来越 高。高精细度腔吸收光谱技术由于具有检测灵敏度高、绝对测量、选择性好 等优点，成为痕量物质测量技术发展趋势之一。高精细度腔光谱分析技术多 用来分析痕量气体浓度和组分，近些年来，研究者也将高精细度腔光谱分析 技术应用于流体物质分析。现有技术中，有一种高精细度腔光谱分析系统(参见美国专利"Cavity ring down arrangement for non-cavity filing samples",专利号US6， 452， 680 Bl)。该高精细度腔光谱分析系统具有相 当的优点，但是，仍然存在一些不足1)采用线型精细度腔结构，激光在 高精细度腔内形成光学驻波，导致光强分布不均，以及光束入射端腔镜的反 射光易对激光器产生干扰；2)只能用来测试分析流体物质，不能对薄膜、 本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于近场光学行波吸收的痕量物质分析装置，包括光源、光束准直整形器、近场光学行波腔、第一反射镜、第二反射镜、光电传感器、移动部件，其特征在于：光源的出射光束光路上依次设置有光束准直整形器和近场光学行波腔；所述的近场光学行波腔为等腰三角形棱镜，两个腰面为高反射率反射面，底面为内全反射面，测试区为底面内全反射的光学近场区域；光束准直整形器的出射光束由第一腰面入射近场光学行波腔，入射方向与等腰三角形棱镜底面平行，在第一腰面、第二腰面和底面构成的近场光学行波高精细度腔内形成光学行波，由第二腰面出射；近场光学行波腔的第二腰面出射光束光路上依次平行设置有的第一反射镜和第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜均与光...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高秀敏，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]