一种柔性样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及样品台技术领域，尤其涉及一种柔性样品台，包括底板，底板下方设置有驱动箱，底板上设置有测试腔、探针组件与三维调节座，探针组件与三维调节座之间设置有用于调节探针组件位置的真空调节机构，通过蜗杆带动蜗轮进行旋转，蜗轮通过滚珠丝杠带动螺母进行升降运动，螺母通过连接杆带动导向块进行升降，导向块通过支撑杆带动底板进行升降，使得底板能根据不同身高的操作者进行高度调节，通过光学窗口上的通孔，使得待测样品可以通过压紧的方式固定在底板上，有助于提高待测样品的稳定性，通过柔性导热材料把冷量传导到底板处，从而隔绝了液氮蒸发引起的震动，有助于提高测试过程中的稳定性。高测试过程中的稳定性。高测试过程中的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性样品台


[0001]本技术涉及样品台
，尤其涉及一种柔性样品台。

技术介绍

[0002]低温探针台是一种用于数学领域的分析仪器，探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
[0003]在现有技术中低温探针台中测试台组件是进行样品测试的载体，而测试台组件中的样品台大多是一体式结构，无法进行高度调节，从而对不同身高的操作者造成不便的同时，在长时间处于俯身或者低头的情况下，会对颈椎造成极大的负担，从而对操作者的身体健康造成负面影响。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中样品台大多是一体式结构，无法进行高度调节的问题，而提出的一种柔性样品台。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种柔性样品台，包括底板，所述底板下方设置有驱动箱，所述底板上设置有测试腔、探针组件与三维调节座，所述探针组件与三维调节座之间设置有用于调节探针组件位置的真空调节机构；
[0007]所述驱动箱中设置有用于驱动底板进行升降运动的驱动机构。
[0008]优选地，所述测试腔上部法兰连接有光学窗口，且光学窗口上开设有通孔，所述通孔中活动套设有用于压紧固定测试样品的固定件。
[0009]优选地，所述探针组件最少由四个探针组成，且测试腔外围开设有与探针对应设置的探针进出口。
[0010]优选地，每个所述探针上均连接有对应的真空调节机构，所述底板上设置有用于冷传导的柔性导热材料。
[0011]优选地，所述驱动机构包括固定安装于驱动箱中的电机，所述电机输出端固定连接有蜗杆，所述驱动箱中设置有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠上固定套装有与蜗杆啮合连接的蜗轮，所述滚珠丝杠上配套安装有螺母，所述驱动箱内壁上开设有导向槽，所述导向槽中设置有导向块，所述导向块固定连接有与螺母固定连接的连接杆，所述导向块上固定连接有与底板固定连接的支撑杆。
[0012]优选地，所述滚珠丝杠通过轴承纵向转动安装于驱动箱内底端位置，且导向槽纵向开设于滚珠丝杠两侧位置的驱动箱内壁上。
[0013]优选地，所述导向块纵向滑动套设于导向槽中，所述驱动箱中开设有用于滑动套设支撑杆的活动孔。
[0014]与现有技术相比，本技术具备以下优点：
[0015]1、本技术通过蜗杆带动蜗轮进行旋转，蜗轮通过滚珠丝杠带动螺母进行升降运动，螺母通过连接杆带动导向块进行升降运动，导向块通过支撑杆带动底板进行升降运动，使得底板能根据不同身高的操作者进行高度调节，避免操作人员在更换样品或者固定样品时造成不便。
[0016]2、本技术通过光学窗口上的通孔，使得待测样品可以通过压紧的方式固定在测试腔中，有助于提高待测样品的稳定性，以此避免待测样品在进行测试时发生位置偏移导致测试结果精确性得不到保障，通过柔性导热材料把冷量传导到底板处，从而隔绝了液氮蒸发引起的震动，有助于提高测试过程中的稳定性。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种柔性样品台的结构示意图；
[0018]图2为本技术提出的一种柔性样品台的A局部结构示意图；
[0019]图3为本技术提出的一种柔性样品台的滚珠丝杠与螺母连接结构示意图；
[0020]图4为本技术提出的一种柔性样品台的滚珠丝杠与蜗轮连接结构示意图。
[0021]图中：1、底板；2、驱动箱；3、测试腔；4、探针组件；5、三维调节座；6、真空调节机构；7、电机；8、蜗杆；9、滚珠丝杠；10、蜗轮；11、螺母；12、导向槽；13、导向块；14、连接杆；15、支撑杆。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]参照图1
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图4，一种柔性样品台，包括底板1，底板1上设置有用于冷传导的柔性导热材料，通过柔性导热材料把冷量传导到底板1处，从而避免液氮蒸发引起的震动对测试产生负面影响；
[0024]底板1下方设置有驱动箱2，底板1上设置有测试腔3、探针组件4与三维调节座5，测试腔3上部法兰连接有光学窗口，且光学窗口上开设有通孔，通孔中活动套设有用于压紧固定测试样品的固定件，以便于将待测样品压紧固定于测试腔3中，从而避免待测样品在进行测试时发生位置偏移，有助于提高测试结果的准确性；
[0025]探针组件4最少由四个探针组成，且测试腔3外围开设有与探针对应设置的探针进出口，三维调节座5上设置有用于调节探针组件4位置的真空调节机构6，每个探针上均连接有对应的真空调节机构6，探针组件4、三维调节座5与真空调节机构6均为现有成熟技术故不做赘述；
[0026]驱动箱2中设置有用于驱动底板1进行升降运动的驱动机构，使得底板1能根据不同身高的操作者进行高度调节，避免操作人员在对样品进行观察或者操作时造成不便；
[0027]驱动机构包括固定安装于驱动箱2中的电机7，电机7的型号为MR
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J2S
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200B，电机7输出端固定连接有蜗杆8，驱动箱2中设置有滚珠丝杠9，滚珠丝杠9通过轴承纵向转动安装于驱动箱2内底端位置，滚珠丝杠9上固定套装有与蜗杆8啮合连接的蜗轮10，利用蜗杆8与蜗轮10的自锁作用，避免因底板1上的重力等导致底板1发生下滑；
[0028]滚珠丝杠9上配套安装有螺母11，驱动箱2内壁上开设有导向槽12，且导向槽12纵向开设于滚珠丝杠9两侧位置的驱动箱2内壁上，导向槽12中设置有导向块13，导向块13纵向滑动套设于导向槽12中，通过导向槽12的导向限位作用，使得导向块13只能在导向槽12中进行竖直升降；
[0029]导向块13固定连接有与螺母11固定连接的连接杆14，导向块13上固定连接有与底板1固定连接的支撑杆15，驱动箱2中开设有用于滑动套设支撑杆15的活动孔，通过活动孔的导向限位作用，避免支撑杆15发生水平方向的位置偏移，从而保障底板1进行升降运动时的稳定性。
[0030]本技术可通过以下操作方式阐述其功能原理：
[0031]启动电机7驱动蜗杆8进行旋转，蜗杆8带动蜗轮10进行旋转，蜗轮10带动滚珠丝杠9进行旋转，滚珠丝杠9带动螺母11进行升降运动，螺母11通过连接杆14带动导向块13在导向槽12中进行升降运动，导向块13通过支撑杆15进行升降运动，从而使得支撑杆15带动底板1进行升降运动，使得底板1能根据不同身高的操作者进行高度调节；
[0032]通过拆卸光学窗口与测试腔3之间的法兰连接，将待测样品放置于测试腔3中，利用光学窗口上的通孔与固定件的配合作用，从而使得待测样品可以通过压紧的方式固定在底板1上；
[0033]通过柔性导热材料把冷量传导到底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性样品台，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)下方设置有驱动箱(2)，所述底板(1)上设置有测试腔(3)、探针组件(4)与三维调节座(5)，所述三维调节座(5)上设置有用于调节探针组件(4)位置的真空调节机构(6)；所述驱动箱(2)中设置有用于驱动底板(1)进行升降运动的驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种柔性样品台，其特征在于，所述测试腔(3)上部法兰连接有光学窗口，且光学窗口上开设有通孔，所述通孔中活动套设有用于压紧固定测试样品的固定件。3.根据权利要求2所述的一种柔性样品台，其特征在于，所述探针组件(4)最少由四个探针组成，且测试腔(3)外围开设有与探针对应设置的探针进出口。4.根据权利要求3所述的一种柔性样品台，其特征在于，每个所述探针上均连接有对应的真空调节机构(6)，所述底板(1)上设置有用于冷传导的柔性导热材料。5.根据权利要求1所述的一种柔性样品台，其特征在于，所述驱动机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐中堂，陈洲盛，李君，王晓艳，
申请(专利权)人：合肥科沃真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：