3D存储器件及其量测方法、薄膜量测装置制造方法及图纸

技术编号：38869382 阅读：25 留言：0更新日期：2023-09-22 14:06

本申请公开了一种3D存储器件及其量测方法、薄膜量测装置。根据本申请实施例的3D存储器件包括衬底；叠层结构，位于所述衬底上方，用于形成存储阵列；沟道孔，设置在所述叠层结构上；以及阻挡层，设置在所述沟道孔中，用于阻挡第一波长范围内的信号。根据本申请实施例的3D存储器件及其量测方法、薄膜量测装置，能够准确量测3D存储器件的薄膜厚度。确量测3D存储器件的薄膜厚度。确量测3D存储器件的薄膜厚度。确量测3D存储器件的薄膜厚度。