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本申请公开了一种3D存储器件及其量测方法、薄膜量测装置。根据本申请实施例的3D存储器件包括衬底；叠层结构，位于所述衬底上方，用于形成存储阵列；沟道孔，设置在所述叠层结构上；以及阻挡层，设置在所述沟道孔中，用于阻挡第一波长范围内的信号。根据本...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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