一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，包括有加热盘，所述加热盘上连接有空腔管，所述空腔管远离加热盘一端滑动连接有配重帽，所述空腔管内设置有电极杆，所述电极杆一端与加热盘连接，另一端抵接配重帽。本实用新型专利技术提供了一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，能够在焊接过程中持续给予电极杆合适的压力，从而挤压焊接区域，将内部的气泡挤出，使得电极杆与焊机区域充分接触，保证焊接区域的连接可靠。保证焊接区域的连接可靠。保证焊接区域的连接可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具


[0001]本技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，陶瓷加热器作为PVD、CVD、刻蚀、离子注入等设备的重要部件，发挥着承载晶圆、吸附晶圆、控制温度、馈入射频等重要作用。其结构为加热盘及陶瓷管，材质通常为氮化铝；其中陶瓷盘内分布有加热层及射频层或静电吸附层，材质通常为钨或钼，预留焊接引脚，通过电极杆引出；电极杆穿过陶瓷管引出并于电源连接，材质通常为镍，通过钎焊的方式与加热层、静电吸附层及射频层连接；陶瓷管留有螺钉孔位，与设备腔体通过螺丝连接固定。
[0003]例如公开号“CN114158147A”，公开了“陶瓷加热盘引出电极连接结构及其连接方法”，包括埋设于陶瓷基体内部的接头、引出电极、连接孔，所述引出电极包括电极管段和电极杆段，所述电极管段和所述连接孔之间设置第一间隙，所述电极杆段与所述电极管段之间设置第二间隙。但是在实际的焊接过程中，通过这种固定式的连接结构将电极杆固定在加热盘上，使得焊接时电极杆与加热盘之间的距离始终保持固定，电极杆无法得到合适的压力，焊接处易产生气泡或间隙，焊接后连接强度较差。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提到的现有技术存在焊接过程中无法消除气泡、间隙的问题，本技术提供了一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，能够在焊接过程中持续给予电极杆合适的压力，从而挤压焊接区域，将内部的气泡挤出，使得电极杆与焊机区域充分接触，保证焊接区域的连接可靠。
[0005]本技术的第二专利技术目的是保证电极杆在焊接过程时能够处于正确的位置，避免倾斜。
[0006]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案。
[0007]一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，包括有加热盘，所述加热盘上连接有空腔管，所述空腔管远离加热盘一端滑动连接有配重帽，所述空腔管内设置有电极杆，所述电极杆一端与加热盘连接，另一端抵接配重帽。陶瓷加热器包括有加热盘、空腔管、电极杆，加热盘一般为陶瓷盘，空腔管则一般为陶瓷管，需要将电极杆焊接在加热盘上，焊接过程采用钎焊，由于空腔管上连接的配重帽为滑动连接，并且配重帽抵接在电极管上，在配重帽自身的重力作用下，使得电极杆靠近加热盘的一端能够紧密地贴合在加热盘上，在焊接过程中，焊接区域形成的熔池，在配重帽的压力作用下，电极杆能够陷入熔池内，并且挤出连接区域内的部分气泡，减少空隙，从而使得熔池与电极杆充分接触，焊接完成后，相较于现有的焊接方式，焊接区域的质量更好，接触更加充分，且焊接过程中压力的施加为自适应施加，无需人工干预，各个产品之间的焊接统一性更好，不易出现误差。
[0008]作为优选，所述配重帽靠近电极杆一端设置有定位槽，所述电极杆端部套接在定位槽内。在配重帽上设置定位槽，通过定位槽套接电极杆，而由于配重帽与空腔管之间为滑动连接，滑动方向为沿重力方向，其余方向则设有约束，而定位槽既保证了配重帽对电极杆的压力施加能够稳定，避免配重帽在施压过程中与电极杆之间产生偏移错位，同时能够限制电极杆除重力方向之外的偏移，保证了电极杆与空腔管之间的相对位置稳定，进而保证电极杆在焊接过程时能够处于正确的位置，避免倾斜，此方案实现了本专利技术的第二专利技术目的。
[0009]作为优选，所述空腔管远离加热盘一侧连接有定位块，所述定位块上设置有定位孔，所述配重帽滑动连接在定位孔上。在定位块上设置定位孔，定位孔的尺寸略大于配重帽尺寸，实现间隙配合，使得配重帽能够在定位孔上实现上下位移，且限制其余方向上的运动，从而电极杆在焊接过程中能够稳定受到配重帽产生的加压力，保证焊接质量，并且能够使得电极杆处于正确的位置及形态。
[0010]作为优选，所述定位块上设置有若干定位孔，所述定位块上设置有腰型连接孔，所述定位块通过腰型连接孔与空腔管连接。定位块上设置有多个定位孔，相邻的定位孔形成一组，每组定位孔的排布与不同规格的加热器上的电极杆分布相同，从而提高了定位块的通用性，在定位块与不同空腔管连接在一起时，通过绕旋转调整对齐角度，来匹配相应的定位孔组，并通过腰型连接孔实现定位块与空腔管之间的连接，从而提高定位块的利用率。
[0011]作为优选，所述定位块可拆卸连接在空腔管上。定位块通过可拆卸连接与空腔管固定，可拆卸连接包括但不限于螺纹连接，插销连接，卡接，通过此类连接方式，保证了连接稳定性的同时，能够方便快速进行定位块与空腔管之间的安装、分离，提高焊接效率。
[0012]作为优选，所述定位块上设置有一号连接孔，所述一号连接孔上连接有定位销，所述空腔管上设置有二号连接孔，所述一号连接孔与二号连接孔对齐，所述定位销连接一号连接孔与二号连接孔。定位销连接一号连接孔和二号连接孔，定位销优选使用两个及以上，避免定位块与空腔管之间产生偏移，定位块及定位销的材质可选择陶瓷、钨、钼、镍等耐高温材质。
[0013]作为优选，所述加热盘靠近电极杆一侧设置有焊接引脚，所述电极杆与焊接引脚抵接。加热盘上设置的焊接引脚为与电极杆适配的凹槽，在焊接过程中将钎料放置在焊接引脚上，并使得电极杆端部与焊接引脚上的钎料接触，将整个加热器放置到钎焊炉中进行焊接，即可完成电极杆与加热盘之间的连接。
[0014]本技术的有益效果如下：
[0015]（1）能够在焊接过程中对电极杆不间断施加合适的压力，从而保证焊接区域的焊接质量，保证电极杆与加热盘之间的连接紧密，减少气泡与空隙的生成；
[0016]（2）配重帽能够对电极杆产生限位，配合限位块能够将电极杆的位置保证与空腔管平行，从而使得在钎焊过程中电机杆能够始终处于正确的位置；
[0017]（3）通过定位块上设置的若干定位孔以及定位块上的腰型连接孔，使得定位块能够适配不同规格的电极杆排布，提高定位块的利用率和适用范围。
附图说明
[0018]图1是本技术的爆炸图。
[0019]图2是本技术的轴测图。
[0020]图3是本技术的剖视图。
[0021]图4是图1中A处的局部放大图。
[0022]图5是图3中配重帽的结构示意图。
[0023]图6是实施例2中定位块的结构示意图。
[0024]图中：1加热盘，11焊接引脚，2空腔管，21二号连接孔，3配重帽，31定位槽，4电极杆，5定位块，51定位孔，52腰型连接孔，53一号连接孔，54定位销。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步描述。
[0026]实施例1：
[0027]如图1、2所示，一种半导体陶瓷加热器电极杆4钎焊使用的定位夹具，包括有加热盘1，加热盘1上连接有空腔管2，空腔管2远离加热盘1一端滑动连接有配重帽3，空腔管2内设置有电极杆4，电极杆4一端与加热盘1连接，另一端抵接配重帽3。
[0028]陶瓷加热器包括有加热盘1、空腔管2、电极杆4，加热盘1在本实施例中为陶瓷盘，空腔管2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，其特征在于，包括有加热盘，所述加热盘上连接有空腔管，所述空腔管远离加热盘一端滑动连接有配重帽，所述空腔管内设置有电极杆，所述电极杆一端与加热盘连接，另一端抵接配重帽。2.根据权利要求1中所述的一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，其特征在于，所述配重帽靠近电极杆一端设置有定位槽，所述电极杆端部套接在定位槽内。3.根据权利要求1或2中所述的一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，其特征在于，所述空腔管远离加热盘一侧连接有定位块，所述定位块上设置有定位孔，所述配重帽滑动连接在定位孔上。4.根据权利要求3中所述的一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭凯，姚相民，
申请(专利权)人：杭州之芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：