【技术实现步骤摘要】
一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具
[0001]本技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具。
技术介绍
[0002]在半导体制程中，陶瓷加热器作为PVD、CVD、刻蚀、离子注入等设备的重要部件，发挥着承载晶圆、吸附晶圆、控制温度、馈入射频等重要作用。其结构为加热盘及陶瓷管，材质通常为氮化铝；其中陶瓷盘内分布有加热层及射频层或静电吸附层，材质通常为钨或钼，预留焊接引脚，通过电极杆引出；电极杆穿过陶瓷管引出并于电源连接，材质通常为镍，通过钎焊的方式与加热层、静电吸附层及射频层连接；陶瓷管留有螺钉孔位，与设备腔体通过螺丝连接固定。
[0003]例如公开号“CN114158147A”，公开了“陶瓷加热盘引出电极连接结构及其连接方法”，包括埋设于陶瓷基体内部的接头、引出电极、连接孔，所述引出电极包括电极管段和电极杆段，所述电极管段和所述连接孔之间设置第一间隙，所述电极杆段与所述电极管段之间设置第二间隙。但是在实际的焊接过程中，通过这种固定式的连接结构将电极杆固定在加热盘上，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，其特征在于，包括有加热盘，所述加热盘上连接有空腔管，所述空腔管远离加热盘一端滑动连接有配重帽，所述空腔管内设置有电极杆，所述电极杆一端与加热盘连接，另一端抵接配重帽。2.根据权利要求1中所述的一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，其特征在于，所述配重帽靠近电极杆一端设置有定位槽，所述电极杆端部套接在定位槽内。3.根据权利要求1或2中所述的一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，其特征在于，所述空腔管远离加热盘一侧连接有定位块，所述定位块上设置有定位孔，所述配重帽滑动连接在定位孔上。4.根据权利要求3中所述的一种半导体陶瓷加热器电极杆钎焊使用的定位夹具，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭凯，姚相民，
申请(专利权)人：杭州之芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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