【技术实现步骤摘要】
本技术涉及密封结构相关,更具体地说,它涉及一种幕板环真空度检测用的密封基座结构。
技术介绍
1、现有技术中的幕板环是液相质谱仪的重要零配件之一。液相质谱仪,是有机物分析市场中的高端仪器。幕板环在加工过程中需要对其进行通气性能的检测,而通气性检测需要使幕板环固定安装到基座上,并形成一密封腔室,然后再配合抽真空系统、管路、真空规、真空度数显仪等装置对幕板环上的锥形孔进行真空度检测;即原理是:通过抽真空系统对幕板环进行抽气,由于幕板环有一处锥形孔是与大气贯通的,所以真空泵会通过金属锥孔,将大气依次抽入到幕板环、密封腔室、真空泵,由于金属锥孔孔径很小,大气无法及时进入,所以在锥形孔另一侧,也就是基座内密封腔室连通的管路内相对于大气压,会形成一个负压状态,即会有一个真空度,这是通过真空规可以检测到这个真空度的大小,并通过数显仪将真空度显示出来。因此,基座与幕板环连接处的密封性尤为重要,其关系到密封腔室的密封性及幕板环真空度检测的精度。
技术实现思路
1、为了克服上述不足,提供了一种幕板环真空度检测用
...【技术保护点】
1.一种幕板环真空度检测用的密封基座结构,包括基座,基座内设有圆柱形结构的安装槽,其特征是,包括:密封机构,设置在安装槽内,其包括若干滑动设置在安装槽侧壁内的扇环及设置在基座内的驱动机构;驱动机构包括伺服电机、设置在伺服电机输出轴上的丝杆,丝杆与扇环螺纹连接;通过驱动机构能够使扇环向安装槽内的幕板环一侧移动,可形成一圆环形状的密封板,密封板内环能与幕板环外壁贴合,使安装槽内形成一密封腔体。
2.根据权利要求1所述的一种幕板环真空度检测用的密封基座结构,其特征是,扇环的内径一侧壁体内嵌设有密封垫一。
3.根据权利要求2所述的一种幕板环真空度检测用
...【技术特征摘要】
1.一种幕板环真空度检测用的密封基座结构,包括基座,基座内设有圆柱形结构的安装槽,其特征是,包括:密封机构,设置在安装槽内,其包括若干滑动设置在安装槽侧壁内的扇环及设置在基座内的驱动机构;驱动机构包括伺服电机、设置在伺服电机输出轴上的丝杆,丝杆与扇环螺纹连接;通过驱动机构能够使扇环向安装槽内的幕板环一侧移动,可形成一圆环形状的密封板,密封板内环能与幕板环外壁贴合,使安装槽内形成一密封腔体。
2.根据权利要求1所述的一种幕板环真空度检测用的密封基座结构,其特征是,扇环的内径一侧壁体内嵌设有密封垫一。
3.根据权利要求2所述的一种幕板环真空度检测用的密封基座结构,其特征是,扇环共有两个,均为半圆环结构,两组半圆环结构的扇环可组成一圆环结构,其内设置的密封垫一可组成一密封环。
4.根据权利要求3所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶定云,姚相民,
申请(专利权)人:杭州之芯半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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