一种晶圆盒自动中转搬运系统技术方案

本发明专利技术公开了一种晶圆盒自动中转搬运系统，涉及晶圆盒搬运设备技术领域，包括：用于搬运和存储晶圆盒，包括：中转站，内部设有空腔，空腔内设有用于堆放晶圆盒的缓存工位；中转站两侧分别设有上料工位和卸料工位；中转站的两侧面上分别开设有对应于上料工位和卸料工位的进料口和出料口；机械臂，设于空腔内，机械臂上设有用于夹取晶圆盒的夹爪；视觉定位机构，用于获取晶圆盒的视觉信息，并通过视觉信息控制夹爪将位于上料工位上的晶圆盒搬运至缓存工位上，以及将缓存工位上的晶圆盒搬运至卸料工位上。使中转站具有自动化搬运功能，提高搬运效率，且避免由于人工搬运时失误造成的磕碰晶圆盒。晶圆盒。晶圆盒。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒自动中转搬运系统


[0001]本专利技术涉及晶圆盒搬运
，具体涉及一种晶圆盒自动中转搬运系统。

技术介绍

[0002]目前，晶圆盒在装载满晶圆后一般会通过人工搬至中转站内的货架上码垛起来，进行集中堆放，当需要使用晶圆时，再通过人工将晶圆盒从货架上搬运至运输车上，通过运输车将晶圆送至需要的地方。
[0003]针对现有晶圆盒的搬运方式，首先，由于现有技术中是通过人工手动搬运晶圆盒，导致搬运效率低；其次，人工在搬运晶圆盒的过程中容易发生失误导致磕碰晶圆盒，损坏内部装载的晶圆；再者，现有的中转站仅具有纯实现临时放置的功能，无法实现自动化搬运功能。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶圆盒自动中转搬运系统，解决现有技术中的中转站仅具有单一的临时放置功能，需人工将晶圆盒搬运至中转站内的货架上，效率低、且容易磕碰晶圆盒的问题。
[0005]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种晶圆盒自动中转搬运系统，用于搬运和存储晶圆盒，包括：
[0007]中转站，内部设有空腔，所述空腔内设有用于堆放晶圆盒的缓存工位；所述中转站两侧分别设有上料工位和卸料工位；所述中转站的两侧面上分别开设有对应于所述上料工位和所述卸料工位的进料口和出料口；
[0008]机械臂，设于所述空腔内，所述机械臂上设有用于夹取晶圆盒的夹爪；
[0009]视觉定位机构，用于获取晶圆盒的视觉信息，并通过视觉信息控制所述夹爪将位于所述上料工位上的晶圆盒搬运至所述缓存工位上，以及将所述缓存工位上的晶圆盒搬运至所述卸料工位上。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：所述中转站具有底座，所述底座上至少设有一个凹槽，所述机械臂安装在所述底座上且位于所述凹槽一侧，所述凹槽内设有托盘，所述托盘形成的放置位置形成所述缓存工位，所述空腔内设有用于驱动所述托盘升降的升降机构，所述升降机构根据所述托盘上晶圆盒的码垛高度调整所述托盘的高度，使所述机械臂每次在设定高度从所述缓存工位上取放晶圆盒。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述缓存工位上方设有高度传感器，所述高度传感器用于检测所述缓存工位上的晶圆盒与所述高度传感器之间的间距。
[0012]作为本专利技术进一步的方案：所述托盘上设有用于检测晶圆盒是否在所述缓存工位上码垛倾斜的第一倾斜传感器。
[0013]作为本专利技术进一步的方案：所述托盘包括水平底板以及设于所述水平底板四周边缘的竖直围板，所述竖直围板的高度小于晶圆盒的高度，所述水平底板上被所述竖直围板
包围的区域形成所述缓存工位，所述第一倾斜传感器设于所述竖直围板上。
[0014]作为本专利技术进一步的方案：所述中转站整体呈矩形，具有底座、设于所述底座四周的侧壁以及设于所述侧壁上方的顶壁，所述底座、所述侧壁和所述顶壁围合形成所述空腔，所述进料口和所述出料口分别开设在两相对侧的所述侧壁上，所述凹槽开设在所述底座上。
[0015]作为本专利技术进一步的方案：所述机械臂设于所述底座中部，所述凹槽设有两个且分别位于所述底座两相对侧，所述进料口和所述出料口分别位于所述底座另外两相对侧。
[0016]作为本专利技术进一步的方案：还所述机械臂或夹爪上设有用于获取所抓取的晶圆盒的标识的标识读取传感器。
[0017]作为本专利技术进一步的方案：还包括设于所述中转站一侧的门栏，所述上料工位设于所述门栏内，所述门栏和所述中转站之间形成用于进入所述上料工位的开口，所述开口处设有接近开关；
[0018]和/或，
[0019]所述上料工位上设有用于检测所述上料工位是否有晶圆盒的在位传感器以及用于检测晶圆盒是否在所述上料工位上的码垛倾斜的第二倾斜传感器；
[0020]和/或，
[0021]所述进料口和所述出料口上均安装有防火卷帘。
[0022]作为本专利技术进一步的方案：还包括与所述中转站适配的运输车，所述运输车包括：
[0023]车主体，所述卸料工位设于所述车主体上，所述车主体还设有环境检测装置，所述环境检测机构包括多组雷达、多组超声波传感器、多组防坠落传感器以及对位摄像头；
[0024]防坠架，包括竖立设于卸料工位上且相对设置的的第一架体和第二架体，所述第一架体和第二架体绕周向围设形成一用于码垛一列晶圆盒的码垛腔，所述第一架体和第二架体之间间隔设置形成分别位于所述码垛腔两侧且相对设置的一对夹取间隙，所述夹取间隙宽度小于位于所述码垛腔内的晶圆盒的宽度。
[0025]本专利技术的有益效果：本申请通过在中转站内设置视觉定位机构，使机械臂根据视觉定位机构获取的视觉信息自动自行搬运晶圆盒，使中转站具有自动化搬运功能。同时，通过机械臂自动化搬运晶圆盒，可提高搬运效率，且避免由于人工搬运时失误造成的磕碰晶圆盒。
附图说明
[0026]下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0027]图1是本专利技术整体结构示意图；
[0028]图2是本专利技术中中转站的正视图；
[0029]图3是本专利技术中运输车的整体结构示意图；
[0030]图4是本专利技术中运输车的俯视图。
具体实施方式
[0031]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0032]需要说明的是，本专利技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。本专利技术关于“左”、“右”、“左侧”、“右侧”、“上部”、“下部”、“顶部”、“底部”等方向上的描述均是基于附图所示的方位或位置的关系定义的，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所述的结构必须以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0033]在本专利技术的描述中，除非另有明确规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0034]如
技术介绍
中所示，目前中转站仅具有临时放置的功能，且晶圆盒需要人工搬运到中转站内的货架上码垛起来，在使用时有需要人工从货架上搬运下来，搬运效率低，码垛的晶圆盒容易倾斜，且在搬运晶圆盒过程中容易磕碰到晶圆盒，损坏内部装载的晶圆。由此，本申请提供一款晶圆盒自动中转搬运系统，使搬运站不仅具有临时放置功能，还可实现安全、高效的自动化搬运。
[0035]请参阅图1
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4所示，本专利技术为一种晶圆盒自动中转搬运系统，用于搬运晶圆盒200，包括：中转站1，内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒自动中转搬运系统，用于搬运和存储晶圆盒，其特征在于，包括：中转站，内部设有空腔，所述空腔内设有用于堆放晶圆盒的缓存工位；所述中转站两侧分别设有上料工位和卸料工位；所述中转站的两侧面上分别开设有对应于所述上料工位和所述卸料工位的进料口和出料口；机械臂，设于所述空腔内，所述机械臂上设有用于夹取晶圆盒的夹爪；视觉定位机构，用于获取晶圆盒的视觉信息，并通过视觉信息控制所述夹爪将位于所述上料工位上的晶圆盒搬运至所述缓存工位上，以及将所述缓存工位上的晶圆盒搬运至所述卸料工位上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒自动中转搬运系统,其特征在于，所述中转站具有底座，所述底座上至少设有一个凹槽，所述机械臂安装在所述底座上且位于所述凹槽一侧，所述凹槽内设有托盘，所述托盘形成的放置位置形成所述缓存工位，所述空腔内设有用于驱动所述托盘升降的升降机构，所述升降机构根据所述托盘上晶圆盒的码垛高度调整所述托盘的高度，使所述机械臂每次在设定高度从所述缓存工位上取放晶圆盒。3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒自动中转搬运系统,其特征在于，所述缓存工位上方设有高度传感器，所述高度传感器用于检测所述缓存工位上的晶圆盒与所述高度传感器之间的间距。4.根据权利要求2所述的一种晶圆盒自动中转搬运系统,其特征在于，所述托盘上设有用于检测晶圆盒是否在所述缓存工位上码垛倾斜的第一倾斜传感器。5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒自动中转搬运系统,其特征在于，所述托盘包括水平底板以及设于所述水平底板四周边缘的竖直围板，所述竖直围板的高度小于晶圆盒的高度，所述水平底板上被所述竖直围板包围的区域形成所述缓存工位，所述第一倾斜传感器设于所述竖直围板上。6.根据权利要求2所述的一种晶圆盒自动中转搬运系统,其特征在于，所述中转站整体...

【专利技术属性】
技术研发人员：张振义，洪成都，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：