本发明专利技术提供一种检查装置及包括其的基板处理装置。本发明专利技术的检查装置包括设置于检查对象物的上方，且具有内部空间的壳体；连接于所述壳体，且拍摄向所述检查对象物的外周边缘照射光的所述检查对象物的上表面的整体图像的成像部；连接于所述壳体，向所述检查对象物的上表面照射光的同轴照明部；设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的光反射于所述成像部的光反射部；以及聚光由所述同轴照明部照射的光的透镜部。这种检查装置可以实现将同轴照明部和成像部连接为一体的紧凑结构，且可以实时一次性有效地对基板的边缘和表面的缺陷进行检查，从而有效地提高基板缺陷的检查性能。高基板缺陷的检查性能。高基板缺陷的检查性能。
【技术实现步骤摘要】
检查装置及基板处理装置
[0001]本专利技术涉及一种检查装置及基板处理装置，更具体地，涉及一种能够在处理工程之后，同时检查基板的边缘和表面的缺陷的检查装置和基板处理装置。
技术介绍
[0002]在半导体制造工程中，目前使用的是对经过处理工程所处理的基板进行缺陷检查的检查装置。
[0003]这种检查装置在现有技术中为了检查基板的边缘，公开了基板的外周边缘周围的三个具有自由度的光学头，其一边移动一边拍摄基板的外周边缘的检查技术，或者部分拍摄基板的边缘区域来检查基板的边缘缺陷的技术。由于这种检查装置在检查基板边缘是否存在缺陷时，需要依次进行检查，因此存在效率性降低的问题。一方面的，为了检查基板的表面缺陷，现有技术中已经公开了拍摄基板的上表面的技术，但是对于同时进行基板的边缘和表面缺陷检查的检查装置，有必要进行研究开发。
[0004]【现有技术文献】
[0005]【专利文献】
[0006](参考文献1)：韩国公开专利号10
‑
2017
‑
0062516(2017.06.07)
[0007](参考文献2)：韩国公开专利号10
‑
2016
‑
0087197(2016.07.21)
[0008]专利技术的内容
[0009]要解决的技术问题
[0010]本专利技术目的是提供一种能够在实现紧凑结构的同时，能够有效地提高对基板缺陷的检查性能的检查装置和基板处理装置。
[0011]解决问题的手段
[0012]本专利技术为了达到上述目的，根据本专利技术的一实施例，提供一种检查装置，其包括：设置于检查对象物的上方，且具有内部空间的壳体；连接于所述壳体，且拍摄向所述检查对象物的外周边缘照射光的所述检查对象物的上表面的整体图像的成像部；连接于所述壳体，且向所述检查对象物的上表面照射光的同轴照明部；在所述内部空间中，设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的光反射于所述成像部的光反射部；以及设置于与所述检查对象物相对的所述壳体的下部，且聚光由所述同轴照明部照射的光的透镜部。
[0013]再者，在一实施例中，所述壳体相互垂直连接，且包括设置有所述透镜部的第一壳体及连接所述同轴照明部和成像部的第二壳体，所述光反射部在所述第一壳体和第二壳体的交叉区域中相对于所述透镜部倾斜地设置。
[0014]再者，在一实施例中，同轴照明部可以由远心照明形成。
[0015]更进一步地，在一实施例中，所述同轴照明部与所述成像部垂直设置，且包括：照射光的光源；设置于所述同轴照明部和所述成像部的交叉区域，将由所述同轴照明部照射的光反射到所述光反射部，或者将由所述光反射部反射的光透光到所述成像部的半反射
镜；设置于所述光源和所述半反射镜之间，且偏光由所述光源照射的光的偏光部件；设置于所述偏光部件和所述半反射镜之间，且扩散由所述偏光部件偏光的光的扩散板。
[0016]更进一步地，根据本专利技术一实施例的检查装置还可以包括：连接于所述壳体，且向所述检查对象物的外周边缘照射光的边缘照明部。
[0017]其中，所述边缘照明部可移动地连接于所述壳体，使所述边缘照明部位于所述检查对象物的下侧。
[0018]一方面的，根据本专利技术的另一实施例，还提供一种检查装置，其包括：支撑检查对象物，且设置有向所述检查对象物的外周边缘照射第一光的边缘照明部的支撑部；设置于所述检查对象物的上方，且具有内部空间的壳体；连接于所述壳体，且拍摄所述检查对象物的上表面的整体图像的成像部；连接于所述壳体，且向所述检查对象物的上表面照射第二光的同轴照明部；在所述内部空间中，设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的第二光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的第一光和第二光中的至少第二光，反射于所述成像部的光反射部；以及设置于与所述检查对象物相对的所述壳体的下部，且聚光至少由所述边缘照明部和同轴照明部中的同轴照明部照射的第一光和第二光中的第二光的透镜部。
[0019]进一步地，所述支撑部包括可升降地支撑所述检查对象物的支撑销，所述边缘照明部设置于所述支撑部的上表面，且位于所述检查对象物的下侧，具有向所述检查对象物的外周边缘照射第一光的环形状。
[0020]另外，所述检查装置还包括基于由所述成像部获取的图像，对所述检查对象物的边缘和表面的缺陷状态进行确认的控制部。
[0021]另一方面的，根据本专利技术另一实施例，进一步提供一种基板处理装置，其包括：在收纳检查对象物的负载端口和处理所述检查对象物的处理区域之间，设置于传送所述检查对象物的设备前端部模块(Equipment front end module,EFEM)和所述处理区域之间的缓冲区域，且支撑所述检查对象物，并设置有向所述检查对象物的外周边缘照射第一光的边缘照明部的缓冲器；及包括包含设置于所述缓冲器的上方，且具有内部空间的壳体；连接于所述壳体，且拍摄所述检查对象物的上表面的整体图像的成像部；连接于所述壳体，且向所述检查对象物的上表面照射第二光的同轴照明部；在所述内部空间中，设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的第二光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的第一光和第二光中的至少第二光反射于所述成像部的光反射部；及设置于与所述检查对象物相对的所述壳体的下部，且聚光由所述边缘照明部和同轴照明部中的至少同轴照明部照射的第一光和第二光中的至少第二光的透镜部的检查装置，以及基于由所述成像部获取的图像，对所述检查对象物的边缘和表面的缺陷状态进行确认的控制部。
[0022]有益效果
[0023]根据本专利技术的检查装置及包括所述检查装置的基板处理装置，可以实现将同轴照明部和成像部连接为一体的紧凑结构，并且可以通过边缘照明部和同轴照明部，分别向基板的外周边缘和上表面照射光，并通过成像部拍摄并获得基板上表面的整体图像，进而可以实时有效地检查基板的边缘和表面上的缺陷，从而有效地提高对基板缺陷的检查性能。
附图说明
[0024]图1为根据本专利技术一实施例的基板处理装置的示意图；
[0025]图2为根据本专利技术的一实施例的检查装置的立体示意图；
[0026]图3为根据本专利技术的一实施例的检查装置的内部构成图；
[0027]图4为示出根据本专利技术的一实施例的另一检查装置的光路的图；
[0028]图5为利用根据本专利技术的一实施例的检查装置获取的图像；
[0029]图6a为示出图5中A部分的放大图；
[0030]图6b为示出图5中B部分的放大图；
[0031]图7为根据本专利技术的一变形例的检查装置的内部构成图；
[0032]图8为根据本专利技术另一实施例的检查装置的立体示意图；
[0033]图9为图8的支撑部的侧面构成图。
[0034]附图标记说明
[0035]1000：基板处理装置
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检查装置，其特征在于，包括：壳体，设置于检查对象物的上方，且具有内部空间；成像部，连接于所述壳体，且拍摄向所述检查对象物的外周边缘照射光的所述检查对象物的上表面的整体图像；同轴照明部，连接于所述壳体，且向所述检查对象物的上表面照射光；光反射部，在所述内部空间中，设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的光反射于所述成像部；以及透镜部，设置于与所述检查对象物相对的所述壳体的下部，且聚光由所述同轴照明部照射的光。2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述壳体相互垂直连接，且包括设置有所述透镜部的第一壳体及连接所述同轴照明部和成像部的第二壳体，所述光反射部在所述第一壳体和第二壳体的交叉区域中相对于所述透镜部倾斜地设置。3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述同轴照明部与所述成像部垂直设置，且包括：照射光的光源；半反射镜，设置于所述同轴照明部和所述成像部的交叉区域，将由所述同轴照明部照射的光反射到所述光反射部，或者将由所述光反射部反射的光透光到所述成像部；偏光部件，设置于所述光源和所述半反射镜之间，且偏光由所述光源照射的光；扩散板，设置于所述偏光部件和所述半反射镜之间，且扩散由所述偏光部件偏光的光。4.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述同轴照明部由远心照明形成。5.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，还包括：边缘照明部，连接于所述壳体，且向所述检查对象物的外周边缘照射光。6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，所述边缘照明部可移动地连接于所述壳体，使所述边缘照明部位于所述检查对象物的下侧。7.一种检查装置，其特征在于，包括：支撑部，支撑检查对象物，且设置有向所述检查对象物的外周边缘照射第一光的边缘照明部。壳体，设置于所述检查对象物的上方，且具有内部空间；成像部，连接于所述壳体，且拍摄所述检查对象物的上表面的整体图像；同轴照明部，连接于所述壳体，且向所述检查对象物的上表面照射第二光；光反射部，在所述内部空间中，设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的第二光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的第一光和第二光中的至少第二光，反射于所述成像部；以及透镜部，设置于与所述检查对象物相对的所述壳体的下部，且聚光至少由所述边缘照明部和同轴照明部中的同轴照明部照射的第一光和第二光中的第二光。8.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，所述支撑部包括可升降地支撑所述检查
对象物的支撑销，所述边缘照明部设置于所述支撑部的上表面，且位于所述检查对象物的下侧，具有向所述检查对象物的外周边缘照射第一光的环形状。9.如权利要求8所述的检查装置，其特征在于，所述边缘照明部可调节位置地设置于所述支撑部的上表面。10.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，所述支撑部和所述壳体通过基座在垂直方向上间隔并一体结合。11.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，所述壳体包括：相互垂直连接，且包括设置有所述透镜部的第一壳体及与所述同轴照明部和成像部连接的第二壳体，所述光反射部在所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：任种九，金亨俊，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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