一种石英盖板安装工具制造技术

本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，包括第一夹持架和第二夹持架。其中，第一夹持架包括沿不同方向设置的第一夹持部和第二夹持部。第二夹持架包括沿不同方向设置的第三夹持部和第四夹持部。由于石英盖板有四个手抓的凹槽，通过将第一夹持部、第二夹持部、第三夹持部和第四夹持部分别伸入凹槽中，从而使本申请提供的石英盖板安装工具与石英盖板卡接，然后抓住本申请提供的石英盖板安装工具即可将石英盖板提起，将石英盖板搬运至定位槽中，完成石英盖板的安装。因此，采用本申请实施例提供的石英盖板安装工具安装石英盖板，搬运简单，安装速度快，且能够减少人员的需求，一人即可完成安装工作。完成安装工作。完成安装工作。

【技术实现步骤摘要】
一种石英盖板安装工具


[0001]本申请涉及半导体制造
，具体涉及一种石英盖板安装工具。

技术介绍

[0002]在现有的半导体厂房中，石英盖板没有特定的安装工具。因此，在进行石英盖板的安装时，需要两人一起将石英盖板搬运至机台上，然后再进行定位安装。
[0003]其一，石英盖板本身较重，石英盖板的重量至少有32公斤，因此在进行石英盖板的安装时，需要两个人同时将石英盖板搬运到定位槽。其二，石英盖板只有四个手抓的凹槽，机台间隙小，不容易抓取，从而不利于搬运。其三，由于安装石英盖板槽比石英盖板大，安装会存在一定的间隙，但是由于石英盖板搬运困难，从而无法控制间隙大小，其四，由于有密封圈的存在，无法确定石英盖板的安装水平，从而会导致石英盖板的日常维护遭受漏率影响而失败。
[0004]因此，如何提供一种石英盖板安装工具，用于减轻石英盖板安装搬运的困难是现有厂家需要努力攻克的难关。

技术实现思路

[0005]本申请实施例的目的在于提供一种石英盖板安装工具，可以解决石英盖板搬运安装困难的技术问题。
[0006]本申请实施例提供一种石英盖板安装工具，包括相对设置的第一夹持架和第二夹持架，所述第一夹持架与所述第二夹持架配合安装；其中，
[0007]所述第一夹持架包括第一支撑座以及位于所述第一支撑座一侧的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部沿不同方向设置；所述第二夹持架包括第二支撑座以及位于所述第二支撑座一侧的第三夹持部和第四夹持部，所述第三夹持部和所述第四夹持部沿不同方向设置。
[0008]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，所述第一夹持部、所述第二夹持部、所述第三夹持部以及所述第四夹持部远离所述第一支撑座的一端均设有抓钩。
[0009]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，所述抓钩靠近所述第一支撑座的一侧呈弧形。
[0010]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，还包括把手，所述把手位于所述第一支撑座或所述第二支撑座上。
[0011]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，所述把手包括第一子把手以及第二子把手，所述第一子把手位于所述第一支撑座上，所述第二子把手位于所述第二支撑座上。
[0012]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，所述第一子把手包括第一连接杆以及第一握杆，所述第一连接杆位于所述第一支撑座上，所述第一握杆位于所述第一连接杆远离所述第一支撑座的一端，所述第二子把手包括第二连接杆以及第二握杆，所述第二连接杆位于所述第二支撑座上，所述第二握杆位于所述第二连接杆远离所述第二支撑座的一
端。
[0013]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，所述第一支撑座靠近所述第二支撑座的一侧设有第一凸起，所述第二支撑座靠近所述第一支撑座的一侧设有第二凸起，所述第一凸起位于所述第二凸起上方，所述第一凸起和所述第二凸起配合安装。
[0014]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，所述第一支撑座靠近所述第二支撑座的一侧设有第三凸起以及第四凸起，所述第二支撑座靠近所述第一支撑座的一侧设有第五凸起以及第六凸起，所述第三凸起与所述第五凸起位于同一平面上，所述第四凸起和所述第六凸起位于同一平面上，且所述第三凸起位于所述第六凸起的上方，所述第三凸起和所述第六凸起配合安装，所述第四凸起和所述第五凸起配合安装。
[0015]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，所述第一夹持部和所述第三夹持部的延伸方向平行，所述第二夹持部和所述第四夹持部的延伸方向平行。
[0016]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，所述第一夹持部和所述第二夹持部垂直设置，且所述第三夹持部和所述第四夹持部垂直设置。
[0017]在本申请实施例提供的石英盖板安装工具中，包括第一夹持架和第二夹持架。其中，第一夹持架包括沿不同方向设置的第一夹持部和第二夹持部。第二夹持架包括沿不同方向设置的第三夹持部和第四夹持部。由于石英盖板有四个手抓的凹槽，通过将第一夹持部、第二夹持部、第三夹持部和第四夹持部分别伸入凹槽中，从而使本申请提供的石英盖板安装工具与石英盖板卡接，然后抓住本申请提供的石英盖板安装工具即可将石英盖板提起，将石英盖板搬运至定位槽中，完成石英盖板的安装。因此，采用本申请实施例提供的石英盖板安装工具安装石英盖板，搬运简单，安装速度快，且能够减少人员的需求，一人即可完成安装工作。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本申请实施例提供的石英盖板安装工具的结构示意图。
[0020]图2为本申请实施例提供的石英盖板安装工具的主视图
[0021]图3为本申请实施例提供的第一支撑座的第一俯视图。
[0022]图4为本申请实施例提供的第二支撑座的第一俯视图。
[0023]图5为本申请实施例提供的第一支撑座的第二俯视图。
[0024]图6为本申请实施例提供的第二支撑座的第二俯视图。
[0025]图7为本申请实施例提供的抓钩的结构示意图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施
例，都属于本申请保护的范围。
[0027]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，在本申请的描述中，“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0028]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“第一”和“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”和“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征，因此不能理解为对本申请的限制。
[0029]请参阅图1以及图2，图1为本申请实施例提供的石英盖板安装工具的结构示意图。图2为本申请实施例提供的石英盖板安装工具的主视图。如图1以及图2所示，本申请实施例提供的石英盖板安装工具10包括相对设置的第一夹持架101和第二夹持架102，第一夹持架101与第二夹持架102配合安装；其中，
[0030]第一夹持架101包括第一支撑座1011以及位于第一支撑座1011一侧的第一夹持部1012和第二夹持部1013，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英盖板安装工具，其特征在于，包括相对设置的第一夹持架和第二夹持架，所述第一夹持架与所述第二夹持架配合安装；其中，所述第一夹持架包括第一支撑座以及位于所述第一支撑座一侧的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部沿不同方向设置；所述第二夹持架包括第二支撑座以及位于所述第二支撑座一侧的第三夹持部和第四夹持部，所述第三夹持部和所述第四夹持部沿不同方向设置。2.根据权利要求1所述的石英盖板安装工具，其特征在于，所述第一夹持部、所述第二夹持部、所述第三夹持部以及所述第四夹持部远离所述第一支撑座的一端均设有抓钩。3.根据权利要求2所述的石英盖板安装工具，其特征在于，所述抓钩靠近所述第一支撑座的一侧呈弧形。4.根据权利要求1所述的石英盖板安装工具，其特征在于，还包括把手，所述把手位于所述第一支撑座或所述第二支撑座上。5.根据权利要求4所述的石英盖板安装工具，其特征在于，所述把手包括第一子把手以及第二子把手，所述第一子把手位于所述第一支撑座上，所述第二子把手位于所述第二支撑座上。6.根据权利要求5所述的石英盖板安装工具，其特征在于，所述第一子把手包括第一连接杆以及第一握杆，所述第一连接杆位于所述第一支撑座上，所述第一握杆位于所述第一连接杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘亚辉，张泽辉，李锦锋，张奉，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：