一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统，该装置中圆弧形导轨所在平面与样品台所在平面垂直，可转动镜架结构在第一方向上延伸，其第一端固定在圆弧形导轨上且基于圆弧形导轨运动，第二端沿第一方向延伸至圆弧形导轨的旋转轴，且在旋转轴上保持不变，以使可转动镜架结构绕旋转轴旋转，第一方向平行于圆弧形导轨所在平面；光源发出的第一入射光与旋转轴重合，无需改变光源的位置；并且可转动镜架结构将与旋转轴重合的第一入射光转化为第一方向上的第二入射光，不改变光的特性，第二入射光随着可转动镜架结构绕旋转轴旋转而移动，从而在不改变光源和样品位置、不改变光束特性的情况下，改变光束射向样品的入射角。入射角。入射角。

【技术实现步骤摘要】
一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统


[0001]本专利技术涉及光学领域，更具体地说，涉及一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统。

技术介绍

[0002]在光学相关的实验中，有时需要改变一些参数，如偏振状态、光强、入射角等，由于光源和样品可能会因其体积大、质量大或结构精密复杂等原因不易移动，对于不易移动且需要改变入射角的光源和样品，不易满足在实验室中改变入射角的需求。
[0003]为解决在不移动光源和样品的情况下改变入射角这一问题，目前常采用光纤、准直镜和聚焦透镜，将光束引至入射光路末端，以适应射向样品的入射角度；但是，由于光纤的功率承载能力和瞬时功率承载能力有限，限制了通过光纤的光束的平均功率和瞬时功率，并且由于光纤材料的自身性质，经由光纤传播的短脉冲会有频率色散，对于多模光纤来说，不同模式的传播路径、传播角度、在光纤中经历的光程以及从光纤端面射出的位置均不相同，从而导致从光纤射出的光束无法很好地汇聚，另外光束经过准直镜和聚焦透镜后，聚焦位置和脉冲到达时间也不同，还会对功率密度和峰值电场强度造成损耗，光纤耦合难度较大还会造成实验操作不便。
[0004]因此，如何在光源和样品均无法移动或不易移动的情况下，且在不改变光束本身性质的情况下改变光对样品入射角，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，为解决上述问题，本专利技术提供一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统，技术方案如下：
[0006]一种用于改变入射角的光路调节装置，所述光路调节装置包括：
[0007]光源、可转动镜架结构、圆弧形导轨和样品台；
[0008]所述圆弧形导轨所在平面与所述样品台所在平面垂直，所述样品台用于放置待测样品，所述待测样品的入射点位于所述圆弧形导轨的圆心；
[0009]所述圆弧形导轨具有旋转轴，所述旋转轴垂直于所述圆弧形导轨所在平面，且经过所述圆弧形导轨的圆心；
[0010]所述可转动镜架结构在第一方向上延伸，且所述可转动镜架结构在所述第一方向上具有相对的第一端和第二端；所述可转动镜架结构的第一端固定在所述圆弧形导轨上，且基于所述圆弧形导轨进行滑动；所述可转动镜架结构的第二端沿所述第一方向延伸至所述旋转轴，所述第一方向平行于所述圆弧形导轨所在平面，且由所述可转动镜架结构的第一端指向所述第二端；
[0011]所述光源用于发出第一入射光，所述第一入射光沿所述旋转轴射向所述可转动镜架结构的第二端；所述可转动镜架结构将所述第一入射光转化为第二入射光，所述第二入射光沿所述第一方向射向所述待测样品。
[0012]优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述可转动镜架结构包括：外框支架，所述外框支架包括多个独立的支撑柱；
[0013]所述支撑柱沿所述第一方向延伸。
[0014]优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述可转动镜架结构还包括：多个支持板；所述支持板所在平面与所述第一方向垂直，多个所述支持板在所述第一方向上依次排布，所述支撑柱沿所述第一方向贯穿所述支持板。
[0015]优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述可转动镜架结构还包括：多个反射镜，多个所述反射镜固定在所述支撑柱上；
[0016]所述第一入射光通过多个所述反射镜转化为所述第二入射光。
[0017]优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述反射镜的法向量与多个所述支撑柱围绕的轴线的夹角为45
°
。
[0018]优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述可转动镜架结构还包括：多个固定器，所述固定器所在平面与所述反射镜所在平面平行，所述反射镜固定在所述固定器上。
[0019]优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述固定器具有多个通孔，所述支撑柱通过所述通孔与所述固定器连接。
[0020]优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述光路调节装置还包括：固定背板，所述固定背板所在平面与所述圆弧形导轨所在平面平行，所述圆弧形导轨固定在所述固定背板上。
[0021]优选的，在上述用于改变入射角的光路调节装置中，所述光路调节装置还包括：
[0022]位于所述样品台背离所述待测样品一侧的运动模块。
[0023]本申请还提供了一种用于改变入射角的光路调节系统，所述光路调节系统包括：控制模块，所述控制模块用于输出控制指令，以控制上述光路调节装置的工作状态。
[0024]相较于现有技术，本专利技术实现的有益效果为：
[0025]本专利技术提供的一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统，所述光路调节装置包括：光源、可转动镜架结构、圆弧形导轨和样品台；由于圆弧形导轨所在平面与样品台所在平面垂直，可转动镜架结构的第一端设置在圆弧形导轨上，可转动镜架结构的第二端沿第一方向延伸至圆弧形导轨的旋转轴，第一方向平行于圆弧形导轨所在平面，且由可转动镜架结构的第一端指向第二端，当可转动镜架结构的第一端沿圆弧形导轨运动，可转动镜架结构的第二端在所述旋转轴上保持不变，从而实现可转动镜架结构绕旋转轴旋转；并且，可转动镜架结构将光源发出的第一入射光转化为第二入射光，第二入射光沿第一方向射向位于旋转轴上的待测样品，当可转动镜架结构绕旋转轴旋转时，第二入射光也绕旋转轴旋转，从而可以改变第二入射光射向待测样品的入射角度；另外，光源发出的第一入射光沿旋转轴射向可转动镜架结构的第二端，由于所述可转动镜架结构的第二端随着可转动镜架结构的运动保持不变，从而保证在改变入射角的过程中无需改变光源的位置；第一入射光转化为第二入射光，仅改变光传播的方向，不改变光的特性，从而可以在不改变光源和待测样品位置、不改变光束特性的情况下，改变光束射向待测样品的入射角度。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0027]图1为本专利技术实施例提供的一种用于改变入射角的光路调节装置的结构示意图；
[0028]图2为本专利技术实施例提供的一种可转动镜架结构的示意图；
[0029]图3为本专利技术实施例提供的另一种可转动镜架结构的示意图；
[0030]图4为本专利技术实施例提供的另一种用于改变入射角的光路调节装置的结构示意图；
[0031]图5为本专利技术实施例提供的一种用于改变入射角的光路调节系统的结构示意图。
具体实施方式
[0032]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于改变入射角的光路调节装置，其特征在于，所述光路调节装置包括：光源、可转动镜架结构、圆弧形导轨和样品台；所述圆弧形导轨所在平面与所述样品台所在平面垂直，所述样品台用于放置待测样品，所述待测样品的入射点位于所述圆弧形导轨的圆心；所述圆弧形导轨具有旋转轴，所述旋转轴垂直于所述圆弧形导轨所在平面，且经过所述圆弧形导轨的圆心；所述可转动镜架结构在第一方向上延伸，且所述可转动镜架结构在所述第一方向上具有相对的第一端和第二端；所述可转动镜架结构的第一端固定在所述圆弧形导轨上，且基于所述圆弧形导轨进行滑动；所述可转动镜架结构的第二端沿所述第一方向延伸至所述旋转轴，所述第一方向平行于所述圆弧形导轨所在平面，且由所述可转动镜架结构的第一端指向所述第二端；所述光源用于发出第一入射光，所述第一入射光沿所述旋转轴射向所述可转动镜架结构的第二端；所述可转动镜架结构将所述第一入射光转化为第二入射光，所述第二入射光沿所述第一方向射向所述待测样品。2.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，所述可转动镜架结构包括：外框支架，所述外框支架包括多个独立的支撑柱；所述支撑柱沿所述第一方向延伸。3.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于，所述可转动镜架结构还包括：多个支持板；所述支持板所在平面与所述第一方向垂直，多个所述支持板在所述第一方向上...

【专利技术属性】
技术研发人员：窦润嵩，李博，王磊，高林春，朱慧平，韩郑生，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：