一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统技术方案

本发明专利技术公开了一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统，监测获取机械手移动监测数据、化学药液传输数据、清洗腔室的监测数据，输入特征分析模块确定各部件清洗运行特征，输入运行特征预测模型获得各部件预测结果，当存在任一结果达到预警条件时发送预警信息。任一结果达到预警条件时发送预警信息。任一结果达到预警条件时发送预警信息。

【技术实现步骤摘要】
一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统


[0001]本专利技术涉及一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统。

技术介绍

[0002]清洗步骤作为贯穿半导体产业链的重要环节，直接影响着半导体再生晶圆去膜良率，因此需严格把控清洗能效，保障半导体清洗设备的标准化运行。半导体清洗设备运行过程中，不可避免地存在故障运行，以影响清洗效果。现如今，主要通过布设监测设备进行集成监测，基于监测运行状态进行故障评估，或针对清洗产品进行抽检，以进行清洗实况确定，针对存在的异常数据进行故障定位检修。当前的故障监测预警方式较为传统，存在着一定的弊端。现有技术中，对于半导体清洗设备的故障监测预警方法分析深度与完备性不足，只针对可监测数据进行故障衡量，导致故障监测结果精准度不足，忽略了潜在性故障因素，影响设备运行准确度。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统，包括械手监测模块、化学药液传输模块和清洗腔室监测模块；所述各模块的工作方式如下：S1：通过机械手监测模块与机械手监测设备连接，获取机械手移动监测数据；S2：通过化学药液传输模块与化学药液CDS配置执行设备连接，获得化学药液传输数据；S3：通过清洗腔室监测模块与清洗腔室液体监测设备连接，获取清洗腔室的监测数据；S4：将所述机械手移动监测数据、化学药液传输数据、清洗腔室的监测数据、作为输入变量，输入特征分析模块进行各部件运行特征分析及各部件融合特征分析，确定各部件清洗运行特征；当所述各部件清洗运行特征、各部件预测结果有任一结果达到预警条件时，根据预警发送规则发送预警信息。
[0005]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：监测获取机械手移动监测数据、化学药液传输数据、清洗腔室的监测数据，输入特征分析模块确定各部件清洗运行特征，输入运行特征预测模型获得各部件预测结果，当存在任一结果达到预警条件时发送预警信息。
附图说明
[0006]图1为本专利技术模块示意图。
实施方式
[0007]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0008]请参阅图1，本专利技术提供一种技术方案：一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统，包括械手监测模块、化学药液传输模块和清洗腔室监测模块；所述各模块的工作方式如下：S1：通过机械手监测模块与机械手监测设备连接，获取机械手移动监测数据；S2：通过化学药液传输模块与化学药液CDS配置执行设备连接，获得化学药液传输数据；S3：通过清洗腔室监测模块与清洗腔室液体监测设备连接，获取清洗腔室的监测数据；S4：将所述机械手移动监测数据、化学药液传输数据、清洗腔室的监测数据、作为输入变量，输入特征分析模块进行各部件运行特征分析及各部件融合特征分析，确定各部件清洗运行特征；当所述各部件清洗运行特征、各部件预测结果有任一结果达到预警条件时，根据预警发送规则发送预警信息。
[0009]尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学药液清洗设备的故障监测预警系统，其特征是：包括械手监测模块、化学药液传输模块和清洗腔室监测模块；所述各模块的工作方式如下：S1：通过机械手监测模块与机械手监测设备连接，获取机械手移动监测数据；S2：通过化学药液传输模块与化学药液CDS配置执行设备连接，获得化学药液传输数据；S3：通过清洗腔室监测模块与清洗腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘志金，肖邦华，何园，
申请(专利权)人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：